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公开(公告)号：CN102736451A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210229255.6
申请日：2012-07-04
Applicant: 苏州大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种三光束干涉光刻方法和系统，其方法包括：激光束被位相光栅分光成三路光束后在加工工件表面实现N次干涉曝光，相邻两次曝光位置之间的错位值为dI/N，其中，N为大于等于3的奇数，dI为曝光后的光强分布的周期，所述三路光束分别为复振幅相同的第一光束和第二光束以及0级光束。通过本发明的三光束干涉光刻方法，可以在光刻胶上直接制备大幅面的精密多台阶结构，加工效率高，而且所采用的元器件容易获得，成本低。另外，采用三光束干涉曝光，对光栅和系统没有消零级的要求，易于制备。
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公开(公告)号：CN102566325A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201210076272.0
申请日：2012-03-21
Applicant: 苏州大学 , 苏州苏大维格光电科技股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种光学加工系统，包括加工平台、光学投影镜头、光学模板、中央控制系统、位置补偿系统和光源。其中，位置补偿系统包括位置检测系统、空间光调制器和位置信号处理模块。本发明的光学加工系统中，加工平台实现第一运动轴的步进运动和第二运动轴的扫描运动，光学模板或光学投影镜头实现第三运动轴的扫描运动，通过空间光调制器对第二运动轴方向上的曝光位置进行动态补偿，实现了第二运动轴和第三运动轴这两个扫描轴的精确高速同步，从而能够以“两轴扫描、一轴步进”的方式实现三维加工，其加工效率和加工精度大幅提升。
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公开(公告)号：CN102542313A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201210002138.6
申请日：2012-01-05
Applicant: 苏州大学 , 苏州苏大维格光电科技股份有限公司
Abstract: 本发明提出了一种双通道光栅结构，并利用该双通道光栅结构具有能够在不同方向分别反射可见光和紫外光的光学特性，设计制作成了用于卡证等的防伪识别结构，该识别结构同时具有专家识别防伪和公众识别防伪的效果。同时本发明了还提出了基于上述识别结构的卡证的真伪识别方法。
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公开(公告)号：CN101930207B
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：CN201010238377.2
申请日：2010-07-28
Applicant: 苏州苏大维格光电科技股份有限公司 , 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种微光栅亚像素三维光学图像，由排列于平面上的像素阵列结构构成，含有多个视角的分视角图像信息，其特征在于：每一像素由多个亚像素构成，每一亚像素对应于一个视角在该像素处的图像，每一亚像素为一光栅状图像单元，光栅状图像的条纹取向对应于视角，条纹的周期代表颜色信息。其制作方法包括如下步骤：设计三维衍射光学图像数据；设计具有亚像素体视结构的模板图像；根据图像数据和模板，生成体像素图像；微缩光刻亚像素体视图像单元，得到由亚像素体视单元构成的三维衍射光学图像。本发明可以数字化地输出立体图像。
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公开(公告)号：CN102331687A
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN201110323729.9
申请日：2011-10-21
Applicant: 苏州大学 , 苏州苏大维格光电科技股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种步进式光学加工系统和光学加工方法，该系统包括加工平台、光学头、中央控制系统和位置补偿系统，其中位置补偿系统包括空间光调制器、位置检测系统和图形控制器，所述空间光调制器具有位置补偿区，该空间光调制器上显示的加工图形可以在该位置补偿区中偏移，通过加工图形的偏移来补偿由机械运动产生的位置误差，提高了加工的精度和效率。本发明还提供了一种使用上述光学加工系统的光学加工方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101976020A
公开(公告)日：2011-02-16
申请号：CN201010503788.X
申请日：2010-10-12
Applicant: 苏州苏大维格光电科技股份有限公司 , 苏州大学
