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公开(公告)号：CN107063438A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201710144004.0
申请日：2017-03-10
Applicant: 中北大学
IPC: G01H11/08
CPC classification number: G01H11/08
Abstract: 本发明公开了一种基于压电效应的MEMS三维同振型矢量水听器，包括同振柱体振子模块以及同振球形振子模块，同振柱体振子模块包括第一框型基座、横梁、柱形聚乙烯拾振单元、中心连接体、压电薄膜、上电极以及下电极；柱形聚乙烯拾振单元固定于中心连接体上，中心连接体通过横梁连接在第一框型基座的中心处，且横梁的内外两侧均生长有压电薄膜，压电薄膜的上下两侧的对应位置均溅射有金属作为上电极和下电极；同振球形振子模块包括第二框型基座、横梁、环形连接体、球形聚乙烯拾振单元、压电薄膜以及上电极、下电极。本发明MEMS三维同振型矢量水听器具有体积小、共模输出、差模抑制的高灵敏度，宽工作频带的优点。
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公开(公告)号：CN106966356A
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：CN201710208013.1
申请日：2017-03-31
Applicant: 中北大学
CPC classification number: B81B3/0021 , B81B3/0037 , B81B2203/0118 , B81C1/00158 , B81C1/00349 , B81C2201/0101 , B81C2201/0174
Abstract: 本发明属于微机电系统领域，具体为一种悬臂梁式薄膜压力发电结构，包括框型基底，框型基底开口正对的梁上设有悬空在框型基底内的硅悬臂梁，硅悬臂梁的自由端固定有质量块，框型基底开口正对的梁上方还设有二氧化硅绝缘层，二氧化硅绝缘层上设有底电极层，底电极层上朝框型基底开口侧延伸有位于硅悬臂梁上方的条状底电极层，质量块上设有PZT压电层，PZT压电层朝二氧化硅绝缘层方向延伸有位于条状底电极层上方的条状PZT压电层，条状PZT压电层上方设有顶电极层。当系统处于振动环境中时,外界环境中的振动能传递到系统内,引起硅悬臂梁振动并弯曲变形,使硅悬臂梁储存机械能,从而引起压电层的伸缩进而产生电信号,实现了机械能到电能的转换。
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公开(公告)号：CN106925496A
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：CN201710009206.4
申请日：2017-01-06
Applicant: 中北大学
IPC: B06B1/02
CPC classification number: B06B1/0292 , B06B2201/76
Abstract: 本发明公开了一种微机电超声探头，包括硅衬底（1），所述硅衬底（1）的上表面为氧化层（2），所述氧化层（2）的上表面开设有若干空腔（3），若干空腔（3）成排、列布置，所述氧化层（2）的上表面键合振动薄膜（4），所述振动薄膜（4）的上表面设隔离层（5），围绕隔离层（5）的四周边缘处及其内部开设有下沉的隔离槽（6），所述隔离槽（6）贯穿隔离层（5）和振动薄膜（4）后，其槽底开设于氧化层（2）上；所述隔离层（5）的上表面上正对每个空腔（3）的中心位置处设有上电极（7）。本发明设计合理，该超声探头结构新颖、体积小、频带宽、灵敏度高，噪声低，稳定性好。
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公开(公告)号：CN105271660B
公开(公告)日：2017-06-06
申请号：CN201510724104.1
申请日：2015-10-31
Applicant: 中北大学
IPC: C03B23/07
Abstract: 本发明为一种微型石英球壳结构，包括中空的石英球形壳体，在石英球形壳体的尾部连接有中空的石英管，石英球形壳体与石英管连接相通，石英球形壳体的直径为微米级至纳米级；其制备方法为：将石英管首尾两端切平；石英管的首端连接带有微流阀门的高气压系统、末端固定在光纤熔接机上；调节光纤熔接机放电强度、时间、次数，将石英管的末端端面熔为密闭状态；调整高气压系统气压大小，调节光纤熔接机放电强度、时间、次数，即可获得尺寸不同的石英球形壳体。本发明成本低廉，制备工艺简单，无需大型仪器，可获得一种尺寸可以调节的微型石英球壳结构，球壳球形度良好。
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公开(公告)号：CN106655620A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201610657871.X
申请日：2016-08-12
Applicant: 中北大学
CPC classification number: Y02E10/38 , H02K7/1823 , F03B13/00 , F03B13/22 , H02K7/116 , H02K7/1846
Abstract: 本发明公开了一种转动环境下同轴反向型电磁式发电机，包括管壳、顶盖、偏心锤、螺旋线圈组、太阳轮、行星架、转动轴、第一轴承，转动轴设置在管壳内，一端依次穿过螺旋线圈组、第一轴承、顶盖与偏心锤刚性连接，另一端穿过太阳轮、行星架与底盖通过第三轴承相连，所述太阳轮通过第二轴承于转动轴相连，所述行星架与转动轴刚性连接，所述行星架上通过第三轴承与安装有三个行星轮，三个行星轮呈正三角布设，所述管壳上开设有用于放置扇形磁铁的磁铁放置腔。本发明可以将采集到的转动机械产生的能量转换为电能，特别适合于用作户外电子装备的电量来源，同时还可改装为依靠螺旋桨和锚定物对波浪能或者水流能进行采集的波浪能或水能发电机。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106325049A
