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公开(公告)号:CN119221118A
公开(公告)日:2024-12-31
申请号:CN202411331870.7
申请日:2024-09-24
Applicant: 齐鲁工业大学(山东省科学院) , 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: C30B29/04 , C30B25/18 , C30B28/14 , C23C16/26 , C23C16/27 , C23C16/511 , C01B32/186 , C01B32/26
Abstract: 本发明公开了一种利用微波制备石墨烯‑金刚石复合材料的方法,包括如下步骤:采用微波化学气相沉积的方法,在单晶金刚石表面沉积金刚石薄膜,通过切片打磨的方法分别制备上下表面为(111)取向的单晶金刚石薄膜,得到金刚石基片;将金刚石基片放入微波等离子体化学气相沉积设备的真空室内,形成具有氢终端表面结构的金刚石基片;然后对金刚石基片所在的样品台进行加热,再通入甲烷,利用微波能量使气体电离,形成微波等离子体,激发甲烷和氢气产生活性碳氢基团和氢原子,在金刚石表面沉积薄膜,得到石墨烯‑金刚石复合材料。本发明所公开的方法避免了层转移对石墨烯层造成的损伤,可控制该复合结构的呈现出导体或半导体特性。
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公开(公告)号:CN119194399A
公开(公告)日:2024-12-27
申请号:CN202411331838.9
申请日:2024-09-24
Applicant: 齐鲁工业大学(山东省科学院) , 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明公开了一种平行结构的石墨烯‑金刚石复合材料的制备方法,包括如下步骤:采用微波化学气相沉积的方法,在单晶金刚石表面沉积金刚石薄膜,通过切片打磨的方法分别制备上下表面为(111)取向的单晶金刚石薄膜;利用微波等离子体技术,通过氢等离子处理单晶金刚石薄膜表面得到具有氢终端表面的单晶金刚石;在低真空环境下,通过热丝加热甲烷、氢气的混合气体,热解产生石墨烯生长所需的碳原子,碳原子吸附在金刚石表面成核后二维重构,最终得到平行结构的石墨烯‑金刚石复合材料。本发明所公开的方法避免了石墨烯转移技术带来的破坏。该复合结构的表面可以表现出导体或半导体特性,在半导体芯片领域具有极大的应用潜力。
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公开(公告)号:CN108955995A
公开(公告)日:2018-12-07
申请号:CN201810865937.3
申请日:2018-08-01
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: G01L9/08
CPC classification number: G01L9/08
Abstract: 本发明属于海洋环境监测设备技术领域,涉及一种用于检测海水压力的传感器及其制备方法。基于金刚石薄膜的快速响应的海水压力传感器,包括底座、基底、绝缘层、压力敏感层、电极和防护层;所述基底位于底座的顶面,其内部形成有应力腔;所述绝缘层位于基底的顶面;所述压力敏感层位于绝缘层的顶面,为单晶或多晶硼掺杂金刚石材料,或硼掺杂金刚石与碳化硅、或硼掺杂金刚石与石墨材料构成的尺寸、结构、成分完全相同的四块薄膜;所述电极包括四个,分别设置在形成压力敏感层的四块薄膜上;防护层沉积在绝缘层的顶面,并将压力敏感层和电极封装在其内。本发明的海水压力传感器可以避免传感器结构失稳与信号漂移,提高传感器对海水压力响应的灵敏度和稳定性。
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公开(公告)号:CN108955995B
公开(公告)日:2024-02-02
申请号:CN201810865937.3
申请日:2018-08-01
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: G01L9/08
Abstract: 本发明属于海洋环境监测设备技术领域,涉及一种用于检测海水压力的传感器及其制备方法。基于金刚石薄膜的快速响应的海水压力传感器,包括底座、基底、绝缘层、压力敏感层、电极和防护层;所述基底位于底座的顶面,其内部形成有应力腔;所述绝缘层位于基底的顶面;所述压力敏感层位于绝缘层的顶面,为单晶或多晶硼掺杂金刚石材料,或硼掺杂金刚石与碳化硅、或硼掺杂金刚石与石墨材料构成的尺寸、结构、成分完全相同的四块薄膜;所述电极包括四个,分别设置在形成压力敏感层的四块薄膜上;防护层沉积在绝缘层的顶面,并将压力敏感层和电极封装在其内。本发明的海水压力传感器可以避免传感器结构失稳与信号漂移,提高传感器对海水压力响应的灵敏度和稳定性。
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公开(公告)号:CN112669261A
公开(公告)日:2021-04-16
申请号:CN202011441713.3
申请日:2020-12-08
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明公开了一种水体菌落总数的自动计数方法,包括如下步骤:(1)对培养皿菌落图像进行样本采集;(2)手工对采集的图像样本进行菌落实例标注;(3)菌落检测级联网络的构建:采用SSD_MOBILENET_V1_FPN网络作为前端菌落目标检测网络,在前端菌落目标检测网络的输出端后面,级联SVM‑Hog分类器;所采用的SSD_MOBILENET_V1_FPN网络,其中MOBILENET_V1的超参数宽度因子设置为0.25;(4)对构建的菌落检测级联网络进行训练:(5)菌落检测与筛选:(6)检测结果分析与计数。本发明所公开的自动计数方法能够改善传统水体菌落总数计数方法自动化程度较低、计数效率不足的问题,具有计数过程高度自动化、计数效率高、速度快等优点。
