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公开(公告)号：CN117423600A
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202311743393.0
申请日：2023-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京东方计量测试研究所
Abstract: 一种氟碳化合物等离子体基团空间分布监测装置及方法，涉及半导体工业等离子体光谱诊断测试技术领域，装置包括：包括真空腔室、光纤阵列、凸透镜、凹透镜、分光棱镜、两个反应镜、三个滤波片以及三个工业相机；所述光纤阵列、凸透镜、凹透镜以及分光棱镜同轴设置，所述光纤阵列的探测方向垂直于所述真空腔室内的等离子区域；两个所述反应镜分别设置于所述分光棱镜的两侧，第一反应镜、第一滤波片、第一工业相机同轴设置，所述分光棱镜、第二滤波片、第二工业相机同轴设置，第二反应镜、第三滤波片、第三工业相机同轴设置；该装置及方法可以同时获得氟碳化合物等离子体基团在等离子体区域空间位置的绝对浓度，具有原位、同时性、无侵扰的特点。
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公开(公告)号：CN118565831B
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202410877280.8
申请日：2024-07-02
Applicant: 北京东方计量测试研究所 , 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出了基于推力波动的阴极耦合状态在轨监测装置及监测方法，属于航天等离子体推进技术领域，通过在地建设试验台运用法拉第探针对羽流进行监测结合羽流成像方法以及推力架，通过对阴极和推进器通入固定气流，各自按照从小到大的方式调节电压或者电流形成一个测试网格，之后采用不同的气流量重复上述操作得到一系列耦合区状态与不同工况下的数据并且存入数据库对霍尔推进器的推力进行预标定；在轨过程中利用羽流成像方法通过其测得的数据与地面测试所形成的数据库进行比对判断推进器耦合区状态是否正常进而判断推力器运行状态；本发明能够及时的调整工作状态或者切断电流以避免出现危险。
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公开(公告)号：CN119000091A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202410877304.X
申请日：2024-07-02
Applicant: 北京东方计量测试研究所 , 哈尔滨工业大学
Abstract: 霍尔推力器地面打火过程监测方法及装置，涉及空间飞行器设备监测技术领域。为解决现有技术中存在的，现有霍尔推力器打火过程监测方法，无法捕捉到打火过程中的细节和快速变化的技术问题，本发明提供的技术方案为：方法包括：采集真空罐内，霍尔推力器打火发生位置和空间演化规律；采集霍尔推力器打火时光束，将光束按预设波长范围进行分离，并分别采集不同波长的光强以及时间演化规律；采集霍尔推力器远场羽流的离子电流密度和束流发散角；根据打火发生位置和空间演化规律、不同波长的光强，以及离子电流密度和束流发散角，得到打火现象对等离子体参数的影响。可以应用于对霍尔推力器打火过程进行光电联合监测。
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公开(公告)号：CN117420083A
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202311743392.6
申请日：2023-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京东方计量测试研究所
Abstract: 一种等离子体侵蚀痕量产物在线监测装置及方法，涉及等离子体光谱测试技术领域，解决的技术问题为“如何进行等离子体推进器工部件侵蚀痕量产物监测”，该装置包括金属屏蔽罩，以及设置于所述金属屏蔽罩内部的第一凸透镜、第一反射镜、分光棱镜、第二凸透镜、光栅以及第二反射镜，以及设置于所述金属屏蔽罩外部的光电倍增管和分析处理设备；所述金属屏蔽罩侧壁上固定有入射光狭缝和出射光狭缝，所述出射光狭缝与所述光电倍增管连接，所述光电倍增管与所述分析处理设备连接；该装置及方法设计了光谱仪设备对痕量产物谱线光强进行监测，建立痕量物质辐射谱线强度和光强信号波动关系，以获得痕量产物绝对密度，可靠性高，监测灵敏。
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公开(公告)号：CN117233079A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202311489414.0
申请日：2023-11-10
Applicant: 北京东方计量测试研究所 , 哈尔滨工业大学
IPC: G01N17/00
