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公开(公告)号：CN212293737U
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN202021333436.X
申请日：2020-07-09
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本实用新型属于化学气相沉积技术领域，涉及一种热丝化学气相沉积设备。一种连续均匀镀膜热丝化学气相沉积设备，包括：镀膜腔室、送样保温腔室、送样装置，所述镀膜腔室与送样保温腔室之间通过插板阀连接，所述镀膜腔室中设有热丝加热系统；所述热丝加热系统的下方设有水冷系统；所述送样保温腔室设置在所述镀膜腔室的两侧；所述的送样装置通过送样保温腔室向镀膜腔室送入样品，两侧交替进行，连续镀膜。本实用新型的设备，能够精确控制热丝加热单元和水冷单元，实现温场均匀，从而实现制备薄膜的均匀性，优化电流和水流量，节约能源；能够实现镀膜后样品自动保温和温和均匀降温，降低薄膜应力，提高产品质量和使用寿命。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN208537079U
公开(公告)日：2019-02-22
申请号：CN201821229095.4
申请日：2018-08-01
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: G01L9/08
Abstract: 本实用新型属于海洋环境监测设备技术领域，涉及一种用于检测海水压力的传感器。一种基于金刚石薄膜的快速响应的海水压力传感器,包括底座、基底、绝缘层、压力敏感层、电极和防护层；所述基底位于底座的顶面，其内部形成有应力腔；绝缘层位于基底的顶面，且位于应力腔的正上方；压力敏感层位于绝缘层的顶面，为单晶或多晶硼掺杂金刚石材料，或硼掺杂金刚石与碳化硅、或硼掺杂金刚石与石墨材料构成的尺寸、结构、成分完全相同的四块薄膜；所述电极包括四个，分别设置在形成压力敏感层的四块薄膜上；所述防护层沉积在绝缘层的顶面，并将压力敏感层和电极封装在其内。本实用新型的海水压力传感器可以避免传感器结构失稳与信号漂移，提高传感器对海水压力响应的灵敏度和稳定性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN206788087U
公开(公告)日：2017-12-22
申请号：CN201720455658.0
申请日：2017-04-27
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: G01N27/00
Abstract: 本实用新型属于海水水质监测设备领域，公开了一种用于海水表层的盐度传感器，包括电源线、电线保护罩、防水接头、尾部外壳、主体外壳、电路板、头部外壳、三电极、密封塞、温度探头、保护罩，电线保护罩连接在防水接头上，防水接头与尾部外壳连接，并添加密封胶，电源线通过防水接头内部伸到尾部外壳内，将壳体内走线的孔灌满树脂，完全密封，电路板塞在主体外壳的内腔中，尾部外壳与主体外壳固定，头部外壳与主体外壳固定，温度探头与头部外壳连接，加密封胶，三电极固定在头部外壳的孔内。密封塞连接在头部外壳上，保护罩连接在头部外壳上。本技术方案抗腐蚀性强，密封好，易于清理，工作可靠，使用寿命长。
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公开(公告)号：CN206627212U
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201720197295.5
申请日：2017-03-02
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: G01J3/28
Abstract: 本实用新型属于光学仪器技术领域，公开了一种简易式船载光谱仪光纤探头姿态调整装置，包括框架、设置于框架上的轴承、穿过轴承的旋转杆、设置于框架上用于固定旋转杆的中间横杠、与旋转杆连接的水平杆、设置于水平杆端部灰板和支撑柱。本实用新型有效地调整光纤的姿态，保证理想的探测角度，提高了海洋光谱仪的使用便利性，安装简易，移动快捷，成本较低，使用方便。
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公开(公告)号：CN206411048U
公开(公告)日：2017-08-15
申请号：CN201720049200.5
申请日：2017-01-17
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: G01N27/00
Abstract: 本实用新型涉及海水水质监测设备技术领域，更具体地说，涉及一种盐度传感器。一种电极式盐度传感器，包括顶部模块、主壳体模块、尾部模块；顶部模块由温压传感器、顶盖、上壳体、电极探头构成；主壳体模块由主壳体、电路板构成；尾部模块由固定件、下壳体、电线组件构成；温压传感器通过螺纹拧在顶盖上，顶盖通过顶丝固定在上壳体上，电极探头固定在上壳体上；电路板用热熔胶包裹成一个圆柱体，过盈配合在主壳体内部，主壳体两端分别与上壳体和下壳体相连，用顶丝固定；下壳体套在电线组件上，固定件压在电线组件的端面上，通过螺栓将固定件、电线组件、下壳体连接固定在一起。该盐度传感器密封性能好，安全可靠，使用寿命长。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN216998568U
公开(公告)日：2022-07-19
