公开(公告)号：CN110346390A

公开(公告)日：2019-10-18

申请号：CN201910564205.5

申请日：2019-06-26

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 苗君 ,  姜勇 ,  王守国 ,  刘瑞雯

IPC: G01N23/2005 ,  G01N23/20058 ,  C23C14/34

Abstract: 本发明提供一种高通量薄膜制备并原位微结构表征的装置及方法，属于薄膜材料高通量制备、微纳加工及微结构表征技术领域。该装置包括基体、激光器、激光加热器、镀膜设备、夹持样品杆、红外测温仪、减薄设备、微结构表征腔、微结构测试样品杆、插板，其中，基体置于镀膜设备的夹持样品杆上，激光器、激光加热器和红外测温仪分别安装在镀膜设备上，镀膜设备、减薄设备、微结构测量部件依次顺序通过插板连接。本发明通过夹持样品杆和微结构测试样品杆完成原位传输及腔体内功能的实现，能最大程度避免外界环境条件对薄膜性能的影响，发挥高通量薄膜技术的优势，精准获得高通量组分和厚度薄膜的结构与物理性质的变化规律。

公开(公告)号：CN109852936A

公开(公告)日：2019-06-07

申请号：CN201910209136.6

申请日：2019-03-19

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 苗君 ,  姜勇 ,  王守国 ,  刘瑞雯

IPC: C23C14/28 ,  C23C14/04 ,  C23C14/08 ,  C23C14/58

Abstract: 本发明提供一种原位制备高通量薄膜并原位至微纳加工的装置及方法，属于薄膜材料高通量制备及微纳加工技术领域。该装置包括基体、激光器、加热器、镀膜设备、甩胶腔体和电子束曝光腔，薄膜样品在真空或气氛条件采用激光加热，激光采用垂直照射，能量通过系统设置调整。通过掩膜板，用激光脉冲沉积方法制备成分连续分布、厚度梯度分布的高通量薄膜样品。高通量样品在横向成分连续分布，纵向厚度梯度分布，然后再激光脉冲沉积一层电极层，并通过原位输运至另一腔体中甩胶再原位输运至电子束曝光腔中进行感光胶曝光，原位获得制有图案的高通量薄膜。本发明可以实现高通量薄膜的制备、微纳图样制备并为后续电学测量提供原位的高通量样品。