Abstract: 本发明提出了一种推进器通道侵蚀速率在线校准装置及校准方法，属于航天等离子体推进器领域。解决了现有等离子体推进器通道侵蚀速率难以进行在线校准的问题。在线校准装置包括光学探头、光谱仪和空心阴极，空心阴极包括导气管、发射体、顶孔板和通道管壁，发射体和顶孔板依次设置在导气管内部，导气管设置在通道管壁的内部，通道管壁的内壁面上设置有衬垫层，衬垫层的材料与推进器通道壁面的材料相同，空心阴极设置在空心阴极真空罐内，空心阴极与空心阴极供气单元和空心阴极电源相连，光学探头设置在空心阴极真空罐或推进器真空罐内，光学探头与光谱仪相连。它主要用于推进器通道侵蚀速率在线校准。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114235251A
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202111464791.X
申请日：2021-12-03
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种真空下等离子推进器推力测量装置，包括支承框架(1)、摆动盘(2)、固定盘(3)、悬丝(4)、托板(5)、推力器(6)、配重(7)以及光学测量组件(8)，所述摆动盘(2)设置在所述托板(5)上，所述固定盘(3)固定在所述支承框架(1)上，所述悬丝(4)两端分别连接所述摆动盘(2)和所述固定盘(3)，且沿圆周方向间隔排列，所述摆动盘(2)和所述固定盘(3)上分别设有环形的悬丝安装部(9)，所述悬丝安装部(9)同心且间隔地设置两个以上。本发明可解决抗干扰、高精度、宽量程的微推力测量问题，且本装置结构简单、可靠。
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公开(公告)号：CN110856331A
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201911123708.5
申请日：2019-11-17
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: H05H1/46
Abstract: 本发明公开了一种用于空间等离子体环境模拟的均匀射频等离子体源，涉及半导体制造技术领域，包括射频天线、石英介质窗、感应屏蔽层、支撑结构、外屏蔽罩、匹配网络、射频电源，可消除射频感应天线与等离子体之间的残余容性耦合、调节天线电压分布，产生空间分布均匀、等离子体电位非常低的射频等离子体，具有较高的空间等离子体环境模拟稳定度，且该系统结构简单、可靠。
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公开(公告)号：CN106374834A
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201610703036.5
申请日：2016-08-22
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: H02S50/10
Abstract: 本发明公开了一种太阳电池伏安特性测量电路，包括电源VCC、被测太阳电池Vc、负载电阻RL、电流分流器电阻Rs、以及参考电位端VSS，其特征在于：负载电阻RL是场效应管的漏极D与源极S之间的导通电阻，所述场效应管的栅极G连接反馈放大器A1的输出电压端，场效应管的漏极D极连接到电压跟随器A2的同相端，电压跟随器A2输出电压端连接乘法型D/A的基准电压引脚VREF，乘法型D/A的输出电压引脚VOUT连接反馈放大器A1的同相端,反馈放大器A1的反相端连接场效应管的源极S，电流分流器电阻Rs串联在场效应管源极S与参考电位端VSS之间，乘法型D/A的数字输入端连接数字总线。
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公开(公告)号：CN103115714B
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201310048775.1
申请日：2013-02-06
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01L5/00
Abstract: 全自动磁性表座磁力检测装置，采用该检测装置能够避免磁性表座不合格时可能对检测人员产生的伤害，其特征在于，包括机箱，所述机箱内具有竖立设置的底板，所述底板的上部固定有电机，所述电机通过螺杆往下连接拉力传感器，所述拉力传感器通过活动悬挂组件连接磁性表座固定机构，所述磁性表座固定机构的下方设置有磁性表座工作磁力吸附平台，所述磁性表座工作磁力吸附平台为角铁结构的一个平面，所述角铁结构的另一面与所述底板的下部通过螺栓紧固连接。
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公开(公告)号：CN103415134A
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN201310303182.5
申请日：2013-07-18
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: H05H1/46
Abstract: 双源ECR等离子体源装置，从而为空间等离子体探测器提供准确可靠的数据，保证量值传递的准确，保证探测器在型号上的成功应用。其特征在于，包括真空容器，沿所述真空容器的壳体边部对称设置两个微波放电等离子体源，所述微波放电等离子体源为基于微波电子回旋共振技术ECR的微波ECR等离子体源。
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