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公开(公告)号:CN110127911A
公开(公告)日:2019-08-16
申请号:CN201910468764.6
申请日:2019-05-31
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: C02F9/06 , C02F101/20 , C02F101/30
Abstract: 本发明公开了一种基于金刚石薄膜的饮用水净化系统及净化方法,该净化系统包括依次连接的前置PP棉装置、金刚石截流膜装置、金刚石薄膜净水装置和后端活性炭装置,所述金刚石截流膜装置与电源阴极相连以去除重金属离子,所述金刚石薄膜净水装置与电源阴极和阳极相连,产生臭氧进行水质净化和灭菌,所述金刚石薄膜净水装置的底部通过反冲管路和反冲泵连接金刚石截流膜装置,所述金刚石截流膜装置底部连接废水通道和阀门,所述后端活性炭装置与电源阴极相连以去除残留的臭氧,本发明所公开的净化系统可以有效净化饮用水,提高净化效率和净化效果,并且具有使用寿命长的优点。
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公开(公告)号:CN115501767A
公开(公告)日:2022-12-23
申请号:CN202211082831.9
申请日:2022-09-06
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明涉及水处理技术领域,具体为一种电催化膜、电催化膜组件及制备方法。该电催化膜包括多孔金属基底和沉积在所述多孔金属基底表面的硼掺杂金刚石膜;所述多孔金属基底上均布孔径为0.2‑50μm的孔。本发明将电催化膜技术引入掺硼金刚石电极领域,采用低温动态化学气相沉积法制备结构稳定的掺硼金刚石电催化过滤膜,并提供一种电催化膜组件,打破了传统掺硼金刚石电极受活性位点与传质速率制约的瓶颈,处理效率大幅度提高,能耗显著降低。
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公开(公告)号:CN112763556B
公开(公告)日:2022-12-02
申请号:CN202011427912.9
申请日:2020-12-07
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
Abstract: 本发明公开了一种多层膜结构的海洋探测器电极及其制备方法,该电极由下到上依次包括电极衬底、第一层硼掺杂金刚石膜、石墨烯层和第二层硼掺杂金刚石膜。本发明所公开的海洋探测器电极为两层硼掺杂金刚石膜中间夹一层石墨烯层的结构,利用石墨烯层提高电极的电导率,同时缓解金刚石膜的内应力,在金刚石层电化学窗口宽、背景电流低、机械强度高的基础上,利用石墨烯层高载流子浓度和化学稳定性的特点,能够进一步提高海洋探测器电极的灵敏度和稳定性。
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公开(公告)号:CN114438474A
公开(公告)日:2022-05-06
申请号:CN202210170335.2
申请日:2022-02-23
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: C23C16/27 , C23C16/448
Abstract: 本发明涉及化学气相沉积薄膜制备技术领域,具体地说,涉及一种连续批量大面积均匀镀膜热丝化学气相沉积设备及方法。包括设备箱体,设备箱体内从左至右依次设有进样室、镀膜室和出样室,进样室与镀膜室之间、镀膜室与出样室之间分别设有进样插板阀和出样插板阀,设备箱体内底面等距设有若干滑轨,滑轨上滑动连接有用于承托基片的基片支架。本发明设计的设备中使热场更均匀,提高镀膜质量;拉丝更长可以达到更大面积的镀膜;一次拉丝可连续进行多次镀膜,大大减少浪费,延长热丝的使用寿命;并实现批量化生产;其应用方法可以将制备过程中的各个环节进行优化重组,达到连续化、批量化、大面积、均匀镀膜效果,提高镀膜效率及质量、降低生产成本。
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公开(公告)号:CN112192324A
公开(公告)日:2021-01-08
申请号:CN202011021503.9
申请日:2020-09-25
Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所
IPC: B24B1/00 , B24B27/033 , B24B29/02 , B24C1/08
Abstract: 本发明属于金属表面处理技术领域,具体涉及硼掺杂金刚石基底表面处理的设备和方法。一种用于对硼掺杂金刚石基底表面处理的自动化设备,包括抛光装置、化学处理装置和样品转移装置;所述抛光装置主要由传送带、抛光棒和样品固定装置组成,所述样品固定装置和抛光棒设置在所述传送带上方。本发明的设备和方法,通过对基片依次进行抛光处理、化学处理和喷砂处理,有效增加基片的表面粗糙度,增加电极水处理面积;提高薄膜与基底的结合性能,延长电极使用寿命,降低电极使用成本。
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