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公开(公告)号：CN101517893B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200780035382.X
申请日：2007-08-31
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/0222 , H03H9/02559 , H03H9/14541
Abstract: 提供一种无论占空比的大小如何都能降低插入损耗的弹性边界波装置。一种弹性边界波装置(1)，其特征在于，包括：由以使Y轴旋转15°±10°的面为主面的LiNbO3构成的压电体(2)，层叠在上述压电体(2)上、由氧化硅构成的电介质(3)，及配置在上述压电体(2)和电介质(3)的边界、含IDT的电极结构(4)；在利用在该边界传播的弹性边界波的弹性边界波装置中，当设上述IDT的密度为ρ(kg/m3)、膜厚为H(μm)、由IDT的电极指的周期决定的波长为λ(μm)、占空比为x时，H/λ和ρ的乘积、与x满足下述式(1)的范围。(数1)(H/λ)×ρ＞70.7924(x+0.055)(-2.0884)+797.09 …(式1)
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公开(公告)号：CN1930778A
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：CN200580007537.X
申请日：2005-03-02
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/02559 , H03H9/6433 , H03H9/6466 , H03H9/725
Abstract: 本发明提供一种表面声波分路滤波器，其中提高具有相对低的通带的第一滤波器素通带高频侧的滤波器特性的陡度和具有相对高的通带的第二滤波器的通带低频侧的滤波器特性的陡度。该表面声波分路滤波器(1)包括第一和第二滤波器(11，12)，第一和第二滤波器各自包括多个表面声波共振器以形成梯形电路结构。在第一压电基板(13)上提供通带的频率范围相对低的第一滤波器(11)，并且在第二压电基板(14)上提供通带的频率范围相对高的第二滤波器(12)。第一和第二压电基板(13，14)是旋转Y－相交X－传播LiTaO3基板。第一压电基板(13)的交角大于第二压电基板(14)的交角。
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公开(公告)号：CN119452573A
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202380053472.0
申请日：2023-08-10
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供弹性波装置，能够推进滤波器装置的小型化并且能够降低电阻。本发明的弹性波装置（10）具备：压电层（14）；第1梳形电极（17），设置在压电层（14）上，具有第1汇流条（22）和一端分别与第1汇流条（22）连接的多个第1电极指（25），连接于输入电位；第2梳形电极（18），设置在压电层（14）上，具有第2汇流条（23）和一端分别与第2汇流条（23）连接且与多个第1电极指（25）相互交错对插的多个第2电极指（26），连接于输出电位；和基准电位电极（19），具有分别设置在压电层（14）上使得在第1电极指（25）以及第2电极指（26）排列的方向上与第1电极指（25）以及第2电极指（26）排列的多个第3电极指（27）和将相邻的第3电极指（27）彼此连接的多个连接电极（24），并且至少一部分设置在第1梳形电极（17）以及第2梳形电极（18）之间，连接于基准电位。第1电极指（25）、第2电极指（26）以及第3电极指（27）排列的顺序在从第1电极指（25）开始的情况下，是以第1电极指（25）、第3电极指（27）、第2电极指（26）以及第3电极指（27）为1个周期的顺序。基准电位电极（19）具有连接于基准电位的至少3个部位的多个电位连接部（第1～第3电位连接部（28A～28C））。
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公开(公告)号：CN109842397B
公开(公告)日：2023-04-14
申请号：CN201811449425.5
申请日：2018-11-29
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 三村昌和
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种能够使产生杂散的频率远离其它通信系统等利用的频带且能够有效地改善频率温度特性的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：支承基板(2)；声反射层(3)，设置在支承基板(2)上；压电体层(6)，设置在声反射层(3)上；以及IDT电极(7)，设置在压电体层(6)上。声反射层(3)具有三层以上的低声阻抗层和两层以上的高声阻抗层。最靠近压电体层(6)的低声阻抗层(4a)的膜厚比最靠近该低声阻抗层的低声阻抗层的膜厚厚。
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公开(公告)号：CN115668767A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202180037234.1
申请日：2021-05-21
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种能够更可靠地抑制构成IDT电极的Cu扩散到压电性基板的弹性波装置。本发明的弹性波装置具备：压电性基板(2)；以及IDT电极(3)，具有设置在压电性基板(2)上的阻挡层(7)(外层)和设置在阻挡层(7)上且以Cu为主成分的第1层(5)(电极层)，且具有多个电极指。第1层(5)包含：第1主面(5a)，位于压电性基板(2)侧；第2主面(5b)，与第1主面(5a)对置；以及侧面(5c)，与第1主面(5a)以及第2主面(5b)连接。阻挡层(7)覆盖第1层(5)的第1主面(5a)以及侧面(5c)。阻挡层(7)中的覆盖第1层(5)的第1主面(5a)的部分的厚度比阻挡层(7)中的覆盖第1层(5)的侧面(5c)的部分的厚度薄。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114665840A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210371064.7
