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公开(公告)号：CN112470298B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN201980049523.6
申请日：2019-07-10
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: MEMS器件(101)具备由压电体的单晶构成的压电层(10)、配置于压电层(10)的第一方向(91)的表面的第一电极(14)、以及配置为覆盖压电层(10)的第一方向(91)的表面的作为第一层的中间层(3)。压电层(10)的至少一部分包含在膜片部(6)中。第一电极(14)被第一层(3)覆盖且具有凹部。压电层(10)在与第一电极(14)的至少一部分对应的位置处具有贯通孔(18)，该贯通孔(1g)贯穿压电层(10)，使得将压电层(10)的与第一方向(91)相反的一侧即第二方向(92)的表面与所述凹部连结。
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公开(公告)号：CN116917026A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202180094844.5
申请日：2021-12-22
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 藤本克己
IPC: B01F23/20
Abstract: 本发明涉及气泡产生装置以及气泡产生系统。本发明提供一种安装于液体槽(10)并使液体槽(10)的液体中产生微细的气泡的气泡产生装置(1)。气泡产生装置(1)具备振动板(2)、第一筒状体(31)、弹簧部(32)、第二筒状体(33)、凸缘部(34)、第三筒状体(35)、配重部(36)以及压电元件(4)。第三筒状体(35)及配重部(36)设置于在利用压电元件(4)使弹簧部(32)振动的情况下第二筒状体(33)的侧面的位移量为规定范围内的位置。
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公开(公告)号：CN113767616B
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202080020330.0
申请日：2020-10-29
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明的振动装置具备：透光体，其使预定波长的光透过；第1筒状体，其在一端支承透光体；板状的弹簧部，其支承第1筒状体的另一端；第2筒状体，其在一端支承弹簧部的位于支承第1筒状体的位置的外侧的位置；以及振动体，其配置于第2筒状体的另一端侧，在第2筒状体的贯通方向上振动；透光体具有：主体部，其位于比由第1筒状体支承的部分靠内侧的位置；以及突出部，其从主体部向透光体的外周方向延伸，并且比由第1筒状体支承的部分向外侧突出，突出部的由其所具有的惯性矩计算的等效质量与主体部的重量之比为0.8以上且1.2以下，透光体、第1筒状体、弹簧部以及第2筒状体以透光体的共振频率比弹簧部的共振频率大的方式构成。
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公开(公告)号：CN115515705A
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202180031835.1
申请日：2021-02-22
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本公开示出气泡产生装置(1)，安装于液体槽且通过振动使液体槽的液体中产生微细的气泡。气泡产生装置(1)具备振动板(2)、第一筒状体(31)、弹簧部(32)、第二筒状体(33)以及压电元件(4)。振动板(2)形成有多个细孔，一个面与液体相接，另一个面与气体相接。第一筒状体(31)在一端保持振动板(2)。板状的弹簧部(32)对第一筒状体(31)的另一端进行支承。第二筒状体(33)在一端对处于支承第一筒状体(31)的位置的外侧的弹簧部(32)的位置进行支承。压电元件(4)设置于第二筒状体(33)的另一端，使第二筒状体(33)振动。
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公开(公告)号：CN113168076B
公开(公告)日：2022-07-05
申请号：CN202080005606.8
申请日：2020-06-16
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 在振动装置(10)中具备：保护罩(11)，其使预定波长的光透过；第1筒状体(12)，其在一个端部保持保护罩(11)；板状的板簧(13)，其支承第1筒状体(12)的另一个端部；第2筒状体(14)，其在一个端部支承板簧(13)的位于支承第1筒状体(12)的位置的外侧的位置；多个压电元件(15)，其配设于第2筒状体(14)的侧面，在相对于第2筒状体(14)的贯通方向垂直的方向上振动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112955801A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN202080006081.X
申请日：2020-03-06
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: G02B7/02 , G03B17/56 , H01L41/09 , G02B27/00 , B60S1/60 , G03B17/02 , G03B15/00 , H04N5/225 , H01L41/257
Abstract: 本发明的光学装置(10)具备保护罩(12)、筒状体的壳体(11)以及振动体(13)。振动体(13)选择使保护罩(12)振动的多个振动模式中的、保护罩(12)的振动位移最大的清洁模式和节点数比清洁模式的节点数多的高阶的加热模式来使保护罩(12)振动。在加热模式中，该振动模式内的最大振动位移的位置处于保护罩(12)的与光学传感器(1)的视场对应的区域内。
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公开(公告)号：CN112004614A
公开(公告)日：2020-11-27
申请号：CN201980028001.8
申请日：2019-01-25
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种能够高效地去除水滴等的振动装置。本发明的振动装置(1)包括：振动体(3)，其为筒状，具有第1开口端部(3a)、第2开口端部(3b)以及外侧面(3c)和内侧面(3d)；透光体(8)，其与振动体(3)的第2开口端部(3b)连结；以及压电振子(7)，其配置于振动体(3)，振动体具有从振动体的外侧面(3c)向外侧延伸的凸缘部，该振动装置还包括驱动电路(12)，该驱动电路(12)使透光体(8)和振动体(3)的连结体按照透光体振动的振动模式或凸缘部振动的振动模式振动，并且交替地切换透光体振动的振动模式和凸缘部振动的振动模式。
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公开(公告)号：CN111512623A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN201880083550.0
申请日：2018-06-15
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种能够使液滴以较大的振幅移动或雾化的振动装置。在振动装置(2)中，穹顶状的盖(11)配置为包含光学检测元件(3)的检测区域，在盖(11)固定有筒状的振动体(12)，借助振动体(12)使盖(11)振动的压电元件(13)固定于振动体(12)。振动体(12)具有圆筒部(14)、与圆筒部(14)的第1端部(14a)连结的第1连结部(15)、与第1连结部的盖(11)侧连结的第1环状部(16)、与圆筒部(14)的第2端部连结的第2连结部(17)、以及与第2连结部(17)的连结有圆筒部(14)的一侧的相反侧连结的第2环状部(18)。
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公开(公告)号：CN111095585A
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201880059615.8
申请日：2018-11-16
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L41/053 , H01L41/09 , H03H3/02 , H03H9/17
Abstract: 压电器件具备：至少一部分能够弯曲振动且极化状态相同的压电单晶体(10)、配置在压电单晶体(10)的上表面上的上部电极(22)、配置在压电单晶体(10)的下表面上的下部电极(21)、和配置在压电单晶体(10)的下方的支承基板(40)，设置有从支承基板(40)的下表面朝向压电单晶体(10)的下表面上的凹部(141)。
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公开(公告)号：CN110999272A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201880051560.6
申请日：2018-04-11
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种在去除附着于透光体的液滴时难以发生因液膜的扩散引起的视场阻碍的振动装置的驱动方法。一种振动装置的驱动方法，用于在具有透光体(2)以及与透光体(2)连结以便使透光体(2)振动的压电元件(4)的振动装置中将附着于透光体(2)的液滴通过雾化来去除，在该振动装置的驱动方法中，以1Hz以上且50Hz以下的扫描速度扫描用于使压电元件振动的驱动电压，使得以包括没有液滴附着于透光体(2)的情况下的透光体(2)的谐振频率以及有液滴附着的情况下的透光体(2)的谐振频率这两方的谐振频率的频率范围来扫描压电元件的振动的频率。
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