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公开(公告)号：CN108334027A
公开(公告)日：2018-07-27
申请号：CN201810074312.5
申请日：2018-01-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/19 , G05B19/4155
Abstract: 本发明公开了一种减小辊筒模具超精密机床加工微结构闭合误差的方法，所述方法步骤如下：一、分析超精密机床加工过程中温度变化造成的影响，当温度变化引起辊筒尺寸变化的范围在微米量级，同时要求的辊筒模具微结构闭合节距误差非常小时，则通过对加工程序进行优化以减小微结构闭合节距误差；二、根据加工的辊筒模具直径尺寸与微结构数目及温度变化范围选定多分法需要分区的数目；三、根据步骤二选定的分割次数计算有/无余数时各微结构的角度位置，写出其通项公式并对余数进行处理；四、根据步骤三中计算得到的微结构空间角度分布编写加工程序，实现多分法加工。本发明对提高微结构辊筒模具加工质量、制造超大尺寸光学转印膜片等具有重要意义。
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公开(公告)号：CN105328318B
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：CN201510771276.4
申请日：2015-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种大气等离子体射流加工对刀方法，涉及精密光学加工领域。解决了大气等离子体射流的对刀问题。该方法包括：步骤一、组装大气等离子体射流加工对刀装置；步骤二、安装大气等离子体射流加工对刀装置；步骤三、等离子体射流发射装置发射等离子体射流，调节机床使等离子体射流发射装置与通孔发生相对运动，压强传感器记录等离子体射流产生压强数据，机床控制系统记录大气等离子体射流加工对刀装置的X轴向运动距离和Y轴向运动距离，并根据压强数据、X轴向运动距离和Y轴向运动距离获得X轴方向射流位置X0和Y轴方向射流位置Y0；步骤四、确定等离子体射流中心位置坐标，完成对刀。它适用于其他需要对刀的场合。
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公开(公告)号：CN105328318A
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201510771276.4
申请日：2015-11-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: B23K10/00 , B23Q15/22 , B23Q17/2233
Abstract: 一种大气等离子体射流加工对刀方法，涉及精密光学加工领域。解决了大气等离子体射流的对刀问题。该方法包括：步骤一、组装大气等离子体射流加工对刀装置；步骤二、安装大气等离子体射流加工对刀装置；步骤三、等离子体射流发射装置发射等离子体射流，调节机床使等离子体射流发射装置与通孔发生相对运动，压强传感器记录等离子体射流产生压强数据，机床控制系统记录大气等离子体射流加工对刀装置的X轴向运动距离和Y轴向运动距离，并根据压强数据、X轴向运动距离和Y轴向运动距离获得X轴方向射流位置X0和Y轴方向射流位置Y0；步骤四、确定等离子体射流中心位置坐标，完成对刀。它适用于其他需要对刀的场合。
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公开(公告)号：CN116079487B
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202310243464.4
申请日：2023-03-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23Q11/00
Abstract: 一种辊筒模具超精密机床双面动平衡功能实现方法，属于超精密加工装备技术领域，能够提升辊筒模具动平衡调整的效率，提高辊筒模具的加工精度。包括以下步骤：S3.启动超精密机床，由光栅尺组件测量X轴溜板的位移数据，由超精密机床自带的编码器精确记录辊筒模具在此期间的角位移；S5.利用S3的数据获取辊筒模具两个端面的不平衡质量和安装误差的方位；S6.确定两个校正面需要增加的平衡质量和方位。本发明不需要增加额外的传感器，直接在数控系统中采集原始的直线轴伺服性能数据(跟踪误差)，即可实现转子系统的精密动平衡。只依靠机床本身具有的设备和性能，未引入外来误差，系统可靠性更高，容易实现系统集成。
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公开(公告)号：CN115431047B
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202211261158.5
申请日：2022-10-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种复合式超精密加工机床，所述机床包括X轴组件、C轴组件、Z1轴组件、Z2轴组件、B轴组件、C轴组件、机床基座以及隔振支承部件，其中：所述机床基座布置在隔振支承部件上；所述机床基座上设置有X轴组件、Z1轴组件以及Z2轴组件；所述Z1轴与Z2轴平行布置，与X轴垂直；所述C轴安装在X轴上，呈卧式布置；所述B轴安装在Z1轴上，呈立式布置。该超精密加工机床整体结构较为紧凑，通过不同轴之间的联动可实现多种形式的加工，在大大减小制造成本的同时大大增加了其应用范围。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116295997A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310060087.0
