感光性树脂组合物、平版印刷版原版、平版印刷版的制作方法及高分子化合物

    公开(公告)号:CN107077069A

    公开(公告)日:2017-08-18

    申请号:CN201580049413.1

    申请日:2015-08-31

    Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物、平版印刷版原版、平版印刷版的制作方法及高分子化合物,其目的在于提供一种对所得到的平版印刷版原版的非图像部中的碱水溶液的溶解性良好,进而所得到的平版印刷版的耐药品性及耐刷性优异的感光性树脂组合物、使用上述感光性树脂组合物的平版印刷版原版及平版印刷版的制作方法及新型的高分子化合物。本发明的感光性树脂组合物的特征在于,在主链上具有选自包括胺键或季铵盐键及脲鍵、氨基甲酸酯键及碳酸酯键的组中的至少一个键,并且,含有在主链和/或侧链上具有磺酰胺基或酚性羟基的高分子化合物及红外线吸收材料。

    感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法、半导体元件及热产碱剂

    公开(公告)号:CN112639615B

    公开(公告)日:2024-12-31

    申请号:CN201980056004.2

    申请日:2019-07-22

    Inventor: 野崎敦靖

    Abstract: 本发明提供一种固化性及保存稳定性优异的感光性树脂组合物。并且,本发明提供一种利用上述感光性树脂组合物的固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体元件。感光性树脂组合物包含由式(N1)表示的热产碱剂、以及聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体中的至少一种前体化合物。式(N1)中,XN表示羟基、羧基及磺酸基中的任一种,ZN表示氧原子或硫原子,LN为从相邻氮原子连结至XN为止的烃基,且表示构成连结链的原子数为2~6的烃基。

    固化性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法、半导体器件及树脂

    公开(公告)号:CN114761466B

    公开(公告)日:2024-12-10

    申请号:CN202080084112.3

    申请日:2020-12-03

    Inventor: 野崎敦靖

    Abstract: 本发明提供一种固化性树脂组合物、将上述固化性树脂组合物固化而成的固化膜、包含上述固化膜的层叠体、上述固化膜的制造方法及包含上述固化膜或上述层叠体的半导体器件以及提供一种包含特定结构的新型树脂,其中,该固化性树脂组合物包括包含下述式(1‑1)所表示的重复单元且包含选自下述式(2‑1)所表示的重复单元、下述式(2‑2)所表示的重复单元、下述式(2‑3)所表示的重复单元及下述式(2‑4)所表示的重复单元中的至少一种重复单元的树脂及溶剂。#imgabs0#

    树脂组合物、固化物、层叠体、固化物的制造方法、半导体器件及树脂

    公开(公告)号:CN117203265A

    公开(公告)日:2023-12-08

    申请号:CN202280029358.X

    申请日:2022-04-07

    Inventor: 野崎敦靖

    Abstract: 本发明提供一种可以获得断裂伸长率优异的固化物的树脂组合物、固化上述树脂组合物而成的固化物、包含上述固化物的层叠体、上述固化物的制造方法,及包含上述固化物或上述层叠体的半导体器件、或新型树脂。树脂组合物具有下述式(1‑1)所表示的重复单元及式(1‑2)所表示的重复单元中的至少一者。

    树脂组合物、固化物、层叠体、固化物的制造方法及半导体器件

    公开(公告)号:CN116685622A

    公开(公告)日:2023-09-01

    申请号:CN202180087641.3

    申请日:2021-12-24

    Abstract: 本发明提供一种树脂组合物、将上述树脂组合物固化而成的固化物、包含上述固化物的层叠体、上述固化物的制造方法及包含上述固化物或上述层叠体的半导体器件,该树脂组合物包含环化树脂或其前体、自由基聚合引发剂及自由基聚合性化合物,上述自由基聚合性化合物具有脲键且包含不具有对称轴的化合物A,上述化合物A满足下述条件1及条件2中的至少一者,条件1:化合物A具有2个以上的自由基聚合性基团;条件2:化合物A具有选自羟基、氧亚烷基、酰胺基及氰基中的至少1个。

    固化物的制造方法、层叠体的制造方法及电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN116113884A

    公开(公告)日:2023-05-12

    申请号:CN202180054236.1

    申请日:2021-08-17

    Abstract: 本发明提供一种即使在低温下固化的情况下,也可以得到断裂伸长率优异的固化物的固化物的制造方法、包含上述固化物的制造方法的层叠体的制造方法及包含上述固化物的制造方法或上述层叠体的制造方法的电子器件的制造方法。固化物的制造方法包括:膜形成工序,将特定的感光性树脂组合物适用于基材上而形成膜;曝光工序;显影工序,基于包含选自碱及产碱剂中的至少一种的化合物的显影液进行;以及加热工序,水的含量相对于上述显影液的总质量为50质量%以下。

    固化物的制造方法、树脂组合物、显影液、层叠体的制造方法及半导体器件的制造方法

    公开(公告)号:CN115867866A

    公开(公告)日:2023-03-28

    申请号:CN202180046839.7

    申请日:2021-06-25

    Abstract: 本发明提供一种分辨率优异的固化物的制造方法、用于上述固化物的制造方法的树脂组合物及显影液、包括上述固化物的制造方法的层叠体的制造方法以及包括上述固化物的制造方法或上述层叠体的制造方法的电子器件的制造方法。固化物的制造方法包括使用树脂组合物的膜形成工序、曝光工序、显影工序以及改性工序,该树脂组合物包含树脂、通过曝光而产生酸的化合物及溶剂,树脂为聚酰亚胺前体,树脂具有发生通过酸的作用而极性增加的反应的基团,显影液中的有机溶剂的含量为80质量%以上,通过改性,上述图案相对于树脂组合物所包含的溶剂的溶解性降低。

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