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公开(公告)号：CN111595315A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010584317.X
申请日：2020-06-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明公开了一种“T”字型推挽流微机械双轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“T”字型结构的三对加热器和两对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“T”字型凹槽；三对加热器的通电方式为周期式推挽式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本发明采用的工艺与集成电路工艺兼容，很容易将驱动电路和提取电路制作在同一个芯片上，具有高集成度的潜力。由于其敏感质量不含固体质量块，较其他工作原理的微型惯性传感器，具有抗大冲击，结构简单，成本极低，可靠性高的优势。
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公开(公告)号：CN106338615B
公开(公告)日：2019-04-30
申请号：CN201510415600.9
申请日：2015-07-16
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P3/28
Abstract: 本申请公开了一种硅微机械双通道循环流式Z轴角速度传感器，该气流式角速度传感器包括双通道循环流式Z轴角速度芯片、PCB电路板、底座、外壳、缓冲硅胶片和引线，双通道循环流式Z轴角速度芯片包括PET上盖、上硅板、下硅板、PET底盖和压电陶瓷圆振子；压电陶瓷圆振子嵌入PET上盖上；上硅板上设置有射流网络；下硅板上设置有射流网络和两对分别位于两个射流敏感室的平行热线；PET上盖、上硅板、下硅板和PET底盖依次粘接构成所述角速度芯片。本申请的气流式角速度传感器的热线独立设置在两个不同的射流敏感室内分别与两个射流敏感体进行热量交换，彼此独立，互不影响，不仅敏感的角速度稳定性好，而且两对热线分别串联，热线电阻大，在通以相同热线电流情况下，角速度输出电压大，比普通单射流敏感室的气流式角速度传感器的灵敏度高，实用性强。
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公开(公告)号：CN106052669B
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201610403264.0
申请日：2016-06-08
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本申请公开了一种微型双泵双轴循环射流陀螺，其包括敏感X轴和Z轴角速度的射流陀螺芯片、底座和外壳；所述射流陀螺芯片包括PCB电路板、PET基板、硅板和PET盖板；PCB电路板上设置有电源电路；PET基板上刻蚀有敏感室和储气槽；硅板上设置有敏感X轴和Z轴方向的两对敏感热敏丝、喷嘴和射流循环通道；PET盖板上设置有两个压电振子、储气槽和用于安装压电振子的台阶；PCB电路板、PET基板、硅板和PET盖板依次粘结构成所述射流陀螺芯片。本申请的射流陀螺以气体作为敏感质量，抗高过载、耐强冲击；制作成本低、实用性强；采用密闭空间内的循环气流作为角速度气流敏感体，陀螺的稳定性好，灵敏度较大，抗干扰能力强；结构简单，使用寿命长。
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公开(公告)号：CN106338614B
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201510415596.6
申请日：2015-07-16
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本申请公开了一种微型单循环气流式Z轴PET角速度传感器，该气流式角速度传感器包括单循环气流式Z轴角速度芯片、PCB电路板、底座、外壳、缓冲硅胶片和引线，其中单循环气流式Z轴角速度芯片包括PET盖板、硅板和PET底座；其中，PET盖板上设置有气流回路；硅板上设置有一对平行敏感热线；PET底座上设置有压电陶瓷振子和气流回路；PET盖板、硅板和PET底座依次连接构成单循环气流式Z轴角速度芯片。本申请的气流式角速度传感器射流敏感室内的热线较长，电阻大，在通以相同热线电流情况下，角速度输出电压大，灵敏度高，实用性强；以气体作为敏感质量，抗高过载、耐强冲击；制作成本低，仅为全硅结构的1/10；采用密闭空间内的单循环气流作为角速度气流敏感体，角速度传感器的稳定性好，角速度传感器灵敏度较大。
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公开(公告)号：CN109164274A
公开(公告)日：2019-01-08
申请号：CN201811275837.1
申请日：2018-10-30
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本发明涉及惯性测量技术领域，尤其是涉及一种热膨胀式流体二维加速度计及其加工方法。该热膨胀式流体二维加速度计采用方形结构的检测层、悬置金属电阻桥加热丝和金属电阻桥热敏丝，上密封层与下密封层组成密闭腔体，并配合相应的检测和处理信号电路，可实现二维加速度的同时检测。该结构在X轴和Y轴方向分别放置两根金属电阻桥加热丝，在每根金属电阻桥加热丝两侧的两根金属电阻桥热敏丝，可实现加速度值的准确测量。另外，该加速度计具有结构简单，制作和装配方便，成本低，功耗低，抗冲击能力强，寿命长的特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104777330B
