公开(公告)号：CN104276822A

公开(公告)日：2015-01-14

申请号：CN201410333817.0

申请日：2014-07-14

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 村上俊介 ,  松田坚义 ,  大志万香菜子 ,  林润平 ,  渡边隆之 ,  田中秀典 ,  斋藤宏

IPC: C04B35/49 ,  H01L41/187

CPC classification number: H01L41/183 ,  B06B1/0644 ,  B41J2/14209 ,  B41J2/14233 ,  B41J2002/14217 ,  B41J2002/14258 ,  B41J2202/03 ,  C04B35/4682 ,  C04B2235/3203 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/3409 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/785 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/79 ,  H01L41/0471 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/083 ,  H01L41/09 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1871 ,  H02N2/106 ,  H02N2/163 ,  C04B35/49 ,  C04B2235/3215

Abstract: 本发明涉及压电材料、压电元件和电子设备。提供一种在装置驱动温度范围(-30℃至50℃)内具有令人满意的压电常数和机械品质因数的无铅压电材料。所述压电材料包括含有式1所示钙钛矿型金属氧化物的主成分，由Mn组成的第一副成分，和由Bi或Bi和Li组成的第二副成分。基于100重量份金属氧化物，以金属计，Mn的含量为0.040重量份至0.500重量份。基于100重量份金属氧化物，以金属计，Bi的含量为0.042重量份至0.850重量份，和Li的含量为0.028重量份以下(包括0重量份)，(Ba1-xCax)a(Ti1-yZry)O3(1)，其中，0.030≤x

公开(公告)号：CN103326613A

公开(公告)日：2013-09-25

申请号：CN201310090979.1

申请日：2013-03-21

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 大桥海史 ,  浦上俊史 ,  伊福俊博 ,  清水康志 ,  古田达雄 ,  松田坚义 ,  久保田纯 ,  林润平

IPC: H02N2/00 ,  G02B27/00

Abstract: 本发明公开了振动装置、具有振动装置的驱动装置和光学设备。一种振动装置包括：包含具有少于1000ppm的铅含量的压电材料并具有具有电极的电气机械能量转换元件的振动体；和向电气机械能量转换元件施加至少两个驱动电压并通过向振动体提供时间相位差并产生具有相互不同的次数的多个稳定波产生组合振动的控制单元，其中，控制单元改变至少两个驱动电压的电压振幅比和时间相位差中的至少一个，以改变组合振动的振幅分布。

公开(公告)号：CN102214788A

公开(公告)日：2011-10-12

申请号：CN201110148637.1

申请日：2008-03-05

Applicant: 佳能株式会社 ,  国立大学法人东京工业大学

Inventor： 林润平 ,  松田坚义 ,  福井哲朗 ,  舟洼浩

IPC: H01L41/187 ,  H01L41/09

CPC classification number: H01L41/0973 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/319

Abstract: 本发明公开了外延膜，其包括：加热Si衬底，在该衬底的表面上设置有具有1.0nm～10nm膜厚的SiO2层；和通过使用由以下组成式(1)表示的金属靶在该SiO2层上形成由以下组成式(2)表示的外延膜：yA(1-y)B (1)，其中A为选自由包括Y和Sc的稀土元素组成的组的一种或多种元素，B为Zr，且y为0.03～0.20的数值，xA2O3-(1-x)BO2 (2)，其中A和B为分别与组成式(1)的A和B相同的元素，且x为0.010～0.035的数值。

公开(公告)号：CN101258620B

公开(公告)日：2010-06-09

申请号：CN200680032356.7

申请日：2006-09-05

Applicant: 佳能株式会社 ,  国立大学法人东京工业大学

Inventor： 伊福俊博 ,  青木活水 ,  松田坚义 ,  舟窪浩 ,  横山信太郎 ,  金容宽 ,  中木宽 ,  碇山理究

IPC: H01L41/187 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/16 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H01L41/22 ,  H02N2/00

CPC classification number: B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1634 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1645 ,  B41J2/1646 ,  B41J2202/03 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/1875 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/316

Abstract: 本发明提供了一种压电膜、一种压电膜元件、一种使用该压电膜元件的液体排出头和一种液体排出装置。通过使用由根据通式ABO3构成的钙钛矿复合氧化物所组成的外延氧化物膜作为压电膜而得到压电膜元件，该压电膜元件可适用于液体排出头的排出压力生成元件。该外延氧化物膜至少具有相对于彼此具有晶向偏离的A晶畴和B晶畴。A晶畴和B晶畴之间的晶向偏离小于2°。

