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公开(公告)号：CN101716747A
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200910220064.1
申请日：2009-11-18
Applicant: 大连理工大学
IPC: B24B49/16
Abstract: 本发明一种用于硅片超精密磨床的压电式磨削力测量装置属于传感测控技术领域，特别涉及硅片超精密磨削过程中磨削力的检测。测量装置由底座、压电石英力传感器、上盖、连接螺钉、转接板、梯形套筒、螺母、双头螺柱、法兰盘固定螺钉以及法兰盘组成。底座为一圆环式结构，底座的上表面上安装4个压电石英力传感器，4个压电石英力传感器呈正方形均匀分布，连接螺钉将底座、上盖以及压电石英力传感器刚性连接在一起，构成测力仪组件。压电石英力传感器由2对yx型单元晶组和1对xy型单元晶组组成。本装置具有结构简单，灵敏度高，线性度、重复性好，测量精度高的良好特性。压电式磨削力测量装置能够对硅片磨削加工过程中的磨削力进行实时检测。
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公开(公告)号：CN101650243A
公开(公告)日：2010-02-17
申请号：CN200910304444.3
申请日：2009-07-16
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明公开了一种压电式深小孔钻削测力装置，属于传感测控技术领域，特别涉及深小孔钻削加工过程中钻削力及扭矩的检测装置。其特征是该装置由底座、上盖、压电石英传感器、引线输出插头、引线、密封圈、连接螺钉以及防护垫组成；夹在底座与上盖之间的压电石英传感器位于测力装置的正中心。压电石英传感器由分割电极、完整电极以及石英晶片组成。采用石英晶体多片组合的方法来提高灵敏度；只需一个传感器，具有结构简单，灵敏度高，线性度、重复性好，测量精度高的良好特性。此压电式深小孔钻削测力装置能够对深小孔加工过程中的钻削力及扭矩进行实时检测。
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公开(公告)号：CN100582697C
公开(公告)日：2010-01-20
申请号：CN200810012355.7
申请日：2008-07-14
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明采用多层复合薄膜温度传感器测试瞬态切削温度的方法属于先进制造及切削技术领域，特别涉及切削温度测试方法领域。该方法使用多层复合薄膜温度传感器，进行多层复合薄膜温度传感器静、动态标定，瞬态切削温度采用冷端温度补偿方式；先进行多层复合薄膜温度传感器的安装，在具有绝缘膜的高速钢或硬质合金刀体上利用微波ECR等离子体源增强射频反应非平衡磁控溅射沉积出保护薄膜。进行瞬态切削温度测试时，将静态标定得到的多层复合薄膜温度传感器热电势与热端温度的关系特性曲线输入系统测试软件中，进行冷端温度补偿。传感器的热接点热容量小，快速响应特性好，有效的解决了金属切削过程中瞬态切削温度的测试问题。
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公开(公告)号：CN101464215A
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200910010128.5
申请日：2009-01-15
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 本发明一种压电式火箭发动机推力的测试装置属于传感测控技术领域，特别涉及火箭推力测试技术。该测试装置由壳体、两组压电石英晶组、后法兰、前法兰、三个立柱、引线、引线接头以及安装螺钉组成。壳体的上表面采用阶梯式结构，下表面左、右弹性预紧环及后法兰安装平台的底面在同一平面上，左、右固定端的底面凸出一部分。壳体部分采用了整体式结构，刚度较高，使测试系统无动定架之分，固有频率高，动态力测量精度高；只需两个压电石英晶组，具有结构简捷、装调方便。采用石英晶体多片组合的方式来提高灵敏度，测量的稳定性好；采用了三立柱式结构，具有足够的空间安装燃料管和电磁阀，能够实现推力的准确传递，满足动态力测试要求。
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公开(公告)号：CN100480653C
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：CN200710157932.7
申请日：2007-11-01
Applicant: 大连理工大学
IPC: G01L1/16
