一种带电粒子束扫描成像设备实际像素尺寸的获取方法

    公开(公告)号:CN114414605B

    公开(公告)日:2023-10-24

    申请号:CN202111413852.X

    申请日:2021-11-25

    发明人: 刘骊松

    IPC分类号: G01N23/2251

    摘要: 本发明公开了一种带电粒子束扫描成像设备实际像素尺寸的获取方法,包括:规划晶圆上实际像素尺寸测量的工作区域;将全部待测像素对应的放大倍率区分为第一放大倍率和更高的第二放大倍率;当获取第一放大倍率的实际像素尺寸时,提取满足预设条件的模板,模板包括一或多个子模板,子模板包括子图像和/或独立特征点;当获取第二放大倍率的实际像素尺寸时,提取基于曲线的图像类模板或曲线类模板;依次获得各放大倍率对应的实际像素尺寸,其步骤均包括:移动晶圆采集目标图像,用模板在目标图像中进行匹配,获取模板的位置和匹配位置之间的目标位移,根据晶圆实际位移和目标位移获得实际像素尺寸。本发明可改进成功率、测量精度及时间成本。

    产品活动信息的配置方法以及系统

    公开(公告)号:CN111311319B

    公开(公告)日:2023-09-15

    申请号:CN202010091255.9

    申请日:2020-02-13

    发明人: 姚剑华 林财

    IPC分类号: G06Q30/0202 G06Q30/0207

    摘要: 本发明揭示了一种产品活动信息的配置方法以及系统,该配置方法包括:接收活动配置信息,基于实体库存储的资源映射规则生成触发条件及与触发条件对应的活动执行指令,实体库存储由实体数据构成的资源映射规则;接收业务请求并从实体库中提取触发条件涉及的目标实体数据,并将目标实体数据,触发条件以及触发条件对应的活动执行指令封装成信息元数据;根据信息元数据为业务请求匹配所对应的活动执行指令,以基于活动执行指令对业务请求予以响应。本发明解决了基于产品活动信息所具有的复杂规则在配置过程中所存在的灵活性不佳的问题。

    一种气液分离式真空旋转设备
    43.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116666294A

    公开(公告)日:2023-08-29

    申请号:CN202310547371.0

    申请日:2023-05-16

    发明人: 张琪 符友银 杨涛

    摘要: 本发明提供一种气液分离式真空旋转设备,包括晶圆吸盘和分离装置,晶圆吸盘通过主轴穿设于分离装置后连接驱动装置,主轴内沿高度方向开设负压通道,负压通道与分离装置连通;分离装置连通真空接口,真空接口通过连接真空设备使分离装置内形成负压状态,分离装置内形成沉降通道,分离装置内处于负压状态下气体依次经过负压通道和沉降通道后由真空接口排出,气体中混有的液体沉降于分离装置底部并留存至连通于分离装置底部的排液装置;排液装置连接自动排液销,分离装置内解除负压状态后自动排液销受重力开启以排出排液装置内的液体。本发明用以解决混有药品液滴的气体吸入真空管路从而导致真空管路甚至真空设备发生损坏的问题。

    一种半导体调平对焦工作台
    44.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116631930A

    公开(公告)日:2023-08-22

    申请号:CN202310673428.1

    申请日:2023-06-08

    发明人: 张琪 符友银 杨涛

    IPC分类号: H01L21/68 H01L21/027

    摘要: 本发明提供了一种半导体调平对焦工作台,包括用于盛放晶圆的工作平台,工作平台均匀安装多组调节装置,通过调节装置对盛放于工作平台的晶圆同步进行调平和对焦;工作平台远离晶圆一侧设置安装板,调节装置的固定端连接于安装板的上表面,调节装置的驱动端与工作平台相连,调节装置的固定端在与驱动端无接触的状态下驱使驱动端带动与工作平台的连接处沿垂直于水平面的方向位移。本发明用以解决现有技术中晶圆在曝光前的调平和对焦需要分为两个步骤进行,因此存在曝光前准备时间过长而影响产能的问题,其次,现有工作台所应用的调平机构以及对焦机构通常由直流电机和丝杆构成,易产生高频振动从而影响晶圆调平和对焦的精度以及稳定性的问题。

    一种CSI卷管理方法、容器化云平台及计算机可读介质

    公开(公告)号:CN116301661B

    公开(公告)日:2023-08-22

    申请号:CN202310531473.3

    申请日:2023-05-12

    IPC分类号: G06F3/06

    摘要: 本发明提供了一种CSI卷管理方法、容器化云平台及计算机可读介质,该CSI卷管理方法包括:创建PVC,设置所述PVC的数据源属性并保存;调用CSI驱动器对接后端存储以创建所述PVC对应的存储卷:确定集群中当前状态已存在的卷链长,将当前状态已存在的卷链长与CSI驱动器中预设的卷链长阈值执行比较,基于卷链长管理策略针对所述PVC择一地向后端存储执行虚克隆或者实克隆,其中,所述PVC存在已设置的数据源属性。通过本申请,解决了现有技术中无法在对接存储系统时自动选择虚克隆或实克隆的对接方式,从而难以避免超量虚克隆导致生产卷性能严重下降以及超量实克隆导致磁盘利用率低、效率低的问题。

