公开(公告)号：CN1577739A

公开(公告)日：2005-02-09

申请号：CN200410068461.9

申请日：2004-07-23

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 河野幸弘 ,  田中志信 ,  大塚庆崇

IPC: H01L21/027 ,  B05C5/00 ,  B05C13/00 ,  G03F7/16

Abstract: 喷嘴障碍监视器(168)具有：射出激光束LB以便在规定高度位置沿Y方向大致水平地横穿台(132)上载置的衬底(G)上面附近的激光射出部(222)；隔着台(132)上的衬底(G)并配置在沿Y方向与激光射出部(222)对置的位置的受光部(224)。在涂布处理部(136)中施行抗蚀剂涂布处理时，喷嘴障碍监视器(168)的激光束LB也随着扫描部(212)的扫描驱动而和抗蚀剂喷嘴(134)一起在其前方沿X方向扫描衬底(G)的上方，检查衬底(G)的上面附近是否有障碍物。所以，能够在被处理衬底上面或接近被处理面的高度位置安全地执行使喷嘴扫描的涂布动作。

公开(公告)号：CN1405839A

公开(公告)日：2003-03-26

申请号：CN02141538.2

申请日：2002-08-08

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 田上真也 ,  岩崎达也 ,  大塚庆崇 ,  相良典秀 ,  熊谷典俊 ,  林伸也

IPC: H01L21/00 ,  G02F1/133 ,  H05K13/02

Abstract: 拉出小镊子(43)从盒(C)取出基板(G)，一拉出小镊子(43)，在取出基板(G)之前，位置(P)上的传感器(9)就描绘轨迹(T)，移动通过基板(G)的一边(Ga)。因此，被保持的基板(G)的关于与小镊子(43)的进退方向正交的方向(Y方向)的位置根据传感器(9)接收移动通过一边(Ga)时的反射光的定时和电动机(6)的旋转脉冲数算出。随之，通过与小镊子(43)的保持正常位置时的定时比较，就能够检测位置偏移。