公开(公告)号：CN106767400A

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201611046803.6

申请日：2016-11-23

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 倪赫 ,  邹丽敏 ,  张鹏 ,  郭清源 ,  周梦姣 ,  丁雪梅

IPC: G01B11/00

CPC classification number: G01B11/00

Abstract: 基于空间光调制器的结构探测共焦显微成像方法与装置。主要解决了以往共焦显微成像图片采集速率低、图像处理时间长的问题。该方法在共焦扫描显微系统中引入结构探测方法，采用空间光调制器模拟结构探测函数，对探测光斑进行调制，之后利用光电探测器测量调制后的光强，得到与待测样品采样点相对应的光强值，结合共焦显微系统的扫描机制，可实现对待测样品的三维成像；本发明还提供了一种适用于上述方法的测量装置，以透射式空间光调制器及光电探测器来实现结构探测，具备分辨率高，成像速度高的特点。

公开(公告)号：CN105043255A

公开(公告)日：2015-11-11

申请号：CN201510381723.5

申请日：2015-07-02

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 邹丽敏 ,  倪赫 ,  谭久彬

IPC: G01B11/00

CPC classification number: G01B11/24 ,  G01B5/20

Abstract: 基于光纤出射光探测的组合悬臂梁探针传感方法及装置属于尺寸测量技术领域；激光光束通过光纤出射后经透镜聚焦，由光电探测器探测聚焦光斑的位置，当探针在接触物体时带动光纤出射端偏移，导致出射光在光电探测器上聚焦形成的光斑位置发生偏移，完成传感；所述装置由激光器、光纤、夹持器、透镜、光电探测器和探针装配构成；本发明的特点是：探针制作方便且满足微型化需求、探测光的强度高且易于探测、具备三维探测能力、分辨力高、整体装置简单且尺寸较小。

公开(公告)号：CN104990499A

公开(公告)日：2015-10-21

申请号：CN201510381711.2

申请日：2015-07-02

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 邹丽敏 ,  倪赫 ,  谭久彬

IPC: G01B11/00 ,  G01B11/02

Abstract: 基于共轭焦点跟踪探测技术的探针传感装置属于尺寸测量技术领域；在激光器的出射光路上依次配置准直透镜、反射镜、显微物镜、光纤探针，光纤探针通过悬挂弹片悬挂安装在固定座上，光纤探针由内部刻有光纤光栅结构的光纤和探针触球配装构成；在显微物镜与反射镜之间依次配置第一分光镜和第二分光镜，在第一分光镜的反射光路上依次配置第一收集透镜和横向光电探测器，在第二分光镜的反射光路上依次配置第二收集透镜和轴向光电探测器；激光器、横向光电探测器和轴向光电探测器分别由电控位移台带动进行三维运动；本装置具有探针制作方便且易实现微型化、探测光强度高且易于探测、具备三维探测及解调能力、分辨力高、装置结构简单的特点。