Abstract: 一种光刻装置及光刻方法，该光刻装置根据光路的可逆原理在光阑的共轭位置处设置检测装置，可以检测光束在待刻物件表面的汇聚和成像信息，提高光刻光点的品质，同时该光刻方法应用上述光刻装置实现在刻蚀过程中无论由待刻物件表面的凹凸情况引起的离焦现象，还是由填充液加热导致的折射率变化而引起的离焦现象，都能即时地、精确地进行自动调焦，从而保证了移动式曝光的光刻质量。
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公开(公告)号：CN101386111A
公开(公告)日：2009-03-18
申请号：CN200710046020.2
申请日：2007-09-14
Applicant: 苏州大学
CPC classification number: B23K26/0734 , B23K26/1462 , B23K26/32 , B23K26/34 , B23K35/0227 , B23K35/0261 , B23K2103/50
Abstract: 本发明激光光内送丝熔覆方法采用光内送丝装置，用圆锥镜将激光器发射的激光束变换为环形光束，再用环形聚焦镜聚焦成为环锥形光束，在环锥形光束中形成一锥形中空无光区，送丝管置于此无光区内并与环锥形光束同轴线。工作中丝材在环锥形光束中心被同轴垂直送入加工面上的熔池内，实现光内同轴送丝。本发明可改变现有光外侧向送丝工艺方法带来的进丝和对准方位复杂难控，送丝过程中光束离焦波动和变方向扫描造成丝材的热作用发生变化，熔覆过程及熔道质量对相对位置的波动敏感，极易造成熔覆不连续和熔道质量恶化等诸多不足。光内送丝各方向送丝姿态方位一致，不受扫描方向性和离焦波动影响，光丝耦合连续稳定，熔层质量高。本发明用于金属材料的激光熔覆、三维实体快速成形、激光焊接与特种连接、激光修复再制造等场合。
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公开(公告)号：CN100436031C
公开(公告)日：2008-11-26
申请号：CN200510112041.0
申请日：2005-12-27
Applicant: 苏州大学
Abstract: 一种激光精密熔覆光粉同轴装置，包括T型状筒体、聚焦镜、光束吸收体、固定于桶筒体上的送粉管，以及冷却水套、和保护气管，其特征在于：沿入射光方向设置在筒体内腔的反射镜，其镜面中心开有一通孔，以及将通孔与其镜片外沿连通的通槽；在该反射镜背面的入射光延伸方向的筒体内还设置着一个具有吸光内锥面、且置有冷却水道的光束吸收体；在筒体的下部腔体内安置着一片聚焦镜，在该聚焦镜以下的筒体内腔设置着一根自筒体外伸进的直角弯折形送粉管，弯折后的送粉管的向下延伸管体与设于送粉管上方筒体腔体内的所述聚焦镜、以及反射镜上的通孔的中心在同一轴线位置。本发明从聚焦光束中心送粉，真正实现光、粉同轴，结构简单，调节容易，送粉准确稳定，适于激光熔覆、激光合金化、激光焊接、激光快速原型制造等。
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公开(公告)号：CN105619819B
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201610090876.9
申请日：2016-02-18
Applicant: 苏州苏大维格光电科技股份有限公司 , 苏州大学
IPC: B29C64/135 , B29C64/268 , B29C64/245 , B33Y30/00
Abstract: 本发明提出一种基于基底层的三维成型装置，包括基底层以及基材成型机构、曝光机构、支撑机构及剥离机构，基材成型机构包括分离液喷射装置及用于盛放感光材料的容置槽，分离液喷射装置喷射分离液至基底层下方表面以形成分离型涂层，之后涂覆感光材料层，基底层、分离型涂层与感光材料层依次成型形成基材，基材被反复依次运送至基材成型机构、支撑机构及剥离机构，控制基材成型机构、曝光机构与剥离机构的对应位置，可以使得三维成型装置同时进行基材成型、曝光、剥离中的两个或三个步骤，基材成型、曝光与剥离动作同时反复进行，提升了工作效率，适用于三维实体的大幅面、高效率、高精度和低成本等制作要求。
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公开(公告)号：CN105538726A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201610090877.3
申请日：2016-02-18
Applicant: 苏州苏大维格光电科技股份有限公司 , 苏州大学
Abstract: 本发明提出一种基于薄膜基底的三维成型装置及方法，该装置包括送料机构、曝光机构、支撑机构及分离机构，通过送料机构将感光材料层送入相应的曝光区域中，由曝光机构对感光材料层进行曝光，实现对每层指定图形的固化生成，每层图形叠加在一起，在支撑机构上形成所需零件，而分离过程与曝光过程同步进行，随着分离机构向右移动，在张力的作用下，薄膜基底材料层逐渐与支撑机构上已成型零件的顶面分离，而未被曝光的感光材料层也同时被剥离于支撑机构外，曝光和分离动作同时进行，可以提升工作效率，适用于三维实体的大幅面、高效率、高精度和低成本等制作要求。
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