图案形成材料以及图案形成装置及图案形成方法

    公开(公告)号:CN101142525A

    公开(公告)日:2008-03-12

    申请号:CN200580049062.0

    申请日:2005-12-26

    Abstract: 本发明提供一种图案形成材料,其中,具有支撑体和在该支撑体上至少具有的感光层而成,该支撑体的浊度值为5.0%以下,而且该感光层至少含有粘合剂、聚合性化合物及光聚合引发剂,同时所述聚合性化合物包括在分子中具有1个聚合性基的化合物或者在分子中至少具有3个以上聚合性基的化合物,而且在对所述感光层进行曝光显影时,使该感光层的曝光部分的厚度在该曝光及显影后不发生变化的该曝光中使用的光的最小能量为0.1~20mJ/cm2。

    图案形成材料及图案形成方法

    公开(公告)号:CN101135852A

    公开(公告)日:2008-03-05

    申请号:CN200710148578.1

    申请日:2007-08-29

    Inventor: 高岛正伸

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种可以形成高灵敏度及高析像度、粘附性及灵敏度的经时稳定性出色、显影残渣少、高精细的图案的图案形成材料及使用该图案形成材料的图案形成方法。本发明是一种在支撑体上具有由至少含有粘合剂、聚合性化合物及光聚合引发剂的感光性组合物构成的感光层而成、所述粘合剂含有I/O值为0.300~0.650的聚合物、所述光聚合引发剂含有具有亲水性基的六芳基联二咪唑化合物的图案形成材料和使用所述图案形成材料的图案形成方法。

    图案形成方法
    33.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1997944A

    公开(公告)日:2007-07-11

    申请号:CN200580020670.9

    申请日:2005-05-25

    Abstract: 本发明的目的在于,提供一种图案形成方法,所述图案形成方法通过抑制成像于图案形成材料上的像的失真,可以高清晰地、有效地形成布线图案等永久图案,而且使遮盖性和分辨率高度并存。因此,提供一种图案形成方法,所述图案形成方法将至少具有感光层的图案形成材料中的该感光层层叠在被处理基体上后,通过相对于该感光层的任意两个以上的区域,照射能量各不相同的光,进行曝光,通过具有n个接受来自光照射装置的光并射出的描素部的光调制装置,使来自上述光照射装置的光调制后,通过排列好具有可以对由上述描素部中的射出面的变形引起的像差进行矫正的非球面的微透镜的微透镜阵列,进行上述曝光。

    图案形成方法
    34.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1950753A

    公开(公告)日:2007-04-18

    申请号:CN200580013937.1

    申请日:2005-02-25

    CPC classification number: G03F7/027 G03F7/11 G03F7/20 H01L21/027

    Abstract: 本发明的目的是提供图案形成方法,所述图案形成方法由于抑制形成在图案形成材料上的图像的变形,可以高度精细和精确以及足够效率地形成永久图案如布线图案。为了达到上述目的,提供一种图案形成方法,该方法包括:调制由激光源辐射出的激光束、补偿调制的激光束以及用调制且补偿的激光束曝光光敏层,其中将所述光敏层安置在衬底上以形成图案形成材料,所述调制是通过包含多个成像部分的激光调制器进行的,所述成像部分每个都能够接收激光束和输出调制的激光束,并且所述补偿是通过将调制的激光束通过多个微透镜传输进行的,每一个所述微透镜都具有能够补偿由于成像部分的输出表面畸变所致的像差的非球形表面,而且所述多个微透镜被排列成微透镜阵列。

    喷墨记录方法
    35.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1532070A

    公开(公告)日:2004-09-29

    申请号:CN03158135.8

    申请日:2003-09-12

    Abstract: 一种喷墨记录方法,其特征在于利用以含有黄色染料的黄色油墨、含有品红染料的品红油墨和含有青色染料的青色油墨为最小构成要素且该品红染料的氧化电位比0.8V(vsSCE)高的喷墨记录用油墨组,在支持体上,在具有含有含硫化合物的色料接受层的喷墨记录用介质上形成图像。根据本发明,能够提供对臭氧气体牢度优良的喷墨记录方法。

    喷墨记录用片材
    36.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1515427A

    公开(公告)日:2004-07-28

    申请号:CN200310119597.3

    申请日:2003-12-04

    Abstract: 一种在支撑体上设有色材接受层的喷墨记录用片材,其特征在于该色材接受层中至少含有由用下记通式(1)所表示的羧酸和2价以上金属形成的配位化合物。(R1)m-N-(L-CO2H)n通式(I);[通式(I)中,R1为氢原子、脂肪基、芳香基、杂环基,L为2价的连接基团。m和n表示0以上的整数,(m+n)为3或者4。当(m+n)为4时,通式(I)中的氮原子变成季铵阳离子,通式(I)中的一个羧基离解形成阴离子,或者一个R1中含有阴离子性基团。]根据本发明可以提供在保持良好的光泽度以及较高油墨吸收性的同时,即使经过较长时间也不会发生图像渗洇且具有良好耐光性的喷墨记录用片材。

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