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公开(公告)号：CN118999408A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202411084513.5
申请日：2024-08-08
IPC: G01B11/26 , G01B9/02001 , G01B9/02018
Abstract: 一种基于虹膜光阑的差分波前传感角度测量装置及测量方法，属于精密测量技术领域，意在解决差分波前传感技术的角度测量精度与角度测量线性范围制约的问题，本发明包括双频激光发生模块、参考光准直器、参考光电探测器、参考反射镜、一号、二号、三号非偏振分光棱镜、测量反射镜、一号、二号四象限探测器、虹膜光阑、测量光准直器。本发明利用二号四象限探测器根据差分功率传感原理实时获得各象限光强度数据，计算待测角度粗测值；根据粗测值调节虹膜光阑至对应通光孔径，实现波前差分传感测量线性范围及测量灵敏度动态在线调整；最后根据差分波前传感原理计算待测角度精测值，实现粗精二次测量，在保证角度测量精度的同时提升了角度测量范围。
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公开(公告)号：CN118999365A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202411099478.4
申请日：2024-08-12
IPC: G01B11/02 , G01B9/02015
Abstract: 一种完全等光程外差激光干涉仪及其测量方法，属于光学测量技术领域。为克服现有的非共光路外差激光干涉仪均难以满足光程完全平衡的问题,本发明偏振分光棱镜的上侧端面贴附有角锥棱镜、下侧端面贴附有四分之一波片、左侧端面贴附有第一补偿玻璃、第一二分之一波片，偏振分光棱镜的右侧端面并列贴附有第二补偿玻璃、第二二分之一波片；第一补偿玻璃、第一二分之一波片的左侧贴附有第一koester棱镜，第一koester棱镜的出光面贴附有第一偏振片；第二补偿玻璃、第二二分之一波片的右侧贴附有第二koester棱镜，第二koester棱镜的出光面贴附有第二偏振片；四分之一波片的输出光路上设置有第二反射镜、第一反射镜。
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公开(公告)号：CN117553676B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202311538447.X
申请日：2023-11-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B9/02015 , G01B11/02
Abstract: 基于多目标对向位移测量的外差干涉仪及测量方法，属于激光应用技术领域。本发明解决了现有的空间分离式外差激光干涉仪不满足对向目标间相对位移测量需求的问题。技术要点：激光光源的输出光路上左右依次并列设置有第一分束器与第二分束器，第一分束器与第二分束器均为偏振分束器；第一分束器的上方设置有第一反射器，第二分束器的右侧设置有第三反射器，第二分束器的前方设置有第二平面反射器，第二分束器的后方设置有第一平面反射器；第一平面反射器和第二平面反射器共同构成第二反射器组；第一分束器的左侧设置有第一光电探测器和第二光电探测器。本发明实现了对向物体间相对位移的测量。
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公开(公告)号：CN117553675A
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202311538445.0
申请日：2023-11-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B9/02015 , G01B11/02
Abstract: 基于一体式双偏振分光组件的外差激光干涉仪及测量方法，属于激光应用技术领域。本发明解决了现有的空间分离式外差激光干涉仪难以同时满足传感测头体积小、易于集成、热稳定性好及亚纳米级周期非线性误差需求的问题。技术要点：一体式双偏振分光组件的第一偏振分光棱镜和第二偏振分光棱镜并列设置，第一偏振分光棱镜上贴附有第一偏振片、第三偏振片、第一四分之一波片；第二偏振分光棱镜上贴附有第二偏振片、第四偏振片、第二四分之一波片；第一四分之一波片和第二四分之一波片的输出光路上目标反射镜，第三四分之一波片和第四四分之一波片的输出光路上设置有光电探测器。本发明设计装调更加灵活并降低了加工难度和加工误差。
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公开(公告)号：CN111442715A
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN202010134345.1
申请日：2020-03-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 基于一体式二次分光组件的外差激光干涉仪属于激光应用技术领域；本发明将两束频率不同的空间分离光束输入至基于一体式二次分光组件的外差激光干涉仪，其中一体式二次分光组件包含两个彼此空间垂直的分光面，这两个分光面镀有偏振分光膜或非偏振分光膜，并且测量光束和参考光束在一体式二次分光组件中的行进路径长度相等。本发明所述的外差激光干涉仪显著降低了周期非线性误差，相对于其他现有空间分离式外差激光干涉仪同时兼具结构简单、热稳定性好、容差角大和易于集成装配的优点，满足了高端装备对外差激光干涉测量高精度和高分辨率的要求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109539975A
公开(公告)日：2019-03-29
申请号：CN201811352669.1
申请日：2018-11-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 单频激光干涉仪非线性误差修正方法与装置属于激光测量技术领域；本发明在不需要改变第一反射镜和第二反射镜位置的前提下，利用液晶相位延迟器在测量光束和参考光束之间产生连续的光程差变化，使得干涉信号产生足够的相位变化，实现对干涉信号特征参数的预提取，从而利用预提取的特征参数对单频激光干涉仪位移测量过程中的非线性误差进行修正，实现高精度位移测量；本发明实现了对单频激光干涉仪干涉信号特征参数的预提取、能够有效解决干涉测量尤其是微小位移测量中非线性误差的修正问题，在精密测量领域具有显著的技术优势。
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公开(公告)号：CN104037608B
公开(公告)日：2017-06-23
申请号：CN201410308366.5
申请日：2014-07-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于热电制冷和声光移频的单纵模激光器互锁方法和装置属于激光应用技术领域，本发明采用声光移频技术将多台基于热电制冷的单纵模激光器的输出激光频率锁定于同一台参考单纵模稳频激光器的输出激光频率上，从而使所有激光器输出激光具有统一的频率值，目的是解决传统稳频激光器相互之间的频率一致性较低的不足，为超精密激光干涉测量提供一种新型的激光光源。
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公开(公告)号：CN105914574A
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201610307844.X
申请日：2016-05-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: H01S3/1068 , H01S3/0085 , H01S3/083
Abstract: 串联移频和三镜环形腔内色散补偿双频梳生成方法与装置属于超快激光技术领域。本方法利用一台稳频激光器提供源激光，通过两个串联配置的声光移频器与两个内部含有电光调制器的三镜环形腔生成双光学频率梳,利用腔内的色散补偿器件扩展所生成频率梳的光谱范围，由参考同一个频率基准的两台双通道信号发生器分别为声光移频器和电光调制器提供调制驱动信号，得到各梳齿外差干涉信号频率呈等差数列分布的外差双光学频率梳，本发明还提供了一种串联移频和三镜环形腔内色散补偿双频梳生成装置；本方法生成的外差双光学频率梳具有光谱范围大、频率一致性好的特点，所提出的外差双光学频率梳生成装置具有系统集成度高，结构简单，成本低廉等优点。
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