利用稀土催化剂制备磷酸酯聚合物的方法

    公开(公告)号:CN101735461B

    公开(公告)日:2012-02-01

    申请号:CN201010040017.1

    申请日:2010-01-18

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种利用稀土催化剂制备磷酸酯聚合物的方法,包括:稀土催化剂存在下,在氩气气氛中将五元环磷酸酯单体进行开环均聚反应或将五元环磷酸酯单体与环酯单体或者环碳酸酯单体进行开环共聚反应,制得磷酸酯聚合物;所述稀土催化剂为稀土金属的卤化物LnX3、稀土金属的烷氧基配合物Ln(OR4)3或稀土金属的芳氧基配合物Ln(OAr)3;其中,稀土金属Ln选自镧系金属、钪或钇;X为卤素原子;R4选自C3~C8的烷基;Ar选自苯基或者C1~C4的烷基取代的苯基。该反应条件温和,效率高,催化剂残留易除去,所得的聚合产物分子量高,有优良的生物相容性和可降解性,并具备良好的物理机械性能,具有广阔的生物医用前景。

    用于浸没式光刻机的气密封和微孔密封装置

    公开(公告)号:CN103969964B

    公开(公告)日:2015-11-25

    申请号:CN201410172815.8

    申请日:2014-04-25

    Applicant: 浙江大学

    Inventor: 傅新 徐宁 陈文昱

    Abstract: 本发明公开了一种用于浸没式光刻机的气密封和微孔密封装置。在浸没式光刻机中的投影透镜组和硅片之间设置有气密封和微孔密封装置;气密封和微孔密封装置包括浸没单元基体、浸没单元上端盖、浸没单元下端盖和浸没单元气密封端盖;浸没单元基体上面与浸没单元上端盖接触,浸没单元基体下面依次与浸没单元下端盖和浸没单元气密封端盖接触紧固连接。本发明用来完成浸没式光刻系统中缝隙流场的密封和液体注入回收功能,采用气密封结构和微孔结构防止液体泄漏,在微孔上加上负压对液体进行回收并约束缝隙流场,通过气密封结构实现缝隙流场的密封,同时能够保证缝隙流场边缘的稳定性。通过大流量注液和回收实现缝隙流场内浸没液体的稳定更新。

    用于浸没式光刻机的多级负压回收密封和气密封装置

    公开(公告)号:CN103268059B

    公开(公告)日:2014-12-10

    申请号:CN201310205734.9

    申请日:2013-05-29

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了用于浸没式光刻机的多级负压回收密封和气密封装置。在浸没式光刻机中的投影物镜组和硅片之间装有由浸没单元上端盖和浸没单元下端盖组成的多级负压回收密封和气密封装置。本发明利用负压回收液体的同时,还能对液体实现密封。多级负压回收适应硅片较高的扫描速度,提高密封的效果;在浸没单元外侧采用气密封结构,在气体压力均布腔的作用下,密封气体能够很好的约束浸没液体,允许光刻系统具有更高的扫描和步进速度;负压回收密封和气密封结合使用能更好地约束浸没液体,防止浸没单元的内部液体在高速扫描时发生泄漏。

    微曝气复合垂直流湿地净化系统

    公开(公告)号:CN203238097U

    公开(公告)日:2013-10-16

    申请号:CN201320226263.5

    申请日:2013-04-28

    CPC classification number: Y02W10/18

    Abstract: 本实用新型公开了一种微曝气复合垂直流湿地净化系统。该系统以由三个相同的下行流池-上行流池单元串联的复合垂直流湿地为主体,在第一个单元的下行流池的底部均匀铺设了曝气头,可以按照一定的曝气强度和曝气时间对最前端的下行流池底部进行曝气,有效解决一般的人工湿地系统中溶解氧不足而导致的氮、磷去除率低的问题。该系统可用于城市河流中受低污染、重污染以及受污染程度介于两者之间的河水的处理。

    一种用于浸没式光刻机的气密封和气液隔离装置

    公开(公告)号:CN203025474U

    公开(公告)日:2013-06-26

    申请号:CN201220591927.3

    申请日:2012-11-12

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本实用新型公布了一种用于浸没式光刻机的气密封和气液隔离装置。在浸没式光刻机中的投影物镜组和硅片之间装有气密封和气液隔离装置;气密封和气液隔离装置由浸没单元上端盖、浸没单元中间体和浸没单元下端盖组成。本实用新型用来完成浸没式光刻系统中缝隙流场的密封和液体注入回收功能,实现缝隙流场的稳定更新。本实用新型采用气密封结构防止液体泄漏,采用气液隔离装置将缝隙流场周围的密封气体与内部的浸没液体隔离开来,即采用气体密封液体,液体密封液体的两级密封结构,在保证气密封优点的同时,能够有效的避免气液两相流的产生,同时能够保证缝隙流场边缘的稳定性。

    一种用于浸没式光刻机的气密封和气液分离回收装置

    公开(公告)号:CN202615114U

    公开(公告)日:2012-12-19

    申请号:CN201220249142.8

    申请日:2012-05-30

    Applicant: 浙江大学

    Inventor: 傅新 陈文昱 徐宁

    Abstract: 本实用新型公开了一种用于浸没式光刻机的气密封和气液分离回收装置。在浸没式光刻机中的投影物镜组和硅片之间装有气密封和气液分离回收装置;气密封和气液分离回收装置包括密封和注液回收装置、气液分离片组和液体回收片组,密封和注液回收装置由浸没单元前端盖和浸没单元后端盖组成。本实用新型用来完成浸没式光刻系统中缝隙流场的密封和注液回收功能,实现缝隙流场连续稳定的更新。缝隙流场边缘使用气密封结构防止液体泄漏,采用气液分离回收结构实现气体和液体的分离和分别回收,避免了气液两相流的产生,从而避免了气液两相流同时回收时引起的管路振动问题。无论硅片往哪个方向运动,气液分离回收结构都能够动态的调节装置内液面的高度。

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