基于多纵模自混合效应的五角棱镜型角度传感测量装置及方法

    公开(公告)号:CN110631514B

    公开(公告)日:2021-03-30

    申请号:CN201910941460.7

    申请日:2018-05-18

    Applicant: 安徽大学

    Abstract: 本分案申请涉及光学测量技术领域,尤其涉及一种基于多纵模自混合效应的五角棱镜型角度传感测量装置及方法,该装置包括多纵模激光器、传感单元、振动目标、滑动装置、分束器、光电探测器、信号预处理单元和信号处理单元;所述传感单元包括转盘和五角棱镜,所述五角棱镜的五个角中有一个为直角,五角棱镜水平放置于转盘上,且五角棱镜的两个直角边所在的侧面的相交线位于转盘的圆心处。本装置结构简单、体积小、成本低,能够实现非接触实时高精度测量,传感单元为无源光学传感器,本身无需供电,并且测试装置光路为单光路,受环境干扰小且结构简单、调节光路方便。

    任意夹角镜面式激光自混合微角度测量系统及测量方法

    公开(公告)号:CN110132180B

    公开(公告)日:2021-01-05

    申请号:CN201910492083.3

    申请日:2017-10-12

    Applicant: 安徽大学

    Abstract: 本发明涉及光学式角度测量技术领域,尤其涉及一种任意夹角镜面式激光自混合微角度测量系统及测量方法,该测量系统包括第一转盘、第二转盘、传动杆、相交平面镜、反射镜、激光器、分束器、光电探测器和计算机,该测量系统通过相交平面镜和反射镜构成的反射单元,延长了激光自混合信号的外腔光程,相比于传统平面镜构成的反射单元或者直角棱镜构成的反射单元,在同样的转动角度下,转动前后,激光自混合信号的光程差变大,从而提高了系统的测量范围和测量分辨率。

    单任意角度相交平面镜内入射型角度传感测量装置及方法

    公开(公告)号:CN108680121B

    公开(公告)日:2020-11-27

    申请号:CN201810481300.4

    申请日:2018-05-18

    Applicant: 安徽大学

    Abstract: 本发明涉及光学测量技术领域,尤其涉及一种单任意角度相交平面镜内入射型角度传感测量装置及方法,该装置包括多纵模激光器、传感单元、振动目标、滑动装置、分束器、光电探测器、信号预处理单元和信号处理单元;所述传感单元包括第一转盘、第二转盘、传动杆、相交平面镜。本装置结构简单、体积小、成本低,能够实现非接触实时高精度测量,传感单元为无源光学传感器,本身无需供电,并且测试装置光路为单光路,受环境干扰小且结构简单、调节光路方便。

    微腔芯片型激光自混合距离传感系统

    公开(公告)号:CN109818245B

    公开(公告)日:2020-03-31

    申请号:CN201910249844.2

    申请日:2016-04-20

    Applicant: 安徽大学

    Abstract: 本分案申请涉及激光自混合传感技术领域,现有的激光自混合振动距离传感系统难以实现高精度、高探测灵敏度的传感测量且结构难以做到真正意义的微型化,无法与现代通讯系统的芯片做到很好的集成,无法大规模集成开发和应用。针对上述问题,本分案申请提供一种微腔芯片型激光自混合距离传感系统,该系统基于激光自混合干涉测量原理和光学微腔调谐原理,利用光学微腔构建激光自混合传感系统,实现了高精度,高灵敏度的传感测量,同时因系统具有微型化的优点,更加适合于大规模芯片制造加工,更加适合于狭小场合、复杂环境下的现场测量,并且能够与目前光纤通讯中的商用系统充分结合,低成本,高效地实现远程及特殊应用场合传感及数据处理。

    基于多纵模自混合效应的应变传感测量装置及方法

    公开(公告)号:CN110806274A

    公开(公告)日:2020-02-18

    申请号:CN201911141654.5

    申请日:2018-04-12

    Applicant: 安徽大学

    Abstract: 本分案申请涉及光学测量技术领域,具体为一种基于多纵模自混合效应的应变传感测量装置及方法,测量装置包括多纵模激光器、传感单元、振动目标、滑动装置、分光元件、光电探测器、信号预处理单元和信号处理单元,测量方法为:振动目标发生振动,多纵模激光器出射激光经传感单元后入射到振动目标上,然后再反馈回多纵模激光器谐振腔内形成自混合信号,上述过程中传感单元发生改变引起自混合信号波形改变,通过调节滑动装置使振动目标发生微移,形成在不同激光器外腔长度下的自混合信号,利用光电探测器采集不同外腔长度下的自混合信号,再利用信号预处理单元和信号处理单元进行处理,即可得出传感单元的变化,本案测量成本低、光路简单、测量精度高。