申请号：CN202220377044.6
申请日：2022-02-23
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: C23C16/27 , C23C16/448
Abstract: 本实用新型涉及化学气相沉积薄膜制备技术领域，具体地说，涉及一种连续批量大面积均匀镀膜热丝化学气相沉积设备。包括设备箱体，设备箱体内从左至右依次设有进样室、镀膜室和出样室，进样室与镀膜室之间、镀膜室与出样室之间分别设有进样插板阀和出样插板阀，设备箱体内底面等距设有若干滑轨，滑轨上滑动连接有用于承托基片的基片支架。本实用新型设计的设备中使热场更均匀，提高镀膜质量；拉丝更长可以达到更大面积的镀膜；一次拉丝可连续进行多次镀膜，大大减少浪费，延长热丝的使用寿命；并实现批量化生产；其应用方法可以将制备过程中的各个环节进行优化重组，达到连续化、批量化、大面积、均匀镀膜效果，提高镀膜效率及质量、降低生产成本。
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公开(公告)号：CN216979180U
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202220316738.9
申请日：2022-02-16
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: G01R27/22
Abstract: 本实用新型提出了一种电极型电导率传感器。本实用新型包括壳体、壳盖、温度探头和电导率探头；壳体的内部设有电路板；壳盖用于密封盖合壳体；温度探头设置于壳盖上；电导率探头也设置于壳盖上并位于温度探头的一侧，电导率探头包括导流管和电导率电极，电导率电极同轴套接于导流管的内部，电导率电极包括基体，基体的外表面上设有上下平行排列的七个环形电极，环形电极的外表面上设有硼掺杂金刚石薄膜层，环形电极的内部还设有引线，引线穿过基体并由基体的内部穿过壳盖与壳体内的电路板连接。本实用新型的电导率电极结构稳定，组装方便，易清洗，工作效率高，使用寿命长，所得的电极型电导率传感器响应快，测量效果好，测量精度高，性能稳定。
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公开(公告)号：CN213411555U
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN202022134426.X
申请日：2020-09-25
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本实用新型属于金属表面处理技术领域，具体涉及硼掺杂金刚石基底表面处理的设备和方法。一种用于对硼掺杂金刚石基底表面处理的自动化设备，包括抛光装置、化学处理装置和喷砂装置；所述抛光装置主要由传送带、抛光棒和样品固定装置组成，所述样品固定装置和抛光棒设置在所述传送带上方。本实用新型的自动化设备，集成抛光处理，化学处理，喷砂处理，将化学处理和物理处理有机结合，成本远远低于等离子刻蚀技术；有效增加基片的表面粗糙度，增加电极水处理面积；提高薄膜与基底的结合性能，延长电极使用寿命，降低电极使用成本。
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公开(公告)号：CN210340503U
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201920822542.5
申请日：2019-05-31
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: C02F9/02 , C02F101/30
Abstract: 本实用新型公开了一种金刚石薄膜净水装置，该装置包括位于密封结构内的两片掺杂金刚石薄膜，两片掺杂金刚石薄膜分别通过电流收集器与电源连接，所述密封结构内开设水流通道，两片掺杂金刚石薄膜通过水流通道与待净化水体接触，所述掺杂金刚石薄膜中间设置基底，两片掺杂金刚石薄膜之间设置离子交换膜。本实用新型公开的装置利用金刚石薄膜的机械-化学-电化学性能稳定、过氧电位高、电流效率高、无毒害杂质等优点，结合电路、水路结构优化设计，满足净水机的直饮净水处理，净水机后端出水管口灭菌及全屋分级供水系统灭菌等应用需求。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN208568661U
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201820051113.8
申请日：2018-01-12
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本实用新型公开了一种基于MEMS技术的金刚石海水盐度传感器，包括本征金刚石绝缘衬底、掺杂金刚石阵列电极、电极引线和水密绝缘封装结构，所述掺杂金刚石阵列电极位于本征金刚石绝缘衬底与海水接触的一侧，水密绝缘封装结构位于本征金刚石绝缘衬底的另一侧，电极引线一端穿过水密绝缘封装结构与掺杂金刚石阵列电极相连，另一端与后端测量电路相连；所述掺杂金刚石阵列电极包括四列探测电极，内部两列探测电极为信号采集电极，外部两列探测电极为信号输入电极，本实用新型所公开的电导率传感器满足微型化的要求，化学稳定性高，抗生物附着能力强，稳定工作寿命长。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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