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201410014008.3
申请日：2014-01-14
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P15/09
Abstract: 本发明单岛多电极石英加速度计属于利用多电极石英力敏谐振器为敏感核心元件进行线加速度测量的领域。这种加速度计将加速运动时所产生的惯性力作用到多电极石英力敏谐振器，通过检测谐振器谐振频率的变化量得到对应的待测加速度。这种加速度计由底座、外壳、电路板、敏感元件及航空插座组成。底座与外壳构成密闭腔体，敏感元件安装在底座上，电路板安装在敏感元件上，插座安装在外壳上。敏感元件的单岛基座和密封罩紧密配合构成密封腔体，腔体内中央单岛的两则安装多电极石英力敏谐振器，单岛基座及中央单岛由一体加工而成，单岛基座上装有限位螺钉。该加速度计测量范围为10‑4g～102g，可用于飞行器、车辆、舰船等的检测控制系统。
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公开(公告)号：CN105066978B
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201510415599.X
申请日：2015-07-16
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/56
Abstract: 本申请公开了一种微型单循环气流式平面双轴PET角速度传感器，该传感器包括单循环气流式平面双轴角速度芯片、PCB电路板、底座、外壳、缓冲硅胶片和引线，其中单循环气流式平面双轴角速度芯片包括PET盖板、硅板和PET底座；PET盖板上设置有气流回路；硅板上设置有两对双自由度敏感热线；PET底座上设置有压电陶瓷振子和气流回路。本申请的气流式角速度传感器能抗高过载、耐强冲击；制作成本仅为全硅结构的1/10；能同时测量敏感轴平行于角速度芯片表面的两个正交方向的角速度，两个方向角速度信号的灵敏度一致性好，便于角速度信号的采集和控制，实用性强。
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公开(公告)号：CN104949668B
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201510346229.5
申请日：2015-06-19
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本申请公开了一种微型三自由度单循环式PMMA气流陀螺，该气流陀螺包括敏感元件和PCB电路板，敏感元件和PCB电路板电连接，敏感元件包括PMMA盖板、硅板和PMMA底座；其中，PMMA盖板上设置有气流回路；硅板上设置有三自由度敏感热线；PMMA底座上设置有压电陶瓷振子和气流回路；PMMA盖板、硅板和PMMA底座依次连接构成敏感元件。本申请的气流陀螺以气体作为敏感质量，抗高过载、耐强冲击；制作成本低，仅为全硅结构的1/10；采用密闭空间内的单循环气流作为角速度气流敏感体，陀螺的稳定性好，陀螺灵敏度较大；实现了三个方向较高灵敏度的角速度测量；敏感三个方向角速度的循环气流敏感体由一个压电陶瓷振子驱动，结构简单，使用寿命长。
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公开(公告)号：CN106052669A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201610403264.0
申请日：2016-06-08
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
CPC classification number: G01C19/58
Abstract: 本申请公开了一种微型高精度双泵双轴循环射流陀螺，其包括敏感X轴和Z轴角速度的射流陀螺芯片、底座和外壳；所述射流陀螺芯片包括PCB电路板、PET基板、硅板和PET盖板；PCB电路板上设置有电源电路；PET基板上刻蚀有敏感室和储气槽；硅板上设置有敏感X轴和Z轴方向的两对敏感热敏丝、喷嘴和射流循环通道；PET盖板上设置有两个压电振子、储气槽和用于安装压电振子的台阶；PCB电路板、PET基板、硅板和PET盖板依次粘结构成所述射流陀螺芯片。本申请的射流陀螺以气体作为敏感质量，抗高过载、耐强冲击；制作成本低、实用性强；采用密闭空间内的循环气流作为角速度气流敏感体，陀螺的稳定性好，灵敏度较大，抗干扰能力强；结构简单，使用寿命长。
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公开(公告)号：CN105091876A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201510385582.4
申请日：2015-06-30
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本申请公开了一种微型四通道循环流式三轴硅射流陀螺，该射流陀螺包括四通道循环流式三轴角速度敏感元件和PCB电路板，敏感元件和PCB电路板电连接，其中，敏感元件包括PMMA上盖、上硅板、下硅板、PMMA底盖和压电陶瓷圆振子；压电陶瓷圆振子嵌入PMMA上盖上；上硅板上设置有射流网络；下硅板上设置有射流网络和热线；PMMA上盖、上硅板、下硅板和PMMA底盖依次粘接构成所述敏感元件。本申请的射流陀螺用一个压电陶瓷圆振子驱动四通道循环流，不仅结构简单，寿命长，功耗低，实现了压电陶瓷圆振子变形方向和射流网络平面的转向，压电陶瓷圆振子的面积大，驱动能力强，射流速度大，射流陀螺的灵敏度高；能同时敏感三个正交方向角速度，多轴一体。
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