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公开(公告)号:CN106052669B
公开(公告)日:2019-04-16
申请号:CN201610403264.0
申请日:2016-06-08
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本申请公开了一种微型双泵双轴循环射流陀螺,其包括敏感X轴和Z轴角速度的射流陀螺芯片、底座和外壳;所述射流陀螺芯片包括PCB电路板、PET基板、硅板和PET盖板;PCB电路板上设置有电源电路;PET基板上刻蚀有敏感室和储气槽;硅板上设置有敏感X轴和Z轴方向的两对敏感热敏丝、喷嘴和射流循环通道;PET盖板上设置有两个压电振子、储气槽和用于安装压电振子的台阶;PCB电路板、PET基板、硅板和PET盖板依次粘结构成所述射流陀螺芯片。本申请的射流陀螺以气体作为敏感质量,抗高过载、耐强冲击;制作成本低、实用性强;采用密闭空间内的循环气流作为角速度气流敏感体,陀螺的稳定性好,灵敏度较大,抗干扰能力强;结构简单,使用寿命长。
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公开(公告)号:CN106052669A
公开(公告)日:2016-10-26
申请号:CN201610403264.0
申请日:2016-06-08
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
CPC classification number: G01C19/58
Abstract: 本申请公开了一种微型高精度双泵双轴循环射流陀螺,其包括敏感X轴和Z轴角速度的射流陀螺芯片、底座和外壳;所述射流陀螺芯片包括PCB电路板、PET基板、硅板和PET盖板;PCB电路板上设置有电源电路;PET基板上刻蚀有敏感室和储气槽;硅板上设置有敏感X轴和Z轴方向的两对敏感热敏丝、喷嘴和射流循环通道;PET盖板上设置有两个压电振子、储气槽和用于安装压电振子的台阶;PCB电路板、PET基板、硅板和PET盖板依次粘结构成所述射流陀螺芯片。本申请的射流陀螺以气体作为敏感质量,抗高过载、耐强冲击;制作成本低、实用性强;采用密闭空间内的循环气流作为角速度气流敏感体,陀螺的稳定性好,灵敏度较大,抗干扰能力强;结构简单,使用寿命长。
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