一种基于石英圆环谐振器的原子力探针式传感器

    公开(公告)号:CN110441551A

    公开(公告)日:2019-11-12

    申请号:CN201910736261.2

    申请日:2019-08-09

    Abstract: 本发明公开了一种基于石英圆环谐振器的原子力探针式传感器,石英圆环谐振器正下方连接有探针,探针正下方设置有压力膜,石英圆环谐振器的水平直径方向上设置有电极,电极包括相互连通在外环表面的第一电极与第四电极,相互连通在内环表面的第二电极与第三电极;控制电路用于控制激振电路、驱动电路输出控制信号,激振电路分别通过引线连接第一电极与第四电极以及第二电极与第三电极;压电陶瓷驱动器的输出端连接于在石英圆环谐振器顶部中心位置,压电陶瓷驱动器与探针相对于石英圆环谐振器中心呈对称安装;压电陶瓷驱动器的驱动端通过引线连接驱动电路。本发明利用原子力检测压力膜的表面形变,具有纳米级别的分辨率。

    能提高测量范围的微纳米三维接触式测量探头及控制方法

    公开(公告)号:CN110388875A

    公开(公告)日:2019-10-29

    申请号:CN201910810549.X

    申请日:2019-08-29

    Abstract: 本发明公开了一种能提高测量范围的微纳米三维接触式测量探头及控制方法,具有测量单元和测头单元;其测量单元中激光器发射的准直光束在迈克尔逊干涉仪中的分成两路准直光,并一一对应形成参考光束和测试光束,在参考光束和测试光束之间产生干涉;其测头单元是在圆环座与中心盘之间以弹簧相连接,使中心盘在所述圆环座中呈悬浮结构,在所述中心盘的一侧固定设置测量反射镜,另一侧安装带有测球的测杆;将迈克尔逊干涉仪中用于形成参考光束的参考反射镜设置在二维微调座上,通过调整二维微调座,使参考反射镜获得所需的二维偏摆角度,以此满足设定的测量范围的要求,本发明能达到扩大探头的量程、提高测量精度的效果。

    一种基于石英音叉三维谐振测头的触发力测量方法

    公开(公告)号:CN115979467B

    公开(公告)日:2024-06-18

    申请号:CN202310052440.0

    申请日:2023-02-02

    Abstract: 本发明公开了一种基于石英音叉三维谐振触发测头的触发力测量方法,包括:1设定石英音叉谐振触发测头输出电压触发阈值,2设定压电微位移平台移动参数,3读取石英音叉三维谐振触发测头当前输出电压幅值,与所设定的触发阈值进行比较,4根据比较结果,若读取到的电压幅值大于设定触发阈值,则控制压电微位移平台沿指定方向移动一个步距5若读取电压幅值小于设定触发阈值,则使压电微位移平台停止逼近,保持当前位置延时后,令位移台回退6微力传感器记录该过程测力值。本发明能实现基于石英音叉三维谐振触发测头触发力的测量,以验证微纳米三坐标测量机测头测量力低的特点,对于实现柔软质地微型精密元件的测量具有一定的理论意义和实用价值。

    一种微纳米三坐标测量机手动操控系统

    公开(公告)号:CN118068762A

    公开(公告)日:2024-05-24

    申请号:CN202410208939.0

    申请日:2024-02-26

    Abstract: 本发明公开了一种微纳米三坐标测量机手动操控系统,本发明包括操纵盒与上位机软件两个部分。操纵盒能够与所有的微纳米三坐标测量机系统中的上位机相连,操纵者通过手持操纵盒的方式进行手动控制;上位机软件能够接收来自操纵盒的信号并对信号进行解析和处理。本发明手动操控系统通过采用通用USB接口,以及设计能够解析操纵盒信号的上位机软件的方式,使得系统能够与微纳米三坐标测量机系统中的上位机相连。同时上位机软件输出的txt格式的数据记录文件解决了控制器类型不同造成的控制指令不同的问题,便于使用者二次开发。

    一种用于汇聚式双目模型的立体匹配方法

    公开(公告)号:CN117649543A

    公开(公告)日:2024-03-05

    申请号:CN202311687531.8

    申请日:2023-12-11

    Abstract: 本发明公开了一种用于汇聚式双目模型的立体匹配方法,包括:1确定匹配参考点,2提取特征点并生成特征点描述符,3确定初始匹配点,4设置定向匹配区域并匹配,5计算基础矩阵,6利用基础矩阵完成立体匹配。本发明能够在不进行模型转换的情况下实现左右视图之间的立体匹配,从而使得测量模型与深度计算模型保持一致,同时避免了图像信息的丢失并提高了匹配效率。