Abstract: 本发明涉及一种大力值压电石英多分量力传感器，属于传感器及其测控领域。它是由上盖、底座、力敏元件、预紧螺钉、空心螺钉和密封圈组成的传感器本体与两个开口套筒组成的。传感器本体中的力敏元件为石英晶片，四组石英晶组相对于坐标系呈正方形对称布置，安装于上盖与底座凹凸槽之间，靠过盈量预紧。传感器结构简单，性能好，成本低，具有高刚度、高灵敏度、高固有频率、线性好、耦合系数小、横向干扰小等优良特点，可及时而准确地测出六维静态力、动态力、瞬时力。本传感器，主要用于巨型重载设备轴上六维力的测量，也可用于其它轴上六维力的测量，用途广泛。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101252330A
公开(公告)日：2008-08-27
申请号：CN200810010860.8
申请日：2008-03-27
Applicant: 大连理工大学
IPC: H02N2/00
Abstract: 本发明是一种用压电叠堆精密定位的方法和装置，本发明属于传感测控技术领域，涉及微执行器的精密定位方法和定位装置技术领域。首先通过对精密定位装置进行标定来建立外力和输出位移的关系曲线，采用逐级加载法，记录结果，并分别描绘出外力与压电陶瓷叠堆的弹性位移，外力和压电陶瓷叠堆二次逆压电位移的关系曲线，然后先进行预处理，再粗定位，最后精定位。压电叠堆精密定位方法采用的装置由底座、压电陶瓷叠堆、弹性片、调整垫、上盖和预紧螺钉构成。本发明不需要驱动电源，定位精度高，结构简单，成本低，体积小，便于加工制造；可用于超精密加工等领域的精密定位，以及微系统中的亚微米、纳米级精度补偿。
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公开(公告)号：CN1553160A
公开(公告)日：2004-12-08
申请号：CN03133521.7
申请日：2003-05-28
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 一种压电石英片式扭矩传感器与制作工艺方法，属于传感与测量控制领域，该压电石英片式扭矩传感器由上盖、下壳体、扭矩测量晶组、绝缘定位环、接线柱、电极和引线组成，将扭矩测量晶组粘接在上盖和下壳体的内腔凸台中心上；其制作工艺是采用分割电极法布置电极，将一块电极分割成两个半圆形状，用两块电极和三片具有“扭转效应”的圆形YO°切型压电石英晶片组成扭矩测量晶组。该扭矩测量晶组只对扭矩敏感，而与任意方向的径向力和轴向力无关。结构简单，晶片数量少，工艺要求低，操作方便，测量精度高，适合于小扭矩测量。
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公开(公告)号：CN1157266C
公开(公告)日：2004-07-14
申请号：CN99111820.0
申请日：1999-07-23
Applicant: 大连理工大学 , 大连机床集团有限责任公司
CPC classification number: B21H5/02
Abstract: 本发明属于齿轮精挤加工方法领域。该发明采用双挤轮双作用挤齿方式、定量控制挤轮径向进给量，实现齿厚挤齿余量的定量控制，此方法首先要确定定量挤齿的初始位置，利用力传感器在线测量挤轮和工件间接触力，确定最佳挤轧余量进行定量挤轧。该方法可以消除齿厚变化对加工精度的影响，得到最佳齿形精度。此方法控制简单，力的测量方便，成本低，工作表面质量好，精度高。
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公开(公告)号：CN1139792C
公开(公告)日：2004-02-25
申请号：CN01125608.7
申请日：2001-08-10
Applicant: 大连理工大学
Abstract: 一种扭矩测量方法和传感器属于测试技术与压电石英传感器领域。本发明采用压电晶体作为测量元件、其方法采用具有“扭转效应”切型的压电石英晶体，当压电石英晶体表面受到扭矩作用时，与受扭表面相垂直的四个平面上会产生束缚电荷，在产生束缚电荷的石英体四个面上布上电极a、b、c、d，电极a、c并联，b和d并联后经导线接入到测试电路中，可准确测出扭矩值。传感器由上盖壳体、压电晶体、电极、导线、输出线接头等组成，扭矩测量方法和传感器使操作简便、精度高、成本低、测量范围扩大。
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公开(公告)号：CN1112576C
公开(公告)日：2003-06-25
申请号：CN99101559.2
申请日：1999-01-20
Applicant: 大连理工大学
IPC: G01L1/16
Abstract: 本发明属于切削金属与非金属时，测量切削力的测量仪器。压电石英整体式三向磨铣削测力仪，由测力仪体和压电三向力敏元件组成。测力仪体为整体式左右对称结构，测力仪体形状为中间方形，方形两侧有对称的弹性环，每个弹性环由两个弹性半环和长形槽相通。两个压电石英三向力敏元件装在弹性环的长槽中，靠过盈量预紧。测力仪结构简单，性能好，只用二个三向压电力敏元件，就可达到国际规定的动态型切削测力仪标准，成本低，精度高。可以精确测量静态、动态及在线测量，用途广泛。
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