原位制备高通量薄膜并原位至微纳加工的装置及方法

    公开(公告)号:CN109852936A

    公开(公告)日:2019-06-07

    申请号:CN201910209136.6

    申请日:2019-03-19

    Abstract: 本发明提供一种原位制备高通量薄膜并原位至微纳加工的装置及方法,属于薄膜材料高通量制备及微纳加工技术领域。该装置包括基体、激光器、加热器、镀膜设备、甩胶腔体和电子束曝光腔,薄膜样品在真空或气氛条件采用激光加热,激光采用垂直照射,能量通过系统设置调整。通过掩膜板,用激光脉冲沉积方法制备成分连续分布、厚度梯度分布的高通量薄膜样品。高通量样品在横向成分连续分布,纵向厚度梯度分布,然后再激光脉冲沉积一层电极层,并通过原位输运至另一腔体中甩胶再原位输运至电子束曝光腔中进行感光胶曝光,原位获得制有图案的高通量薄膜。本发明可以实现高通量薄膜的制备、微纳图样制备并为后续电学测量提供原位的高通量样品。

    基于稀土镍基钙钛矿化合物的能量扰动交叉双向探测方法

    公开(公告)号:CN109490381A

    公开(公告)日:2019-03-19

    申请号:CN201811377999.6

    申请日:2018-11-19

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种基于稀土镍基钙钛矿化合物的能量扰动交叉双向探测方法,属于信号探测领域。该发明结合具有热力学亚稳态物相的稀土镍基钙钛矿化合物的能量电阻温度系数与高热电赛贝克系数两个特点,通过对微区能量扰动引起能量变化进行探测实现对能量微扰动进行探测的目的。综合利用稀土镍基钙钛矿化合物的能量敏感电阻效应的有源探测技术与赛贝克电压效应的无源探测技术相结合的方法,实现对能量扰动的精准锁定与探测。该方法可实现对光、热、电磁波等微小热扰动信号的精准探测,在光信号探测、微测辐射热、温度探测与传感方面具有可观的应用价值与宽广的应用前景。

    基于晶格偶极子与载流子相互作用调节电传输性能的方法

    公开(公告)号:CN107316799A

    公开(公告)日:2017-11-03

    申请号:CN201710429845.6

    申请日:2017-06-09

    Abstract: 一种基于晶格偶极子与载流子相互作用调节电传输性能的方法。本发明通过在重掺杂半导体中引入晶格偶极子,利用偶极子与重掺杂半导体中的载流子的相互作用控制材料电导率、载流子浓度、载流子迁移率等载流子电输运性能。在此基础上,通过改变温度、光触发等外加条件对载流子与偶极子的库伦作用程度,从而实现在不改变材料组分的前提下通过外界条件调节重掺杂半导体电传输性能的目的。本发明所述材料的载流子浓度随温度从20开尔文升高到室温或在低温光照触发下显著增加近两个数量级,而迁移率降低,可进一步应用于制备电子器件导电通道层、光电材料半导体节、热电材料与器件等方面,满足相应器件设计中电极、通道层等的电传输性能与温度、光照等变化关系要求。

    一种自适应海底复杂地形的复合轮式行走机构

    公开(公告)号:CN101774409A

    公开(公告)日:2010-07-14

    申请号:CN201010127881.5

    申请日:2010-03-17

    Abstract: 本发明公开了一种自适应海底复杂地形的复合轮式行走机构,它包括铰接式车架和安装在车架两侧具有独立驱动系统的复合轮系。所述复合轮系由前、后连接板以及安装于前、后连接板上具有独立驱动系统的前轮、中轮和后轮,所述前轮、中轮、后轮之间有链轮,所述链轮通过链条相互传递动力,所述前、后连接板又跟油缸和车架铰接。本发明采用主动控制的方式进行越障,可越过2倍于轮胎直径的台阶、凸台,可跨过小于轮系中前后轮距的壕沟,可适应高低起伏的路面,使轮胎与地面连续接触,最大程度地获得路面附着力,有效的提高在海底复杂路况下的动力性能以及工作效率。本发明的行走机构简单紧凑,运动高效灵活,成本低廉,适应范围广,稳定性好,可靠性高。

    一种垂直磁各向异性薄膜
    35.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101620915A

    公开(公告)日:2010-01-06

    申请号:CN200910086166.9

    申请日:2009-06-09

    Abstract: 一种垂直磁各向异性薄膜,其易磁化轴方向垂直于薄膜平面,属于磁性材料领域。其特征在于:薄膜组分为Tb x (Co 2 FeZ) y ,其中Z为Al、Si等元素,Co 2 FeZ为半金属Heusler合金组分,Tb和Fe原子的比例x∶y为0.2<(x∶y)<2。本发明的优点在于:该薄膜具有高垂直磁各向异性场,可以通过控制原子组分比调节矫顽力,并显著低于传统垂直磁各向异性膜的矫顽力,因此它可以作为铁磁层应用于垂直自旋阀或磁隧道结中,应用时能够克服小尺寸下的磁卷缩和涡旋磁畴结构,且矫顽力可调,能够满足超高灵敏度和存储密度的磁传感器或存储器的使用要求。

