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公开(公告)号：CN112361973A
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：CN202011296380.X
申请日：2020-11-18
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种金刚石薄膜厚度及光学常数检测方法，先依据椭偏光谱数据及吸收光谱数据判断金刚石薄膜是单晶金刚石薄膜或多晶金刚石薄膜，再依据光谱数据分别选择不同计算方式以获光学常数和薄膜厚度，一方面不仅能获折射率和薄膜厚度，而且还能获消光系数，另一方面，单晶金刚石薄膜采用Cauchy模型计算以获光学常数和薄膜厚度，多晶金刚石薄膜则选择波段并依据振子模型和评价函数MSE计算以获光学常数和薄膜厚度，因此可检测单晶及多晶金刚石薄膜，能获光学常数折射率、消光系数和厚度，检测精度高、测量时间短。
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公开(公告)号：CN111113166A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN202010086513.4
申请日：2020-02-11
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了超声辅助自旋转磨削机床主轴结构，包括换能器、变幅杆、主轴体、法兰盘、裙边结构部分、连接换能器的感应线圈和磨盘砂轮部分；该换能器固接变幅杆第一端，该变幅杆第二端固接主轴体第一端，该主轴体第二端固接有裙边结构部分，该磨盘砂轮部分固装在裙边结构部分，该换能器产生纵向超声振动，该纵向超声振动经变幅杆将纵向超声振动转换为径向超声振动，该裙边结构部分放大径向超声振动的振幅和振速，并带动磨盘砂轮部分径向超声振动；该主轴体中部固接有法兰盘以用于固接传动连接电机的主轴。它具有如下优点：利用超声振动辅助进行自旋转磨削加工，可减小磨削力，抑制裂纹的扩展，减小磨削损伤。
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公开(公告)号：CN108581250A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201810778005.5
申请日：2018-07-16
Applicant: 华侨大学
IPC: B23K26/70 , B23K26/362 , B23K26/402
Abstract: 本发明提供了一种晶圆片侧面激光打码装置及其使用方法，该装置包括真空吸附平台、激光器、激光头、第一移动载体、第二移动载体、控制装置；所述真空吸附平台与所述激光头间隔一段距离设置；所述激光头设置于所述第一移动载体上并与所述激光器连接；所述第一移动载体与所述激光头滑动连接，所述第一移动载体与所述第二移动载体滑动连接，所述第二移动载体设置于一放置平台上并与所述放置平台滑动连接；所述第一移动载体及第二移动载体均与所述控制装置连接，所述控制装置控制所述第一移动载体及第二移动载体滑动；所述真空吸附平台用于放置和固定晶圆片。应用本技术方案可实现对晶圆片制备及后续芯片制作过程的全流程质量跟踪和监控。
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公开(公告)号：CN106041706B
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201610573206.2
申请日：2016-07-20
Applicant: 华侨大学 , 福建晶安光电有限公司
Abstract: 本发明公开了一种蓝宝石晶片腐蚀抛光复合加工机床，包括机台、立式旋转臂、主轴系统、电机、载物盘和负压机构；该机台顶面设有周向间隔布置的装卸位、粗抛位、腐蚀位和精抛位；该立式旋转臂上部固设有悬臂，该主轴系统能相对悬臂上下活动，该电机和载物盘都装接在主轴系统上且电机传动连接载物盘以能带动载物盘转动；该载物盘上设有吸孔，该负压机构接通吸孔；该立式旋转臂设于该周向的轴线处且能绕该轴线转动，通过立式旋转臂转动能将载物盘分别移至装卸位、粗抛位、腐蚀位和精抛位进行相应的加工。它具有如下优点：可对蓝宝石晶片进行上料、腐蚀、抛光和下料复合加工，能够快速获得超光滑无损伤的晶片表面，大大提高了蓝宝石晶片加工效率。
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公开(公告)号：CN107520471A
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201710875201.X
申请日：2017-09-25
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了超声打孔机工具头在线电火花修整装置，包括机床主体和修整装置；该机床主体包括机架、导轨、滑块、超声振动系统、工具头和工装；该修整装置包括修整槽、绝缘支架、修整工具和脉冲电源；该机床主体还包括位移台，该位移台能滑动连接在机架上，该工装和修整槽都装设在位移台之上且通过位移台的滑动使工具头配合工装或修整槽；该绝缘支架安装在修整槽内，该修整工具装设在绝缘支架顶部，该脉冲电源的两极分别电接工具头与修整工具，通过工具头与修整工具之间的相切运动使工具头与修整工具之间产生脉冲放电，以去除工具头的磨损部位实现修整。它具有如下优点：能在线修整工具头；修整过程中不产生切削力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107378812A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201710756297.8