    一种具有高分辨率的汇聚式双目视觉测量方法

    公开(公告)号:CN114359365B

    公开(公告)日:2024-02-20

    申请号:CN202210027706.1

    申请日:2022-01-11

    Abstract: 本发明公开了一种具有高分辨率的汇聚式双目视觉测量方法,是从双目标定结果中的相机内外参数入手,计算双目相机光轴在水平方向的夹角;再根据相机光轴角度构建图像的旋转矩阵;接着,根据双目相机的平移向量计算光心之间的距离,并以此构建图像的平移矩阵,再构建最终的图像变换矩阵;然后通过图像变换矩阵计算双目视差,最终得到双目测量的深度值。本发明能够在使用普通视场相机的情况下获取足够大的有效测量区域,并能应用在对空间结构要求比较高的场合,从而提高双目视觉的测量分辨率。

    一种提高干涉测量系统抗测量镜偏摆能力的方法

    公开(公告)号:CN113566853B

    公开(公告)日:2023-06-27

    申请号:CN202110839109.4

    申请日:2021-07-23

    Abstract: 本发明公开了一种提高干涉测量系统抗测量镜偏摆能力的方法,干涉测量系统由激光光源、干涉光路、参考镜、测量镜、光电检测器以及信号处理模块所组成;通过包括光电检测、I/V转换、差分放大、直流自动补偿、正交化及正则化的信号处理方式对干涉信号进行在线自适应处理,得到两路等幅正交干涉电压信号,实现对干涉信号中幅值、相位以及直流偏移误差的补偿,间接提高测量镜的抗偏摆能力。本发明在提高测量系统测量精度的同时,能有效提高测量系统抗测量镜偏摆的能力,扩大测量行程。

    一种基于石英音叉三维谐振测头的触发力测量方法

    公开(公告)号:CN115979467A

    公开(公告)日:2023-04-18

    申请号:CN202310052440.0

    申请日:2023-02-02

    Abstract: 本发明公开了一种基于石英音叉三维谐振触发测头的触发力测量方法,包括:1设定石英音叉谐振触发测头输出电压触发阈值,2设定压电微位移平台移动参数,3读取石英音叉三维谐振触发测头当前输出电压幅值,与所设定的触发阈值进行比较,4根据比较结果,若读取到的电压幅值大于设定触发阈值,则控制压电微位移平台沿指定方向移动一个步距5若读取电压幅值小于设定触发阈值,则使压电微位移平台停止逼近,保持当前位置延时后,令位移台回退6微力传感器记录该过程测力值。本发明能实现基于石英音叉三维谐振触发测头触发力的测量,以验证微纳米三坐标测量机测头测量力低的特点,对于实现柔软质地微型精密元件的测量具有一定的理论意义和实用价值。

    集成前馈矫正的超低迟滞开关式压电陶瓷独立驱动方法

    公开(公告)号:CN115967301A

    公开(公告)日:2023-04-14

    申请号:CN202211591471.5

    申请日:2022-12-12

    Abstract: 本发明公开了一种集成前馈矫正的超低迟滞开关式压电陶瓷独立驱动方法,是在由单片机控制的开关式独立驱动的基础上,以最简单的二次多项式为迟滞模型来拟合独立驱动下的迟滞曲线,之后以迟滞逆模型也就是二次函数的反函数作为输入代替线性输入的电压,即可获得线形的输出响应曲线。本发明能在分时独立驱动的基础上大幅度减小迟滞至0.82%,从而能改善使用压电致动器作为驱动的装置的非线性,并能提高驱动精度。

    一种具有高分辨率的汇聚式双目视觉测量方法

    公开(公告)号:CN114359365A

    公开(公告)日:2022-04-15

    申请号:CN202210027706.1

    申请日:2022-01-11

    Abstract: 本发明公开了一种具有高分辨率的汇聚式双目视觉测量方法,是从双目标定结果中的相机内外参数入手,计算双目相机光轴在水平方向的夹角;再根据相机光轴角度构建图像的旋转矩阵;接着,根据双目相机的平移向量计算光心之间的距离,并以此构建图像的平移矩阵,再构建最终的图像变换矩阵;然后通过图像变换矩阵计算双目视差,最终得到双目测量的深度值。本发明能够在使用普通视场相机的情况下获取足够大的有效测量区域,并能应用在对空间结构要求比较高的场合,从而提高双目视觉的测量分辨率。

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