公开(公告)号：CN102057477B

公开(公告)日：2014-08-13

申请号：CN200980120845.1

申请日：2009-06-03

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 佐藤诚一 ,  矢作充 ,  南展史 ,  武者和博 ,  高桥诚

IPC: H01L21/683 ,  B23Q1/01 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07 ,  H01L21/304 ,  H01L21/68 ,  B05C13/00

CPC classification number: H01L21/68785 ,  B65G49/061 ,  B65G49/065 ,  B65G49/067 ,  B65G2249/045 ,  H01L21/68 ,  H01L21/6838

Abstract: 本发明提供一种具有定位功能的载物台，该载物台即使在处理对象物重量大的情况下，也能够高精度并且容易地进行特别是θ方向的定位，且成本低。该具有定位功能的载物台具有暴露基板(S)处理面并保持基板(S)的载物台本体(4a)，还包括可自由地吸附在与所述的基板处理面相对的另外一面上的吸附装置(8)、向所述吸附装置上吸附位置以外的区域供给气体的气体供给装置(9)和向所述吸附装置施加旋转力使基板以所述吸附装置为旋转中心在同一平面内旋转的驱动装置(10)。

公开(公告)号：CN101652228B

公开(公告)日：2012-12-12

申请号：CN200880011092.6

申请日：2008-03-11

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 武者和博 ,  南展史 ,  吾乡健二 ,  浅石隆 ,  小池土志夫

IPC: B25J9/06 ,  B25J9/04 ,  B65G49/07 ,  H01L21/677

Abstract: 本发明提供小型且不污染装置环境的搬送装置。在第一范畴的本发明的搬送装置(1、2)中，第一、第二旋转轴(11、12)同心状地配置，所以装置的设置面积小，并且，止点脱出机构(50)为简单的结构且厚度薄。手部(20)的连结部能够减薄，所以能够减小插入手部(20)的闸阀的开口。其结果为，搬送室内的灰尘不易侵入处理室。第二范畴的本发明是分离双轴的搬送装置，有时设于转动轴的第一臂的长度与设于第一臂和基板支承体之间的第二臂的长度不同，但是在本发明中，在止点位置以外解除止点脱出机构的旋转力的传递，所以即使在长度不同的情况下，也不会无法动作。

公开(公告)号：CN101801646A

公开(公告)日：2010-08-11

申请号：CN200880108048.7

申请日：2008-11-05

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 佐藤诚一 ,  矢作充 ,  南展史 ,  武者和博 ,  汤山纯平 ,  村田真朗 ,  宫田贵裕 ,  中村久三

IPC: B29C65/00 ,  B30B15/00 ,  B65G49/06 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1339 ,  G09F9/00 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67092 ,  B32B37/10 ,  B65G49/061 ,  B65G49/064 ,  B65G2249/02 ,  B65G2249/045

Abstract: 本发明公开了一种粘合基板制造装置，通过对上基板与下基板进行位置对准并粘合来制造粘合基板，其特征在于，包括：载置所述下基板的基底部；竖立设置在该基底部上的支撑棒；和能够沿该支撑棒上下移动并能够保持所述上基板的上加压部件，通过使所述上加压部件下降，将保持在所述上加压部件上的所述上基板与载置在所述基底部上的所述下基板粘合。

公开(公告)号：CN101652228A

公开(公告)日：2010-02-17

申请号：CN200880011092.6

申请日：2008-03-11

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 武者和博 ,  南展史 ,  吾乡健二 ,  浅石隆 ,  小池土志夫

IPC: B25J9/06 ,  B25J9/04 ,  B65G49/07 ,  H01L21/677

Abstract: 本发明提供小型且不污染装置环境的搬送装置。在第一范畴的本发明的搬送装置(1、2)中，第一、第二旋转轴(11、12)同心状地配置，所以装置的设置面积小，并且，止点脱出机构(50)为简单的结构且厚度薄。手部(20)的连结部能够减薄，所以能够减小插入手部(20)的闸阀的开口。其结果为，搬送室内的灰尘不易侵入处理室。第二范畴的本发明是分离双轴的搬送装置，有时设于转动轴的第一臂的长度与设于第一臂和基板支承体之间的第二臂的长度不同，但是在本发明中，在止点位置以外解除止点脱出机构的旋转力的传递，所以即使在长度不同的情况下，也不会无法动作。

公开(公告)号：CN308662536S

公开(公告)日：2024-05-31

申请号：CN202230825992.7

申请日：2022-12-09

Applicant: 株式会社爱发科

Designer： 铃木杰之 ,  吉田雄一 ,  关原将行 ,  武者和博

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：基板搬运用托盘夹具主体。
2.本外观设计产品的用途：关于整体用途，本外观设计产品是在用于制造显示器等的基板上进行成膜的基板处理装置中使用的基板搬运用托盘的夹具，将基板的周缘固定于基板搬运用托盘；局部用途与整体用途相同，省略记载。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
5.其他需要说明的情形其他说明：参考图是将正面侧盖和背面侧盖拆下状态的俯视参考图。
本外观设计申请请求保护产品的局部的外观设计，以实线表示的部分为请求外观设计专利保护的部分。