公开(公告)号：CN101252330A

公开(公告)日：2008-08-27

申请号：CN200810010860.8

申请日：2008-03-27

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 孙宝元 ,  张忠华 ,  钱敏 ,  张军 ,  周喜 ,  石银辉

IPC: H02N2/00

Abstract: 本发明是一种用压电叠堆精密定位的方法和装置，本发明属于传感测控技术领域，涉及微执行器的精密定位方法和定位装置技术领域。首先通过对精密定位装置进行标定来建立外力和输出位移的关系曲线，采用逐级加载法，记录结果，并分别描绘出外力与压电陶瓷叠堆的弹性位移，外力和压电陶瓷叠堆二次逆压电位移的关系曲线，然后先进行预处理，再粗定位，最后精定位。压电叠堆精密定位方法采用的装置由底座、压电陶瓷叠堆、弹性片、调整垫、上盖和预紧螺钉构成。本发明不需要驱动电源，定位精度高，结构简单，成本低，体积小，便于加工制造；可用于超精密加工等领域的精密定位，以及微系统中的亚微米、纳米级精度补偿。

公开(公告)号：CN101252330B

公开(公告)日：2010-09-29

申请号：CN200810010860.8

申请日：2008-03-27

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 孙宝元 ,  张忠华 ,  钱敏 ,  张军 ,  周喜 ,  石银辉

IPC: H01L41/083

Abstract: 本发明是一种用压电叠堆精密定位的方法和装置，本发明属于传感测控技术领域，涉及微执行器的精密定位方法和定位装置技术领域。首先通过对精密定位装置进行标定来建立外力和输出位移的关系曲线，采用逐级加载法，记录结果，并分别描绘出外力与压电陶瓷叠堆的弹性位移，外力和压电陶瓷叠堆二次逆压电位移的关系曲线，然后先进行预处理，再粗定位，最后精定位。压电叠堆精密定位方法采用的装置由底座、压电陶瓷叠堆、弹性片、调整垫、上盖和预紧螺钉构成。本发明不需要驱动电源，定位精度高，结构简单，成本低，体积小，便于加工制造；可用于超精密加工等领域的精密定位，以及微系统中的亚微米、纳米级精度补偿。