-
公开(公告)号：CN113833756B
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202111110722.9
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及光刻机技术领域，公开了一种基于气磁联合调平的微动台支撑装置，包括承重板、外部框架、负压调节框架、负压调节板、磁悬浮导轨、连接结构、基座及直线编码器；外部框架设于基座上，连接结构设于外部框架上，连接结构用于支撑微动台；基座上设有与磁悬浮导轨相适配的金属导轨；直线编码器与所述磁悬浮导轨电连接。本发明使用气浮与磁悬浮结合的方式，通过控制外部框架底部负压腔体改善正压气膜各处厚度不均匀的情况，减少气膜振动误差；通过磁悬浮技术调节外部框架上板面与导轨间的悬浮间隙，在降低与导轨间运动摩擦的同时进一步微调支撑板姿态，并由编码器控制磁力线圈产生周期性变化的磁力，驱动支撑板实现高精度运动。
-
公开(公告)号：CN113944691B
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202111110622.6
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及精密机械技术领域，公开了一种移动式气浮导向机构，包括：两个基座、导轨、第一悬浮装置和第二悬浮装置，两基座相互间隔并平行设置，且均由能够与磁铁配合吸附的金属材质制成，导轨与悬浮装置连接并架设于两基座上；第一悬浮装置设于导轨的左侧，第一悬浮装置的左侧设有第一气悬浮组件和第一磁矩阵，第一悬浮装置的底部设有第二气悬浮组件和第二磁矩阵；第二悬浮装置设于导轨的右侧，第二悬浮装置的底部设有第三气悬浮组件和第三磁矩阵。本发明通过设计底部及侧面的气悬浮组件和磁矩阵结构降低导向机构的运动摩擦，以解决现有精密运动导向机构中导轨质量过大，运动控制难度高且装配误差较大的问题，进一步提高导向机构的运动精度。
-
公开(公告)号：CN113833756A
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN202111110722.9
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及光刻机技术领域，公开了一种基于气磁联合调平的微动台支撑装置，包括承重板、外部框架、负压调节框架、负压调节板、磁悬浮导轨、连接结构、基座及直线编码器；外部框架设于基座上，连接结构设于外部框架上，连接结构用于支撑微动台；基座上设有与磁悬浮导轨相适配的金属导轨；直线编码器与所述磁悬浮导轨电连接。本发明使用气浮与磁悬浮结合的方式，通过控制外部框架底部负压腔体改善正压气膜各处厚度不均匀的情况，减少气膜振动误差；通过磁悬浮技术调节外部框架上板面与导轨间的悬浮间隙，在降低与导轨间运动摩擦的同时进一步微调支撑板姿态，并由编码器控制磁力线圈产生周期性变化的磁力，驱动支撑板实现高精度运动。
-
公开(公告)号：CN109001260A
公开(公告)日：2018-12-14
申请号：CN201710421526.0
申请日：2017-06-07
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: G01N27/04
Abstract: 本发明涉及一种对硝基芳烃类爆炸物的传感检测方法。该方法采用分子印迹聚合膜和半导体材料修饰的复合膜气体传感器为检测设备，其特性在于其表层膜中存在能够选择性吸附硝基芳烃类爆炸物分子的印迹孔穴。当硝基芳烃类爆炸物分子占据印迹孔穴时，会限制氧气分子到达底层薄膜，使响应强度减弱。本方法就是以能与半导体材料产生高响应度的氧气分子作为实际与传感器反应的对象，传感器对氧气响应数值的大小与印迹孔穴被占据的数量有关，即与环境中硝基芳烃类爆炸物的浓度呈现正相关关系。本发明所涉及的检测方法原理简单、易于实现大面积推广，可实现对硝基芳烃类爆炸物快速、灵敏、准确的检测，可有望灵活地用于各种公共场所混合爆炸物的快速探测。
-
公开(公告)号：CN111812171B
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202010679696.0
申请日：2020-07-15
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
IPC: G01N27/30
Abstract: 本发明是一种集成式光电化学传感电极，基底为导电玻璃，自下而上依次为工作电极、第一绝缘层、对电极、参比电极、第二绝缘层。本发明通过多步、多层印刷操作，将对电极及参比电极直接制备与工作电极同在一块导电玻璃的表面，实现了三电极体系的集成，构建了一种新型的光电化学传感器平台，可实现标准化，大规模生产，应用于医学辅助诊断，环境监控，食品安全等检测领域，比如检测尿酸，葡萄糖，C反应蛋白，病毒核酸等，应用范围广，检测精度高。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113944691A