    具有微金字塔结构的PDMS薄膜制备方法及PDMS薄膜

    公开(公告)号:CN120039821A

    公开(公告)日:2025-05-27

    申请号:CN202510024248.X

    申请日:2025-01-07

    Abstract: 本发明提供一种具有微金字塔结构的PDMS薄膜制备方法及PDMS薄膜,衬底包括衬底本体和位于其表面的氧化层,在氧化层表面采用电子束蒸发沉积生成一层铬金属层,在铬金属层表面旋涂光刻胶,烘干后形成光刻胶层,通过光刻或紫外曝光在光刻胶层表面生成若干正方形孔洞图案,湿法腐蚀去除铬金属层的暴露区域,离子刻蚀去除氧化层的暴露区域,湿法腐蚀刻蚀衬底本体的暴露区域,以在衬底本体上形成具有斜锥状凹槽的倒微金字塔结构,将液态PDMS旋涂至衬底上固化后剥离,以得到具有微金字塔结构的PDMS薄膜。该制备方法能够提高形成的微金字塔结构的稳定性和精确性,还可以简化加工步骤,降低生产成本,有利于PDMS薄膜的大规模推广和应用。

    一种自支撑稀土镍基钙钛矿无衬底薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN109778315B

    公开(公告)日:2024-01-23

    申请号:CN201910002918.2

    申请日:2019-01-02

    Abstract: 一种自支撑稀土镍基钙钛矿无衬底薄膜的制备方法。通过利用可溶解的碱金属卤化物作为晶种与衬底层,在碱金属卤化物表面生长处于热力学亚稳态的稀土镍基钙钛矿薄膜前驱体并通过适当的热处理过程使其结晶;进一步通过含有羟基的溶剂将碱金属卤化物溶解从而实现其与稀土镍基钙钛矿薄膜材料的分离。利用本发明方法所制备薄膜可通过剪裁等直接加工方法制备出器件所需的形状,并转移到器件所需的位置,从而更好地满足电子器件、能源器件、探测器件等制备需求。所制备薄膜材料具有温致、氢致金属绝缘体相转变特性,热敏电阻特性,以及质子导体特性。该技术在制备功能电子器件、传感器、燃料电池、热敏电阻、红外探测敏感材料等方面具有可观的应用价值。

    一种基于强关联氧化物阻抗频率响应的电场探测方法

    公开(公告)号:CN113376436B

    公开(公告)日:2023-12-15

    申请号:CN202110581462.7

    申请日:2021-05-26

    Abstract: 本发明提供一种基于强关联氧化物海洋电场敏感的阻抗信号探测方法,属于电子器件与电信号探测领域,具体地涉及一种基于强关联氧化物阻抗频率响应的电场探测方法。其主要利用具有电子相变特性的强关联氧化物在电场触发下的交变阻抗与频率关系的变化,实现对电解质环境中存在的低频电场进行探测。所使用的稀强关联氧化物有稀土镍基钙钛矿氧化物ReNiO3、二氧化钒、氧化钨、氧化镍、稀土铁基尖晶石氧化物ReFe2O4、BiNiO3、稀土铜铁基电子相变氧化物RexCu1‑xFeO3。综合电场触发下电解质离子进入或脱出强关联氧化物所引起的实、虚部电阻绝对值随频率变化以及阻抗相位变化两方面,可以实现对探测精度和灵活度的提高。该方法可应用于探测海洋、湖泊、江河、以及电解质溶液中的微弱低频电场变化。

    一种有机无机复合型钒氧化合物电子相变材料的制备方法

    公开(公告)号:CN115124277B

    公开(公告)日:2023-04-25

    申请号:CN202210599718.1

    申请日:2022-05-30

    Abstract: 一种有机无机复合型钒氧化物电子相变材料的制备方法,属于有机无机复合半导体材料领域。本发明综合利用有机导电聚合物的高电导率特性与良好的粘合性,通过其与钒氧化合物电子相变材料粉体的复合冷压过程,实现不同形状、维度的有机无机复合型电子相变材料的简易制备。本发明方法无须经过高温固相反应或烧结过程,可在常温下通过使用优选压力、复合比例、复合方法,原位制备出具有良好力学特性与金属绝缘体转变特性的钒基电子相变材料。本发明方法可大幅减少反应所需的能耗、时间与成本,实现对钒基电子相变材料的简易有效制备。所述材料可应用于突变式热敏电阻、柔性电子器件、红外探测、热扰动探测方面。

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