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公开(公告)号：CN102403975B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201110261764.2
申请日：2011-08-29
申请人： 精工爱普生株式会社
发明人： 山中国人
IPC分类号： H03H9/02
CPC分类号： H03H9/02551 , H03H9/02661 , H03H9/02834 , H03H9/14594
摘要： 本发明提供一种声表面波器件、电子设备以及传感器装置。该声表面波(SAW)器件在工作温度范围内同时实现了优异的频率温度特性和较高的Q值。SAW器件(11)具有：IDT(13)，其在欧拉角(-1.5°≤Φ≤1.5°，117°≤θ≤142°，42.79°≤|ψ|≤49.57°)的水晶基板(12)的主面上激振阻带上限模式的SAW；一对反射器(14)，其被配置在IDT(13)的两侧；电极指间槽(17)，其凹设在IDT的电极指(15a、15b)之间；导体条间槽(18)，其凹设在反射器的导体条(14a)之间，其中，SAW的波长λ与电极指间槽的深度G之间满足0.01λ≤G，IDT的线占有率η与电极指间槽的深度G满足预定的关系式，IDT的线占有率η与反射器的线占有率ηr具有η＜ηr的关系。
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公开(公告)号：CN103891139A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201280051904.6
申请日：2012-10-22
申请人： 株式会社村田制作所
CPC分类号： H03H9/64 , H03H9/0042 , H03H9/02535 , H03H9/02559 , H03H9/02574 , H03H9/02622 , H03H9/02834 , H03H9/02866 , H03H9/0585 , H03H9/14594 , H03H9/175 , H03H9/6433 , H03H9/6483 , H03H9/725
摘要： 获得即使不连接附加电容也能调整频带宽度且传播损失足够小的弹性表面波装置。弹性表面波装置（1），使用切割角相同的压电体（4）而形成了多个弹性表面波元件（2、3），在各弹性表面波元件（2、3）中，至少一个弹性表面波元件（2）中的弹性表面波的传播方位（X1）与其他的至少一个弹性表面波元件（3）中的弹性表面波的传播方位（X2）不同，且在弹性表面波元件（2、3）中，在与压电体（4）的电极形成面相反侧的面，形成有将弹性表面波限制在压电体（4）侧的限制层（12）。
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公开(公告)号：CN101874348B
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：CN200980101093.4
申请日：2009-03-06
申请人： 株式会社村田制作所
发明人： 春田一政
CPC分类号： H03H9/0038 , H03H9/02913 , H03H9/02992 , H03H9/14594
摘要： 提供能实现频带外衰减量扩大的具有平衡不平衡变换功能的弹性波滤波装置。弹性波滤波装置(1)在不平衡端子(3)和第一、第二平衡端子(4、5)间，形成具有IDT(21～25)的5IDT型纵耦合谐振器型弹性波滤波部(12)，使IDT(21、24、25)连接不平衡端子(3)、IDT(22、23)分别连接第一、第二平衡端子(4、5)，连结与不平衡侧IDT(21、23、25)的接地电位连接的一侧端部和接地端子(6)的第二接地布线(18)与第一接地布线(17)分离，第二接地布线(18)具有第一、第二分支布线部(18a、18b)，第一、第二分支布线部(18a、18b)被设置为夹着设有IDT(21～25)的区域。
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公开(公告)号：CN102545822A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110397440.1
申请日：2011-12-02
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： H01L41/047 , H03H9/02551 , H03H9/0542 , H03H9/1071 , H03H9/14538 , H03H9/14558 , H03H9/14594
