公开(公告)号：CN102235912B

公开(公告)日：2016-01-27

申请号：CN201110074402.2

申请日：2011-03-25

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 野田贵史 ,  泷泽顺

IPC: G01J5/12

CPC classification number: G01J5/048 ,  G01J5/02 ,  G01J5/024 ,  G01J5/34 ,  H01L37/02

Abstract: 本发明提供了热电型光检测器、热电型光检测装置、电子设备和热电型光检测器的制造方法。该热电型光检测器包括：热电型光检测元件；安装了热电型光检测元件的支撑部件；在与热电型光检测元件相对的位置配置空穴部并支撑该支撑部件的固定部；在从热电型光检测元件侧看的俯视图上沿着支撑部件的轮廓开口并与空穴部连通的开口部；以及覆盖支撑部件的第一面、支撑部件的面对开口部的侧面以及在俯视图中露出的热电型光检测元件及支撑部件的外表面的第一还原气体阻隔层。

公开(公告)号：CN102221411B

公开(公告)日：2015-10-21

申请号：CN201110074618.9

申请日：2011-03-25

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 野田贵史 ,  泷泽顺

IPC: G01J5/10 ,  G01J5/02 ,  H01L37/00

CPC classification number: G01J5/34 ,  G01J5/02 ,  G01J5/024 ,  G01J5/20 ,  H01G7/04 ,  H01L37/02

Abstract: 本发明提供了一种热式光检测器、热式光检测装置及电子设备。热式光检测器具有：热式检测元件；支撑部件，热式检测元件安装并支撑在支撑部件的与面向空腔部的第一面相对的第二面上；以及固定部，支撑该支撑部件。支撑部件具有：第一层部件，配置在第二面侧，并具有朝向第一方向的残留应力；以及第二层部件，在第一面侧层叠到第一层部件上，并具有朝向与第一方向相反的第二方向的残留应力。第一层部件的热导小于第二层部件的热导。

公开(公告)号：CN104075813A

公开(公告)日：2014-10-01

申请号：CN201410105589.1

申请日：2014-03-20

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 米村贵幸 ,  野田贵史 ,  土屋泰 ,  滨田泰彰

IPC: G01J5/20 ,  G01J5/24

CPC classification number: G01J5/10 ,  G01J5/046 ,  G01J5/34

Abstract: 本发明提供能够提高红外线传感器的灵敏度的红外线传感器和热检测元件。上述红外线传感器具备基于电阻值的变化来检测热的热检测元件，该热检测元件具备第1电极6、第2电极7以及设置于第1电极6和第2电极7之间且至少含有Bi和Fe的电介质膜8。

公开(公告)号：CN102650552A

公开(公告)日：2012-08-29

申请号：CN201210043847.9

申请日：2012-02-23

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 野田贵史

IPC: G01J5/12 ,  G01J5/20

Abstract: 提供了热式检测器、热式检测装置以及电子设备。该热式检测器具有：基体；支撑部件，其包括第一面和与第一面相对的第二面；间隔部件，其与基体连接设置，以在基体与支撑部件的第二面之间形成空腔部的方式支撑支撑部件；热式检测元件，其支撑在支撑部件的第一面上；检测电路，其配置在基体上，与热式检测元件连接；以及布线部，其连接热式检测元件和检测电路，其中，布线部具有：配置在基体内的至少一层第一导电层；配置在间隔部件内的至少一层第二导电层；支撑于支撑部件的第三导电层；以及多个插头，其将至少一层第一导电层、至少一层第二导电层以及第三导电层中基板厚度方向上的相邻层彼此连接。

公开(公告)号：CN102368045A

公开(公告)日：2012-03-07

申请号：CN201110174673.5

申请日：2011-06-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 野田贵史

IPC: G01J5/34

CPC classification number: G01J5/02 ,  G01J5/024 ,  G01J5/0285 ,  G01J5/04 ,  G01J5/046 ,  G01J5/08 ,  G01J5/0853 ,  G01J5/34 ,  H01L37/02

Abstract: 本发明提供了热电型检测器、热电型检测装置和电子设备。该热电型检测器包括电容器的热电型检测元件搭载于面对空穴部而由支撑部支撑的支撑部件上，其中，所述电容器包括：第一电极、第二电极以及配置在这些电极之间的热电材料。其层叠顺序为沿第一方向，支撑部、支撑部件、热电型检测元件的顺序，其中，支撑部件在至少与第一电极连接的所述第一面侧具有第一绝缘层，在将与所述第一方向相反的方向作为第二方向时，第一绝缘层与比该第一绝缘层更位于所述第二方向侧上的第二绝缘层相比，氢含有率更小。

公开(公告)号：CN102235912A

公开(公告)日：2011-11-09

申请号：CN201110074402.2

申请日：2011-03-25

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 野田贵史 ,  泷泽顺

IPC: G01J5/12

CPC classification number: G01J5/048 ,  G01J5/02 ,  G01J5/024 ,  G01J5/34 ,  H01L37/02

Abstract: 本发明提供了热电型光检测器、热电型光检测装置、电子设备和热电型光检测器的制造方法。该热电型光检测器包括：热电型光检测元件；安装了热电型光检测元件的支撑部件；在与热电型光检测元件相对的位置配置空穴部并支撑该支撑部件的固定部；在从热电型光检测元件侧看的俯视图上沿着支撑部件的轮廓开口并与空穴部连通的开口部；以及覆盖支撑部件的第一面、支撑部件的面对开口部的侧面以及在俯视图中露出的热电型光检测元件及支撑部件的外表面的第一还原气体阻隔层。