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201610980236.5
申请日：2016-11-08
Applicant: 中北大学
IPC: G04F5/14
CPC classification number: G04F5/14
Abstract: 本发明公开了一种端面耦合纳米光波导双光路芯片级原子钟，包括激光器，所述激光器出射的光束通过端面耦合输入端耦合进入Y波导分束器，其中一束光经过相位调制单元后输出，另外一束光经调节补偿后输出，两路光束再分别经过垂直耦合光栅 和垂直耦合光栅 输出，依次经过偏振片、衰减片、波片、准直、聚焦之后进入气室，出射后，两束光经过探测单元转化为电信号后经过减法器输入集成电路芯片，所述集成电路芯片对激光器和相位调制单元进行调控。该方案通过双光路共模抑制可以大大减小光功率起伏和频率起伏噪声的影响，有效提高CPT原子钟的信噪比，从而可以大大提高芯片级原子钟的短期稳定度。
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公开(公告)号：CN103245409B
公开(公告)日：2016-12-28
申请号：CN201310133886.2
申请日：2013-04-17
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及MEMS矢量水声传感器，具体是一种基于压电效应的MEMS仿生结构矢量水声传感器。本发明解决了现有MEMS矢量水声传感器抗流噪声性能差、灵敏度低、抗冲击性能差、质量重、声阻抗与水不匹配、以及加工制作困难的问题。基于压电效应的MEMS仿生结构矢量水声传感器包括基底、框形基座、悬臂梁、质量块、空心玻璃柱体、内侧PZT压电薄膜、以及外侧PZT压电薄膜；其中，框形基座的下端面键合于基底的上表面；悬臂梁的外端面固定于框形基座的内表面；质量块固定于悬臂梁的内端面，且质量块的上表面中央垂直开设有圆孔；空心玻璃柱体的下端键合于圆孔内；内侧PZT压电薄膜旋涂于悬臂梁的内端上表面。本发明适用于水声传感。
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公开(公告)号：CN106206867A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610576033.X
申请日：2016-07-21
Applicant: 中北大学
IPC: H01L33/00
Abstract: 本发明属于光学领域和微纳系统领域，具体为一种“三明治”型金属超结构的红外辐射光源及制作方法。一种“三明治”型金属超结构的红外辐射光源：包括ITO/IZO基片、在基片上沉积的孔洞阵列结构金属薄膜层、电介质层、以及在电介质层上制备的长方体状金属阵列结构。利用孔洞阵列结构光学异常透射增强效应和特定形貌微纳结构局域表面等离激元共振天线辐射增强效应耦合可以增强表面等离激元MEMS红外光源辐射，同时通过调整金属阵列和电介质层结构的几何参数可以实现对等离激元MEMS红外光源工作波段的调整和线宽的压窄。本发明中涉及的基于金属超表面的金属阵列结构具有很好的可扩展性，并且制作工艺简单、容易实现。
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公开(公告)号：CN104216111B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201410532691.X
申请日：2014-10-11
Applicant: 中北大学
IPC: G02B26/08
Abstract: 本发明涉及微角锥反射镜，具体是一种角度可调的微角锥反射镜阵列结构及其制造方法。本发明解决了现有微角锥反射镜的制造方法因组装工艺限制而无法确保微角锥反射镜的成品率和工作性能的问题。一种角度可调的微角锥反射镜阵列结构，包括正方形硅基片、正方形二氧化硅层、铂钛下电极层、正方形铂钛底镜、PZT压电驱动悬臂梁、PZT平衡梁、铂钛上电极层、十字形侧镜、金层；正方形硅基片的正面与背面之间贯通开设有正方形通孔；正方形二氧化硅层层叠于正方形硅基片的正面；正方形二氧化硅层的正面与背面之间贯通开设有四组通孔。本发明适用于无线激光通信。
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公开(公告)号：CN104232468B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201410429897.X
申请日：2014-08-28
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及生物医学领域的细胞分离技术，具体是一种激光阵列编码和光诱导的细胞分离装置。解决了目前在生物传感、人类功能基因组载体研究、稀有细胞筛选、性犯罪司法取证等领域快速分离和检测目标细胞所包含的丰富信息等问题，包括上位机、中继器、激光发生器、激光分束器、光开关、高速CCD成像系统、用于细胞操作的微流控芯片、冲洗液配送设备、废液处理设备和智能显微平台，所述的上位机、中继器、激光发生器，激光分束器、光开关依次相连，光开关上设有智能显微平台，智能显微平台上设置有微流控芯片；微流控芯片分别与冲洗液配送设备和废液处理设备连接，微流控芯片上侧设有高速CCD成像系统，高速CCD成像系统与上位机连接。
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