热式流量计
    31.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104053972A

    公开(公告)日:2014-09-17

    申请号:CN201280067577.3

    申请日:2012-01-18

    CPC classification number: G01F1/692 G01F1/6842 G01F1/696 G01F5/00 G01F15/00

    Abstract: 本发明提供减少了传感器元件的污损的热式流量计。该热式流量计具有:传感器元件,其在形成于基板的隔膜上设置有薄膜部,并具备形成于上述薄膜部的发热电阻体;用于设置上述传感器元件的支承部件;和副通路,在其中配置上述支承部件的一部分,将在吸气管路流动的吸入气体的一部分取入,该热式流量计具有引导部件,在令沿在上述副通路内流动的空气流从上述薄膜部上通过的直线为L时,该引导部件设置于上述L上的上述支承部件或上述传感器元件,使沿上述支承部件或上述传感器元件的表面与空气流一起飞来的微小颗粒流向远离上述L的方向。

    热式流量传感器
    32.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103052866A

    公开(公告)日:2013-04-17

    申请号:CN201180038125.8

    申请日:2011-09-06

    CPC classification number: G01F1/69 G01F1/6845 G01F1/692

    Abstract: 本发明的目的在于提供,减小因空气流的流动方向的微小的变化造成的传感器元件的检测灵敏度的变化,小型且高精度的热式流量传感器。本发明的实施方式的热式流量传感器,具有:在半导体衬底(1)上形成的空洞部(2)、以覆盖上述空洞部(2)的方式形成的电气绝缘膜、在上述电气绝缘膜上形成的发热电阻体(4)、在上述发热电阻体的附近形成的热敏电阻体、在上述半导体衬底的边缘部处与边缘基本并行地配置的由导电体构成的电极部(11)、以及把上述电极部和上述发热电阻体电气连接的布线部(5),基于被测流体和上述热敏电阻体的传热量检测被测流体的流量,其中:调整上述热电阻,以使得由上述发热电阻体的上述电极部侧的一边和上述空洞部的上述电极部侧的一边构成的第1区域的热电阻、与由上述发热电阻体的与一边对置的另一边和上述空洞部的与一边对置的另一边构成的第2区域的热电阻基本相等。

    吸气温度传感器
    33.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102607738A

    公开(公告)日:2012-07-25

    申请号:CN201110442664.X

    申请日:2011-12-27

    Abstract: 本发明提供一种即使在低流量区域也能够快速且正确地检测出吸气温度的吸气温度传感器。该吸气温度传感器通过插入到设置在吸气管(3)上的开口部中而将温度检测元件(6)配置在吸气管内,该吸气温度传感器构成为,温度检测元件与直接暴露于在吸气管中流动的吸气流中的散热板(4)机械地接合,且根据从所述温度检测元件得到的输出而输出吸气温度。由此,能够减少温度检测元件向吸气流的热阻,从而能够提供一种即使在低流量区域也能够快速且正确地检测出吸气温度的吸气温度传感器。

    传感器件
    34.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105659498B

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201480057618.X

    申请日:2014-10-03

    Abstract: 本发明提供一种抑制了由负浪涌或电压降低导致的误动作的传感器件。该传感器件的特征在于,包括:电特性与物理量相应地变化的传感元件;对上述传感元件的输出信号进行处理的信号处理电路;位于电源端子与上述信号处理电路之间的晶体管元件;将上述晶体管元件的漏极与栅极连接或者将上述晶体管元件的集电极与基极连接的电阻体;和将上述晶体管元件的栅极或基极与GND连接的、具有阈值电压的元件,上述元件在向上述信号处理电路供给的供给电压低于上述阈值电压的情况下,限制从上述电阻体向GND的方向流动的电流。

    热式质量流量计
    35.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105452819B

    公开(公告)日:2018-11-20

    申请号:CN201480044585.5

    申请日:2014-02-05

    Abstract: 为了提供一边确保热式质量流量计中的可靠性(一边防止水滴附着造成的劣化和破损)一边能够实现气体测量的高精度化的热式质量流量计,本发明的热式质量流量计具有通过通电而发热的发热体、检测上述发热体的温度的温度检测桥式电路、与上述发热体以及上述温度检测桥式电路连接并进行对上述发热体的通电控制的传感器元件驱动电路部,上述传感器元件驱动电路部具有输出机构和输出抗阻调整机构,上述输出阻抗调整机构配置在上述输出机构和上述发热体之间,其输出阻抗比上述发热体的电阻值高并且小于1MΩ。

    传感器装置
    37.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106796437A

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201480081559.X

    申请日:2014-09-16

    CPC classification number: G05F1/569

    Abstract: 本发明提供一种抑制由负电涌引起的误动作的传感器装置。该传感器装置具备:根据物理量产生电气特性的变化的传感器元件;处理传感器元件的输出信号的信号处理电路;向传感器元件和信号处理电路提供电流的晶体管元件;控制第一晶体管元件的基极电流的控制电路;电源端子;以及接地端子,该传感器装置的特征在于,在控制电路中具备限制部,该限制部限制从接地端子流向第一晶体管元件的基极端子的电流。

    热式流量计
    40.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103026181B

    公开(公告)日:2015-08-05

    申请号:CN201180036158.9

    申请日:2011-07-28

    CPC classification number: G01F1/692 G01F1/6842 G01F1/699

    Abstract: 本发明的课题在于提供高灵敏度且可靠性提高了的热式流量传感器。本发明的传感器元件(1)具备:半导体基板(2)、形成于半导体基板(2)的空腔部(4)、在空腔部(4)上隔着电绝缘膜形成的发热电阻器(5)、检测发热电阻器(5)的加热温度的加热温度传感器(7)、根据由加热温度传感器(7)检测的温度控制发热电阻器(5)的加热温度的驱动电路(22)。并且,加热温度传感器(7)是电阻值根据温度而变化的热敏电阻器,相对于发热电阻器(5)配置于被计测流体的流动的上游侧以及下游侧,且配置于被计测流体的流动的垂直方向的上部侧和下部侧。

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