申请日：2016-08-08
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 三村昌和
Abstract: 本发明提供一种即使在频率调整膜的膜厚发生了变化的情况下也不易产生SH波杂散的大小的变动的弹性波装置。弹性波装置(1)在LiNbO3基板(2)上设置有IDT电极(3)、电介质膜(6)以及频率调整膜(7)。LiNbO3基板(2)的欧拉角为(0°±5°的范围内，θ±1.5°的范围内，0°±10°的范围内)，IDT电极(3)具有主电极，该主电极为Cu或将该Cu作为主体的合金，在将主电极的用由IDT电极(3)的电极指间距决定的波长λ进行标准化而成的膜厚设为T并将主电极的材料与Pt的密度比设为r时，主电极的膜厚T和欧拉角的θ满足式(1)。式(1)：θ＝‑0.05°/(T/r‑0.04)+3135°。
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公开(公告)号：CN110582938A
公开(公告)日：2019-12-17
申请号：CN201880026037.8
申请日：2018-03-28
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 三村昌和
Abstract: 本发明提供一种利用了板波S0模式且低损耗的弹性波装置。一种弹性波装置(1)，具备：压电体(5)，直接或间接地设置在支承基板(2)上，由铌酸锂构成；以及IDT电极(6)，直接或间接地设置在压电体(5)上，在将由IDT电极(6)的电极指间距决定的弹性波的波长设为λ时，压电体(5)的厚度为1λ以下，利用了在压电体(5)中传播的板波S0模式，所述铌酸锂的欧拉角为(0°±10°，θ，90°±10°)，其中，θ为0°以上且180°以下。
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公开(公告)号：CN110268628A
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201780085766.6
申请日：2017-11-27
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 三村昌和
IPC: H03H9/145
Abstract: 本发明提供利用了洛夫波且能够有效地抑制横模杂散的弹性波装置。弹性波装置(1)使用洛夫波，还具备：压电基板(2)(压电体)；IDT电极(3)，设置在压电基板(2)上；以及第一电介质膜，设置在压电基板(2)上，覆盖IDT电极(3)。在IDT电极(3)中，依次配置有中央区域(B)、第一边缘区域(Ca)、第二边缘区域(Cb)以及第一缝隙区域(Da)、第二缝隙区域(Db)。在第一边缘(Ca)区域以及第二边缘(Cb)区域中，在第一电介质膜中设置有质量附加膜(7)，在第一电介质膜中，将位于IDT电极(3)与质量附加膜(7)之间的部分的膜厚设为T1，并将位于第一电介质膜的与压电基板(2)侧相反侧的面与质量附加膜(7)之间的部分的膜厚设为T2，此时，T1/(T1+T2)＜0.5。
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公开(公告)号：CN110120794A
公开(公告)日：2019-08-13
申请号：CN201811617295.1
申请日：2018-12-27
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 三村昌和
Abstract: 一种弹性波装置，利用板波S0模式，具备：支承基板；声反射层，直接或间接地层叠在支承基板上；压电体，直接或间接地层叠在声反射层上；以及IDT电极，直接或间接地设置在压电体上，在声反射层中，在低声阻抗层与高声阻抗层在层叠方向上相邻的部分中的至少一个部分，将用弹性波装置的动作频率处的在低声阻抗层中传播的横波体波的波长的厚度方向上的分量进行了归一化的低声阻抗层的厚度设为T1，将用弹性波装置的动作频率处的在高声阻抗层中传播的横波体波的波长的厚度方向上的分量进行了归一化的高声阻抗层的厚度设为T2，此时，T1+T2为0.40以上且0.60以下，T1/(T1+T2)为0.35以上且0.65以下。
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公开(公告)号：CN110089030A
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201780078435.X
申请日：2017-10-17
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 三村昌和
Abstract: 本发明提供一种能够在谋求小型化的同时抑制由SH波造成的杂散、进而具有陡峭的滤波器特性并且通带宽的弹性波装置。一种弹性波装置(1)，具备：LiNbO3基板(2)；第一弹性波谐振器，具有第一IDT电极以及第一电介质膜；以及第二弹性波谐振器，具有第二IDT电极以及第二电介质膜，利用瑞利波，第一电介质膜以及第二电介质膜的厚度不同，第一弹性波谐振器以及第二弹性波谐振器中的弹性波的传播方向一致，LiNbO3基板(2)的欧拉角为(0°±5°，θ，0°±10°)的范围内，将通过由第一IDT电极以及第二IDT电极的电极指间距确定的波长λ进行了归一化的主电极的厚度设为T，将主电极的密度(ρ)与Pt的密度(ρPt)的密度比(ρ/ρPt)设为r，此时，在0.055λ≤T×r≤0.10λ的范围内，θ满足下述式(1)。-0.033/(T×r-0.037)+29.99≤θ≤-0.050/(T×r-0.043)+32.45…(1)。
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