    一种集群负载均衡实现方法及系统

    公开(公告)号:CN116170443B

    公开(公告)日:2023-08-22

    申请号:CN202310422581.7

    申请日:2023-04-20

    IPC分类号: H04L67/1001 H04L67/141

    摘要: 本发明提供了一种集群负载均衡实现方法及系统,该方法包括:在控制集群与服务集群分别创建第一计算机实例与第二计算机实例;于第二计算机实例与至少一个第一计算机实例之间建立BGP会话,并由第二计算机实例基于BGP会话将第二计算机实例所属工作节点的节点信息广播至第一计算机实例;于第一计算机实例之间以及第二计算机实例之间分别建立BGP连接;其中,服务集群中第二计算机实例所属工作节点的数量至少为两个。通过本发明,由至少一个第一计算机实例所形成的控制集群代替硬件路由器以实现BGP模式下的服务集群中多个工作节点间的负载均衡。

    柔性铰链组件及基板抬升机构

    公开(公告)号:CN114212524B

    公开(公告)日:2023-08-22

    申请号:CN202111599482.3

    申请日:2021-12-24

    发明人: 缪晖华

    IPC分类号: B65G47/90

    摘要: 本发明提供了一种柔性铰链组件及基板抬升机构,该柔性铰链组件包括:第一柔性铰链,第二柔性铰链,以及柔性连接第一柔性铰链与第二柔性铰链的柔性连杆机构,第一柔性铰链的自由端与第二柔性铰链的自由端均用于被固定;柔性连杆机构包括至少三个首尾柔性连接的连杆,位于内侧的一所述连杆包括用于承载基板的第一承载面,当第一柔性铰链连接柔性连杆机构的第一端部受到水平推力使第一端部产生水平位移时,位于内侧的一连杆转动,并至少沿竖直方向产生位移以抬升所述基板。通过本发明,可提高对基板执行抬升过程中所施加力的准确性,以将基板抬升至准确的角度,避免了手动抬升基板过程中对基板的表面造成划伤,并有效地抑制了颗粒的产生。

    客户端会话控制方法及分布式存储系统

    公开(公告)号:CN116567011A

    公开(公告)日:2023-08-08

    申请号:CN202310574181.8

    申请日:2023-05-17

    IPC分类号: H04L67/1097 H04L67/14

    摘要: 本发明提供了客户端会话控制方法及分布式存储系统,客户端会话控制方法包括:确定当前状态中各节点基于客户端发起的客户端会话所形成的IO压力值,以确定当前状态中各节点的当前总IO压力值;确定当前状态中当前总IO压力值最大的节点,并将剩余节点所形成的当前总IO压力值由高至低进行排序,记录对应节点的会话ID,以形成空闲队列;自空闲队列中选择当前总IO压力值最小的节点作为响应自当前总IO压力值最大的节点中响应任一客户端会话的节点,以对分布式集群系统中节点对客户端发起的客户端会话予以动态切换。通过本申请,实现了充分利用分布式存储系统各节点存储带宽的技术效果,提高了用户体验及分布式存储系统的可靠性。

    一种内嵌式电机磁钢装配装置
    49.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116488414A

    公开(公告)日:2023-07-25

    申请号:CN202310452089.4

    申请日:2023-04-25

    IPC分类号: H02K15/03

    摘要: 本发明提供了一种内嵌式电机磁钢装配装置,该电机转子磁钢装配装置包括:固定座,依次设置于固定座的分磁模组、检测模组以及入磁模组;分磁模组包括:具输送通道的落料组件,接收组件,第一分磁驱动组件,以及输送组件;检测模组包括:设置于第一分磁驱动组件一端的换向组件以及用以检测磁钢磁极的霍尔检测组件;由磁钢与隔片依次间隔自输送通道输送至接收组件,接收组件仅将磁钢输送至输送组件,驱动输送组件横向移动至靠近换向组件一端,夹持自输送组件输送的磁钢旋转一定角度以供入磁模组夹持磁钢,并移动至指定位置,检测磁钢磁极,在极性符合当前装配条件时,将磁钢插入转子。通过本发明,实现了内嵌式电机磁钢自动化的正确装配。

    一种富集培养利用多种碳源的聚磷生物膜的方法及工艺

    公开(公告)号:CN116477762A

    公开(公告)日:2023-07-25

    申请号:CN202310555505.3

    申请日:2023-05-17

    摘要: 本发明提供了一种富集培养利用多种碳源的聚磷生物膜的方法及工艺,取适量N酰基‑高丝氨酸内酯的含量≥1500μg/L、生化需氧量≥49000mg/L的生物膜在低温条件下破碎至生物膜颗粒粒径≤0.2μm后加入灭菌的超纯水中配制成生物膜破碎液,好氧/厌氧交替运行生物膜反应器,在每个厌氧阶段添加生物膜破碎液和小分子碳源,至生物膜的吸磷量和释磷量不再增加,得到富集培养的聚磷生物膜。通过添加生物膜破碎液作为聚磷生物膜富集培养的厌氧碳源之一,一方面为生物膜聚磷菌提供厌氧的多种碳源,另一方面利用生物膜分泌的大量N酰基‑高丝氨酸内酯促进生物膜的粘附形成和碳源摄取利用能力,进而缩短培养时间,提升聚磷菌丰度和吸释磷性能。