公开(公告)号：CN103969963A

公开(公告)日：2014-08-06

申请号：CN201310167352.1

申请日：2013-05-08

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 余振华 ,  包天一 ,  吕志伟 ,  许照荣 ,  林世杰 ,  林本坚

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/702 ,  H01J37/00 ,  H01J37/3174 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/31789

Abstract: 图案生成器包括：具有平面镜的平面镜阵列板、设置在平面镜阵列板上方的至少一个电极板、设置在平面镜上方的小透镜、以及夹置在平面镜阵列板和电极板之间的至少一个绝缘层。电极板包括第一导电层和第二导电层。小透镜具有在电极板中形成的非竖直侧壁。图案生成器进一步包括夹置在两个电极板之间的至少一个绝缘体。非竖直侧壁可以是U形侧壁或L形侧壁。本发明还提供了用于光刻系统的图案生成器。

公开(公告)号：CN101946300A

公开(公告)日：2011-01-12

申请号：CN200980104780.1

申请日：2009-02-11

Applicant: 普度研究基金会

Inventor： 欧阳证 ,  积逊·哈珀 ,  尼古拉斯·查理珀 ,  罗伯特·库克斯

IPC: H01J49/00

CPC classification number: H01J37/32009 ,  H01J27/022 ,  H01J37/00 ,  H01J37/32348 ,  H01J49/02 ,  H01J49/105 ,  H01J49/142 ,  H01J2237/0044 ,  H05H1/24 ,  H05H1/2406 ,  H05H1/30 ,  H05H2001/2412 ,  H05H2001/2443 ,  H05H2240/10 ,  H05H2240/20 ,  Y10T436/145555 ,  Y10T436/147777 ,  Y10T436/173076 ,  Y10T436/203332 ,  Y10T436/24

Abstract: 本发明总体涉及用于解吸并电离样品材料中的至少一种分析物的低温等离子体探针及其使用方法。在一个实施方案中，本发明总体涉及一种低温等离子体探针，其包括：具有放电气体入口的外壳、探针针尖、两个电极、以及电介质阻挡层，其中所述两个电极被所述电介质阻挡层分隔开，并且其中由电源施加的电压形成低温等离子体，并且其中通过电场和/或放电气流将所述低温等离子体驱出放电区域。

公开(公告)号：CN101523592A

公开(公告)日：2009-09-02

申请号：CN200780036531.4

申请日：2007-09-13

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 英岩艾伯特·王 ,  罗伯特·谢彼

IPC: H01L21/76

CPC classification number: H01J37/16 ,  H01J37/00 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32449 ,  H01J37/32834

Abstract: 一种用于钝化和/或剥除形成在半导体基片上的光刻胶层的真空室。该室包括内部室体，其形成腔体以围绕该基片并且具有贯穿延伸至该腔体的多个气体通道以及一个或多个加热器以加热该内部室体。该内部室体可滑动地安装在外部室体上，其围绕该内部室的侧面，其间具有间隙。该装置还包括：排气单元，其运转以从该腔体泵出气体；室顶部，安装在该内部室体上以覆盖该内部室体的顶部表面，其间具有间隙，该室顶部具有开口，其与该气体通道流体连通；以及等离子源，其运转以将该气体激发为等离子态并且连接至该开口以与该腔体流体连通。