申请日：2023-01-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种使用气体静压轴承的导电游丝弯矩测量系统，所述测量系统包括主轴电机、联轴器、回转工作台、回转轴、高台、工作台和光栅系统，其中：所述回转工作台冷装套设在回转轴上；所述回转轴通过联轴器与主轴电机连接；所述高台固定在工作台上，且高台对称布置在回转工作台两侧；所述光栅系统包括圆标尺光栅、读数头和光栅数显仪；所述圆标尺光栅绕在回转工作台的外侧表面；所述读数头固定在工作台上与圆标尺光栅配对使用；所述光栅数显仪上集成有电子细分电路，且通过电缆与读数头连接。本发明可以实现对不同结构、不同材料的导电游丝的合力矩进行测试，以便确定最小干扰力矩的游丝布置方案，通过控制上实现测量自动化。
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公开(公告)号：CN116123170A
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202310092984.X
申请日：2023-02-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种自定心的抗卡紧液压阀芯及液压阀，属于液压阀技术领域。液压阀芯，包括阀芯及套设在阀芯上的薄壁结构，薄壁结构的内侧壁开设环状凹槽，阀芯内部开设有液压油流道，液压油流道的入口端设置在阀芯的端面上，液压油流道的出口端在与环状凹槽连通，液压油通过液压油流道流入环状凹槽，从而改变阀芯在液压阀内的液压降分布情况，以实现阀芯自定心。本发明的液压阀芯仅由两部分组成且结构简单，无需加工同心的均压槽或外加辅助装置避免卡紧，利用液压油的高压作用实现阀芯微变形进而实现自定心，提高加工效率；且无论在阀芯哪侧通高压都实现顺锥效果，能够提高装配效率；利用顺锥利于自定心的特点，提高阀芯工作精度和可靠度。
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公开(公告)号：CN116079083A
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202310161188.7
申请日：2023-02-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于六轴的柱面菲涅尔超精密加工辊筒设备，属于超精密加工技术领域。辊筒模具安装在辊筒机床上，刀具组件设置在辊筒模具下方，且刀具组件安装在串联双转台上，串联双转台通过XYZ轴位移台安装在辊筒机床上。本发明利用辊筒机床在大尺寸辊筒模具上加工柱面菲涅尔，充分发挥柱面菲涅尔的大尺寸优势，改进了柱面菲涅尔仿形加工方法，去除了用于调整刀具的手动位移台，保证机床整体刚度；同时主轴C轴采用气体静压主轴，将刚度和承载两者进行耦合从而使气浮主轴具有极高的回转精度以及刚度，大大提高其抗干扰能力，X轴和Z轴均为液体静压导轨，低速无爬行，在保证承载力的同时提高了直线运动精度，达到超精密加工要求。
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公开(公告)号：CN116067309A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202310161350.5
申请日：2023-02-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/30 , F16F15/023
Abstract: 一种晶圆平面度检测机，属于超精密加工装备领域。四个隔振器对称设置并固定于检测机支架上，底座固定于四个隔振器上，气浮转台固定于底座上，三点支撑组件固定在气浮转台上，测量盘设置在三点支撑组件上，两个定心气缸组件分别固定在底座上，X轴组件两端固定在两个立柱上，两个立柱固定在底座上，X轴组件的X轴气体静压导轨与气浮转台轴垂直布置，非接触式传感器通过固定在其上的固定座固定在X轴组件的X轴溜板上，非接触式传感器在X轴组件的X轴直线电机驱动下，沿X轴气体静压导轨移动，对晶圆平面度进行检测。本发明的晶圆平面度检测机可以实现较高精度的检测，检测精度可达0.4μm，同时具有较大的测量范围，可测量直径在400mm以内的晶圆平面度。
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公开(公告)号：CN116021048A
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202310059204.1
申请日：2023-01-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23B19/02
Abstract: 本发明公开了一种低风阻高速主轴转子结构，所述高速主轴转子结构包括主轴转子和沙丘状形体，所述主轴转子的外侧壁加工有若干个沙丘状形体，沙丘状形体在主轴转子的外侧壁沿圆周方向均匀分布，沙丘状形体为“C”形齿，“C”形齿上表面与左侧面一体设置有一向上凸起的弧形面a，所述弧形面a为凸坡，“C”形齿右侧面设置有一凹向左侧的弧形面b，所述弧形面b为凹坡。本发明在主轴转子的侧面加工出沿圆周均匀分布的沙丘状形体，降低了主轴转子在高速运动下的风阻，减小了主轴噪声。传统高速主轴转子风阻较大，主轴转子与其周围流体间存在着较大的摩擦阻力与摩擦功耗，而本发明中主轴转子风阻较低，所需摩擦功耗较低，能够降低电机的功率损耗。
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