公开(公告)号：CN110892325B

公开(公告)日：2023-10-20

申请号：CN201880038114.1

申请日：2018-07-24

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 朴贤旻 ,  林敏映 ,  李泰燮

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/20 ,  G03F7/26

Abstract: 本发明涉及化学增幅型光致抗蚀剂组合物，其包含碱溶性树脂，所述碱溶性树脂包含含有其中杂环化合物经由包含具有1至20个碳原子的硫化亚烷基的二价官能团取代的基于(甲基)丙烯酸酯的重复单元的基于(甲基)丙烯酸酯的树脂。

公开(公告)号：CN110325915B

公开(公告)日：2022-11-11

申请号：CN201880012894.2

申请日：2018-09-14

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 林敏映 ,  金智慧 ,  金容美

IPC: G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  G03F7/20 ,  C07D221/14

Abstract: 本发明涉及化学增幅型光致抗蚀剂组合物、由所述化学增幅型光致抗蚀剂组合物产生的光致抗蚀剂图案、以及用于制备化学增幅型光致抗蚀剂图案的方法，所述化学增幅型光致抗蚀剂组合物包含碱溶性树脂和具有预定结构的聚合物光致产酸剂。

公开(公告)号：CN110178086B

公开(公告)日：2022-09-16

申请号：CN201880006629.3

申请日：2018-10-25

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 林敏映 ,  金容美 ,  金智慧

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/004 ,  G03F7/033

Abstract: 本公开内容涉及化学增幅型光致抗蚀剂组合物和使用其的光致抗蚀剂膜，所述化学增幅型光致抗蚀剂组合物能够使由所述组合物获得的光致抗蚀剂的开裂最小化并提高对基底的粘合性和感光度。

公开(公告)号：CN110325910B

公开(公告)日：2022-07-29

申请号：CN201880013367.3

申请日：2018-08-24

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 林敏映 ,  李泰燮 ,  朴贤旻

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  C07D221/14

Abstract: 本发明涉及光致产酸剂和包含其的用于厚膜的化学增幅型光致抗蚀剂组合物，其中光致产酸剂具有优异的溶解度和感光度，并且除了作为光致产酸剂的效果之外，还具有抗腐蚀效果。因此，包含所述光致产酸剂的用于厚膜的化学增幅型光致抗蚀剂组合物减少了在显影之后在曝光部分处的浮渣和/或基脚。光致产酸剂由以下化学式1表示。在化学式1中，各取代基的限定与说明书的详细描述相同。[化学式1]

公开(公告)号：CN114466879A

公开(公告)日：2022-05-10

申请号：CN202080068955.4

申请日：2020-10-22

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 尹美善 ,  全成浩 ,  林敏映

IPC: C08G59/24 ,  C08G64/30 ,  G03F7/004

Abstract: 本说明书提供了聚合物树脂化合物、用于制备其的方法、包含所述聚合物树脂化合物的光敏树脂组合物、以及使用所述光敏树脂组合物形成的光敏材料。

公开(公告)号：CN114450322A

公开(公告)日：2022-05-06

申请号：CN202080067878.0

申请日：2020-12-17

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 朴帅敏 ,  李元中 ,  林敏映

IPC: C08G18/75 ,  C08G18/67 ,  C08G18/38 ,  C08G18/34 ,  G03F7/004 ,  G03F7/028 ,  G03F7/035 ,  G03F7/038

Abstract: 本申请涉及化学式1的化合物、粘合剂树脂、负型光敏树脂组合物、和包括使用所述负型光敏树脂组合物形成的黑堤的显示装置。

公开(公告)号：CN111868038A

公开(公告)日：2020-10-30

申请号：CN201980019703.X

申请日：2019-10-11

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 安俊炫 ,  林敏映

IPC: C07D237/24 ,  G03F7/20 ,  G03F7/26 ,  G03F7/004 ,  G03F7/032

Abstract: 本公开内容涉及化合物、包含其的光致抗蚀剂组合物、包含其的光致抗蚀剂图案和用于制备光致抗蚀剂图案的方法。

公开(公告)号：CN109791355A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201880003820.2

申请日：2018-04-03

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 林敏映 ,  李泰燮 ,  金智慧

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  C07D221/14

Abstract: 本公开涉及光致产酸剂和包含其的用于厚膜的化学增幅型正性光致抗蚀剂组合物。所述光致产酸剂不仅可以表现出在光致抗蚀剂组合物的溶剂中的高溶解度，而且还可以表现出化学稳定性和热稳定性以及高感光度。具体地，所述光致产酸剂通过光分解而产生酸，同时可以表现出对金属基底的防腐蚀效果。

公开(公告)号：CN101646698A

公开(公告)日：2010-02-10

申请号：CN200880010494.4

申请日：2008-10-06

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 金韩修 ,  金星炫 ,  朴光汉 ,  林敏映 ,  许闰姬 ,  刘志钦 ,  金善花

IPC: C08F220/00 ,  C08F2/38

CPC classification number: G03F7/027 ,  C08F2/38 ,  C08F120/18 ,  C08F220/06 ,  C08F220/10 ,  C08F222/00 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/033 ,  G03F7/0382

Abstract: 提供了一种碱溶性树脂。该碱溶性树脂使用多官能硫醇化合物作为链转移剂而制得。所述碱溶性树脂具有比相同分子量的树脂更低的粘度。还提供了一种含有所述碱溶性树脂作为粘结剂用树脂的负型光敏树脂组合物。所述碱溶性树脂的使用降低了光敏树脂组合物的整体粘度，从而使用少量光敏树脂组合物即可有效降低光致抗蚀剂图案的阶跃部分的高度。