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发明公开
一种反射镜架及反射装置有权

公开(公告)号：CN113917794A

公开(公告)日：2022-01-11

申请号：CN202111110520.4

申请日：2021-09-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 赵鹏越 , 叶奕霄 , 吴剑威 , 李昌其 , 郑健 , 晏祯卓 , 谭久彬

IPC: G03F7/20 , G02B7/198

Abstract: 本发明涉及精密仪器的技术领域，本发明的实施例提供了一种反射镜架及反射装置，包括：架本体，所述架本体用于与反射镜连接；三个安装件，所述安装件用于与光刻机计量基准部件连接；以及三个驱动装置，所有的所述驱动装置均与所述架本体连接，且三个所述驱动装置在横截面上的相互连线形成三角形，所述驱动装置与所述安装件一一对应连接，各所述驱动装置分别用于驱动对应的所述安装件，以使所述架本体的相应部位相对各所述安装件沿Z轴方向移动并实现所述反射镜的位姿调整。

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