多级加热器及轴的制造方法

    公开(公告)号:CN102884224A

    公开(公告)日:2013-01-16

    申请号:CN201180022731.0

    申请日:2011-04-19

    CPC classification number: H01L21/67103 C23C16/4586 H01L21/68792

    Abstract: 本发明提供一种能够抑制从加热基板向轴侧的热传导的多级加热器及轴的制造方法。多级加热器具备:由铝或含有铝的合金构成的加热基板(2);与加热基板的一面接合,并支承加热基板的轴(5)。轴(5)具有:由比加热基板的原料的热传导率低的金属构成的管(6);将铝的粉状体或含有铝的合金的粉状体与气体一起加速,直接以固相状态向管喷涂并堆积,从而在管的与加热基板接合的一侧形成的接合层(7)。

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