公开(公告)日：2022-01-18
申请号：CN202111110622.6
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及精密机械技术领域，公开了一种移动式气浮导向机构，包括：两个基座、导轨、第一悬浮装置和第二悬浮装置，两基座相互间隔并平行设置，且均由能够与磁铁配合吸附的金属材质制成，导轨与悬浮装置连接并架设于两基座上；第一悬浮装置设于导轨的左侧，第一悬浮装置的左侧设有第一气悬浮组件和第一磁矩阵，第一悬浮装置的底部设有第二气悬浮组件和第二磁矩阵；第二悬浮装置设于导轨的右侧，第二悬浮装置的底部设有第三气悬浮组件和第三磁矩阵。本发明通过设计底部及侧面的气悬浮组件和磁矩阵结构降低导向机构的运动摩擦，以解决现有精密运动导向机构中导轨质量过大，运动控制难度高且装配误差较大的问题，进一步提高导向机构的运动精度。
-
公开(公告)号：CN113833763A
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN202111110723.3
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明涉及精密运动技术领域，公开了一种精密运动气浮支撑装置，其包括基座、导轨和支撑框架，导轨水平设置于基座上并与基座固定连接，支撑框架套设于导轨上并可沿导轨滑动，支撑框架包括底部气浮板、顶部气浮板和侧向气浮板，侧向气浮板设有两块，两块侧向气浮板对称设置，侧向气浮板内设有侧向气路，侧向气浮板表面设有与侧向气路相连通的侧向进气孔和侧向排气孔，底部气浮板内设有底面气路，底部气浮板表面设有与底面气路相连通的底面进气孔和底面排气孔。与现有技术相比，该精密运动气浮支撑装置的结构设计简单可靠，进排气孔与气路设计能够有效降低气源的空间占用量，支撑框架具有良好的运动姿态与运动精度，操作人员的使用体验好。
-
公开(公告)号：CN111812167A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202010680249.7
申请日：2020-07-15
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
Abstract: 本发明是一种化学品间接毒性检测平台，包括通过微管依次连接的微流控系统、生物反应器、细胞代谢检测芯片和废液收集器，所述生物反应器包括细胞培养腔和细胞阻抗检测单元，所述细胞阻抗检测单元一端与细胞培养腔的液体电接触，另一端与电化学阻抗检测仪电连接，所述细胞代谢检测芯片包括葡萄糖检测单元和乳酸检测单元。本发明将电化学生物传感器分析技术和微流控芯片结合，以微流控技术为基础将多个微阵列分析技术融合，通过微米级尺寸的通道结构，以及高生物相容性材料的细胞培养腔，实现高度集成化、自动化、成熟的化学品间接毒性检测平台。
-
公开(公告)号：CN1253959C
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：CN200410013620.5
申请日：2004-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 单气室固体氧化物燃料电池组成的电池组，它涉及一种电池组。现有的双气室电池组对材料和制作工艺要求很高，系统结构复杂，制作困难，维修难度大。本发明中每个电解质片(1)的两面都交替设置有阳极(2)和阴极(3)，且电解质片(1)同一位置两侧电极的极性相反从而形成单电池(A)，在相邻两个单电池(A)的电解质(1-1)之间设有电解质隔离区(1-2)，单电池的阴极和下一个单电池的阳极之间通过导体连接实现串联，容器(4)中的所有电解质片(1)都通过导线连接使容器(4)中的所有单电池(A)实现串联，所有串联后的单电池成为一个串联电池组。本发明降低了对材料和制作工艺的要求，减小了系统体积、重量和材料使用，降低了成本，利于推广应用。
-
公开(公告)号：CN1564361A
公开(公告)日：2005-01-12
申请号：CN200410013620.5
申请日：2004-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 单气室固体氧化物燃料电池组成的电池组，它涉及一种电池组。现有的双气室电池组对材料和制作工艺要求很高，系统结构复杂，制作困难，维修难度大。本发明中每个电解质片(1)的两面都交替设置有阳极(2)和阴极(3)，且电解质片(1)同一位置两侧电极的极性相反从而形成单电池(A)，在相邻两个单电池(A)的电解质(1－1)之间设有电解质隔离区(1－2)，单电池的阴极和下一个单电池的阳极之间通过导体连接实现串联，容器(4)中的所有电解质片(1)都通过导线连接使容器(4)中的所有单电池(A)实现串联，所有串联后的单电池成为一个串联电池组。本发明降低了对材料和制作工艺的要求，减小了系统体积、重量和材料使用，降低了成本，利于推广应用。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
43
records
(took 0.028 seconds)