摘要： 本发明提供表面声波谐振器、表面声波振荡器以及电子设备，能够实现良好频率温度特性，并抑制频率的波动。用于解决上述课题的表面声波谐振器的特征在于，具有：欧拉角为(117°≤θ≤142°，42.79°≤|ψ|≤49.57°)的石英基板；以及IDT，其设置所述石英基板上，包含多个电极指，激励出阻带上端模式的表面声波，在平面视图中，在所述电极指之间的位置上配置有电极指间槽，该电极指间槽是所述石英基板的凹槽，在设配置在所述电极指间槽之间的所述石英基板的凸部的线占有率为ηg、设配置在所述凸部上的所述电极指的线占有率为ηe、设所述IDT的有效线占有率ηeff为所述线占有率ηg和所述线占有率ηe的相加平均的情况下，满足ηg＞ηe并且0.59＜ηeff＜0.73的关系。
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公开(公告)号：CN102403978A
公开(公告)日：2012-04-04
申请号：CN201110247975.0
申请日：2011-08-26
申请人： 精工爱普生株式会社
发明人： 山中国人
CPC分类号： H03H9/02551 , H03H9/0542 , H03H9/14594
摘要： 本发明提供一种声表面波(SAW)器件、电子设备以及传感器装置。该SAW器件能够在动作温度范围内同时实现优异的频率温度特性和较高Q值。SAW器件(11)具有：IDT(13)，其在欧拉角(-1.5°≤φ≤1.5°，117°≤θ≤142°，42.79°≤|ψ|≤49.57°)的水晶基板12的主面上，激振阻带上限模式的SAW；一对反射器(14)，其被配置在IDT(13)的两侧；电极指间槽(17)，其凹设在IDT的电极指(15a、15b)之间；导体条间槽(18)，其凹设在反射器的导体条(14a)之间。与电极指以及导体条正交的第1方向(X′轴)和水晶基板的电轴(X轴)以角度ψ交叉，并且IDT以及反射器的至少一部分被配置在，以1.0°≤α≤2.75°的角度α与第1方向交叉的第2方向上。
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公开(公告)号：CN102403975A
公开(公告)日：2012-04-04
申请号：CN201110261764.2
申请日：2011-08-29
申请人： 精工爱普生株式会社
发明人： 山中国人
IPC分类号： H03H9/02
CPC分类号： H03H9/02551 , H03H9/02661 , H03H9/02834 , H03H9/14594
摘要： 本发明提供一种声表面波器件、电子设备以及传感器装置。该声表面波(SAW)器件在工作温度范围内同时实现了优异的频率温度特性和较高的Q值。SAW器件(11)具有：IDT(13)，其在欧拉角(-1.5°≤Φ≤1.5°，117°≤θ≤142°，42.79°≤|ψ|≤49.57°)的水晶基板(12)的主面上激振阻带上限模式的SAW；一对反射器(14)，其被配置在IDT(13)的两侧；电极指间槽(17)，其凹设在IDT的电极指(15a、15b)之间；导体条间槽(18)，其凹设在反射器的导体条(14a)之间，其中，SAW的波长λ与电极指间槽的深度G之间满足0.01λ≤G，IDT的线占有率η与电极指间槽的深度G满足预定的关系式，IDT的线占有率η与反射器的线占有率ηr具有η＜ηr的关系。
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公开(公告)号：CN1652461A
公开(公告)日：2005-08-10
申请号：CN200410102254.0
申请日：2004-12-10
申请人： 精工爱普生株式会社
IPC分类号： H03H9/25
CPC分类号： H03H3/08 , H03H9/02551 , H03H9/14547 , H03H9/14594
摘要： 本发明提供一种声表面波元件片及其制造方法。声表面波元件片(50)在石英片(52)的表面具有IDT(34)和配置在IDT(34)两侧的反射器(36)。石英片(52)由其切割角被欧拉角表示为(0°、113°～135°、±(40°～49°))的面内旋转ST切割石英板形成。IDT(34)和反射器36沿着相对石英片(52)的声表面波的相位速度的方向(40)倾斜PFA±3°的方向配置。能量流动角PFA在石英片(52)的切割角被欧拉角表示为(φ°、θ°、φ°)时，PFA＝0.374(θ°－90°)－10.0°。由此，可以确实沿着面内旋转ST切割石英板的声表面波的群速度的方向配置IDT和反射器。
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