    基于多纵模自混合效应的双正交平面镜内入射型角度传感测量装置及方法

    公开(公告)号:CN110631513A

    公开(公告)日:2019-12-31

    申请号:CN201910940599.X

    申请日:2018-05-18

    Applicant: 安徽大学

    Abstract: 本分案申请涉及光学测量技术领域,尤其涉及一种基于多纵模自混合效应的双正交平面镜内入射型角度传感测量装置及方法,该系统包括多纵模激光器、传感单元、振动目标、滑动装置、分束器、光电探测器、信号预处理单元和信号处理单元;所述传感单元包括第一转盘、第二转盘、传动杆、相交平面镜;所述第一转盘和第二转盘通过传动杆同步转动。本装置结构简单、体积小、成本低,能够实现非接触实时高精度测量,传感单元为无源光学传感器,本身无需供电,并且测试装置光路为单光路,受环境干扰小且结构简单、调节光路方便。

    基于多纵模自混合效应的双正交平面镜外入射型角度传感测量装置及方法

    公开(公告)号:CN110631512A

    公开(公告)日:2019-12-31

    申请号:CN201910940583.9

    申请日:2018-05-18

    Applicant: 安徽大学

    Abstract: 本分案申请涉及光学测量技术领域,尤其涉及一种基于多纵模自混合效应的双正交平面镜外入射型角度传感测量装置及方法,该装置包括多纵模激光器、传感单元、振动目标、滑动装置、分束器、光电探测器、信号预处理单元和信号处理单元;所述传感单元包括并排设置的第一转盘、第二转盘、T型传动支架、第一相交平面镜、第二相交平面镜、正交反射镜、反射镜传动支架。本装置结构简单、体积小、成本低,能够实现非接触实时高精度测量,传感单元为无源光学传感器,本身无需供电,并且测试装置光路为单光路,受环境干扰小且结构简单、调节光路方便。

    基于多纵模自混合效应的直角棱镜型角度传感测量装置及方法

    公开(公告)号:CN110631511A

    公开(公告)日:2019-12-31

    申请号:CN201910940538.3

    申请日:2018-05-18

    Applicant: 安徽大学

    Abstract: 本分案申请涉及光学测量技术领域,尤其涉及一种基于多纵模自混合效应的直角棱镜型角度传感测量装置及方法,该系统包括多纵模激光器、传感单元、振动目标、滑动装置、分束器、光电探测器、信号预处理单元和信号处理单元;所述传感单元包括转盘和直角棱镜,所述直角棱镜水平放置于转盘上,且直角棱镜的两个直角边所在的侧面的相交线位于转盘的圆心处。本装置结构简单、体积小、成本低,能够实现非接触实时高精度测量,传感单元为无源光学传感器,本身无需供电,并且测试装置光路为单光路,受环境干扰小且结构简单、调节光路方便。

    双正交内入射式激光自混合微角度测量系统及测量方法

    公开(公告)号:CN110132179A

    公开(公告)日:2019-08-16

    申请号:CN201910491400.X

    申请日:2017-10-12

    Applicant: 安徽大学

    Abstract: 本发明涉及光学式角度测量技术领域,尤其涉及一种双正交内入射式激光自混合微角度测量系统及测量方法,该测量系统包括第一转盘、第二转盘、T型传动支架、第一相交平面镜、第二相交平面镜、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第二传动杆、第三传动杆、激光器、分束器、光电探测器和计算机;所述第一相交平面镜和第二相交平面镜均为正交平面镜,该测量系统通过第一相交平面镜、第一反射镜、第二反射镜、第二相交平面镜和第三反射镜构成的反射单元,延长了激光自混合信号的外腔光程,相比于传统平面镜构成的反射单元或直角棱镜构成的反射单元,在同样转动角度下,转动前后,激光自混合信号的光程差变大,从而提高了系统的测量范围和测量分辨率。

    微腔芯片型激光自混合距离传感方法

    公开(公告)号:CN105790070B

    公开(公告)日:2019-06-04

    申请号:CN201610255736.2

    申请日:2016-04-20

    Applicant: 安徽大学

    Abstract: 本发明涉及激光自混合传感技术领域,现有的激光自混合振动距离传感系统难以实现高精度、高探测灵敏度的传感测量且结构难以做到真正意义的微型化,无法与现代通讯系统的芯片做到很好的集成,无法大规模集成开发和应用。针对上述问题,本发明提供一种微腔芯片型激光自混合距离传感方法及系统,该方法基于激光自混合干涉测量原理和光学微腔调谐原理,利用光学微腔构建激光自混合传感系统,实现了高精度,高灵敏度的传感测量,同时因系统具有微型化的优点,更加适合于大规模芯片制造加工,更加适合于狭小场合、复杂环境下的现场测量,并且能够与目前光纤通讯中的商用系统充分结合,低成本,高效地实现远程及特殊应用场合传感及数据处理。

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