申请日：2017-08-29
Applicant: 华侨大学
IPC: B24D18/00
CPC classification number: B24D18/009
Abstract: 本发明公开了一种凝胶研磨工具制备装置。包括溶胶分散单元和凝胶单元；其中溶胶分散单元包括溶胶池，溶胶池内设搅拌器；凝胶单元包括料缸，料缸内设有活塞，料缸进料口通过进料口单向阀连接溶胶池出料口；料缸出料口内设出料口单向阀；料缸出料口连接一出料嘴，料缸出料口下方设反应池，反应池内有反应液。本发明结构简单，易于控制且能够满足连续作业的需要，实现了凝胶研磨工具的自动化批量生产，大大提高了生产率和研磨工具制备稳定性，降低制备成本。
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公开(公告)号：CN106542313A
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201611127485.6
申请日：2016-12-09
Applicant: 华侨大学
CPC classification number: B65G47/26 , B65G47/24 , B65G2201/0244
Abstract: 本发明公开了一种塑料瓶自动排序装置，包括：一出瓶转筒和一传送起竖机构，该出瓶转筒和传送起竖机构通过一第一传送带连通。本发明实现了快速出瓶，自动排序，极大的减少了原有的人工手动排序的劳动强度，提高了包装速度，从而大大提高了包装生产线的生产效率。
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公开(公告)号：CN106493647A
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201611144312.5
申请日：2016-12-13
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种轴向超声振动辅助杯形砂轮及其使用方法，该杯形砂轮包括基盘，基盘上周向均匀间隔地布置有若干超声振动单元；该超声振动单元包括振动磨块、超声变幅杆和超声换能器；超声变幅杆固接在基盘且平行于基盘轴向方向布置；该振动磨块呈圆弧形块状，若干超声振动单元的若干振动磨块相互拼接形成类圆环状的砂轮磨削部分；通过超声换能器推动超声变幅杆产生沿其轴向的超声振动并带动振动磨块相对基盘产生沿基盘轴向的超声振动。本发明在杯形砂轮的磨削过程中，对其施加一定方式的超声振动，提高杯形砂轮对硬脆性材料的加工效率和表面质量，并能有效地延长砂轮的工作时间、降低工艺成本，对硬脆性材料的加工技术具有重要意义。
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公开(公告)号：CN106378700A
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：CN201611063308.6
申请日：2016-11-28
Applicant: 华侨大学
CPC classification number: B24B37/16 , B24B37/14 , B24D18/0009 , B24D18/0054
Abstract: 本发明涉及一种树脂固结金刚石微粉叶序研磨盘，所述研磨盘包括树脂基体层和至少部分形成柱状叶序结构的树脂-金刚石微粉工作层，且柱状结构的叶序排列满足基于H.Vogel平面叶序模型的轨迹均匀性理论。本发明还提供了上述研磨盘的制造方法，是先形成半固化的树脂基体层，再于半固化的树脂基体层上形成半固化的树脂-金刚石微粉层，通过具有上述叶序排列圆柱孔的叶序压板压在树脂-金刚石微粉层上使其至少部分形成相应的柱状叶序结构，再进行固化。本发明的研磨盘具有均匀研磨轨迹分布、顺畅的冷却液流动作用，可将加工中的形成研屑及时排出，能够大大提高研磨质量和研磨效率，防止磨盘堵塞。其制备方法简单易行。
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公开(公告)号：CN104095670B
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201410333549.2
申请日：2014-07-14
Applicant: 华侨大学
IPC: A61B17/28
Abstract: 一种应变式测力和组织夹伤报警的外科手术夹钳，包括钳体、应变片、检测电路板、电源和显示面板；该钳体包括钳头、一钳头座、一钳筒、一钳筒固定座、一拉杆、一第一手柄和一第二手柄；该钳筒两端分别与钳头座和钳筒固定座固定连接；该拉杆一端与第一手柄顶端连接，另一端与钳头相连；该应变片的输出线与检测电路板输入端相连用于将应变信号传送至检测电路板，该检测电路板输出端与显示面板相连用于处理应变信号得到实时夹持力并显示，及在实时夹持力超过预设阈值时报警。本发明通过应变片形变产生应变信号，经处理实现对被夹持软组织夹持力的实时测量和显示，且当夹持力超过预设阈值时报警，保证被夹组件不会因为夹持力过大而造成应力损伤。
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