公开(公告)号：CN208791811U

公开(公告)日：2019-04-26

申请号：CN201821279838.9

申请日：2018-08-09

Applicant: 广东先导稀材股份有限公司

Inventor： 狄聚青 ,  朱刘 ,  刘运连 ,  袁静

IPC: C30B27/02 ,  C30B29/06 ,  C30B29/32 ,  C30B29/30 ,  C30B29/28 ,  C30B29/46

Abstract: 本实用新型涉及一种晶体生长装置，其包括一石英炉、一底座、一顶盖、一提拉机构以及一籽晶；底座和顶盖分别固定于石英炉的下表面和上表面；石英炉包括一坩埚、包覆坩埚的保温材料、围绕坩埚的一加热器、一进气管、一波纹管、一籽晶杆、一出气管；坩埚内置有熔体，籽晶与熔体的液面相接；保温材料上部开设有上下贯穿的第一通孔，顶盖开设有上下贯穿的第二通孔，波纹管连接于顶盖和提拉机构之间，石英炉、顶盖、波纹管、提拉机构共同形成一炉腔，籽晶杆上下贯穿第一通孔、第二通孔，且籽晶杆两端分别连接籽晶和提拉机构；进气管贯穿底座而与炉腔连通；出气管贯穿顶盖，出气管的一端与炉腔连通。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利