公开(公告)号：CN100495753C

公开(公告)日：2009-06-03

申请号：CN200610126135.8

申请日：2006-08-23

Applicant: 佳能株式会社 ,  国立大学法人东京工业大学

Inventor： 松田坚义 ,  青木活水 ,  伊福俊博 ,  武田宪一 ,  福井哲朗 ,  舟洼浩 ,  横山信太郎

IPC: H01L41/187 ,  C04B35/472 ,  C04B35/499 ,  B41J2/045 ,  B41J2/14 ,  C30B25/06

Abstract: 由ABO3表示的单晶结构或单一取向晶体结构的钙钛矿型氧化物，其中A位包括Pb作为主要组分、B位包括多种元素，该钙钛矿型氧化物包括多种选自四方晶系、六方晶系、斜方晶系、立方晶系、准立方晶系(pseudo cubic)和单斜晶系的晶相，多种晶相在 方向上取向。

公开(公告)号：CN1660579A

公开(公告)日：2005-08-31

申请号：CN200510052153.1

申请日：2005-02-25

Applicant: 佳能株式会社 ,  和佐清孝

Inventor： 松田坚义 ,  伊福俊博 ,  福井哲朗 ,  和佐清孝

IPC: B41J2/045 ,  B41J2/16 ,  B41J2/01

CPC classification number: H01G4/1227 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1634 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14258 ,  H01G4/10 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1875 ,  H01L41/316 ,  H01L41/319

Abstract: 提供一种依次设置了基板、下部电极层、电介质层和上部电极层的电介质元件，其特征在于：所述电介质层具有主成分为氧化物且位于上述下部电极层一侧的第一电介质层和主成分为氧化物且位于上述上部电极层一侧的第二电介质层，所述第二电介质层比所述第一电介质层厚，在所述第一电介质层的25℃的相对介电常数为ε1、所述第二电介质层的25℃的相对介电常数为ε2时，满足下述的式(1)ε1/ε2≥0.9 ……(1)。

公开(公告)号：CN1338377A

公开(公告)日：2002-03-06

申请号：CN01124891.2

申请日：2001-06-21

Applicant: 和佐清孝 ,  佳能株式会社

Inventor： 和佐清孝 ,  海野章 ,  福井哲朗 ,  松田坚义

IPC: B41J2/14 ,  B41J2/16 ,  H01L41/083 ,  H01L41/187

CPC classification number: B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14258 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/316 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49155

Abstract: 一种压电元件结构,包括一个支承衬底。和一个支承在所述支承衬底上压电腊,其中压电膜包含第一层、和具有锆的第二层,每一层具有钙钛矿结构,并且彼此接触形成或通过中间层层压,薄膜形成时的温度为500℃或更高以提供所述压电膜,为了形成薄膜,以30℃/min或更快的冷却速度从薄膜形成温度到至少450℃快速冷却。与现有压电膜相比,如此形成的压电膜厚度小,而且表现出很大的压电常数,从而能够可靠地执行其有效微处理。

公开(公告)号：CN114123847B

公开(公告)日：2024-08-06

申请号：CN202111338028.2

申请日：2017-12-21

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 古田达雄 ,  渡边隆之 ,  上田未纪 ,  小山信也 ,  久保田纯 ,  松田坚义 ,  上林彰 ,  林润平 ,  西谷仁志

IPC: H02N2/00

Abstract: 本发明公开了一种由非铅基压电材料制成的振动器，其能够以低功耗在足够的速度下被驱动，尤其用于振动波电机，所述振动器包括：压电元件(101)，所述压电元件包括具有电极(1、2)的压电材料(3)；以及弹性体(5)，其中，在所述压电材料中包含的Pb组分小于1000ppm，并且振动模式A和B具有谐振频率fA和fB，其在所述弹性体中产生波前彼此相交的振动波，满足|fB‑fA|>2kHz，优选地(Ba,Ca)(Ti,Zr)O3基的矩形振动器具有两种具有垂直节线的面外弯曲模式。

公开(公告)号：CN113526952A

公开(公告)日：2021-10-22

申请号：CN202110413349.8

申请日：2021-04-16

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 古田达雄 ,  松田坚义 ,  薮田久人 ,  上林彰

IPC: C04B35/49 ,  C04B35/468 ,  C04B35/64 ,  H01L41/29 ,  H01L41/43 ,  H01L41/187 ,  H02N2/12 ,  B08B7/02 ,  G01N29/24

Abstract: 本发明涉及压电陶瓷及其制造方法。提供了压电陶瓷的制造方法、压电陶瓷、压电元件、超声波马达、光学装置、除尘设备、摄像装置、超声波探头、超声波诊断装置和电子装置。提供了不含铅的压电陶瓷及该压电陶瓷的制造方法，该压电陶瓷在工作温度范围内压电常数的温度依赖性低、密度高、机械品质因数高、具有令人满意的压电常数且表面粗糙度小。该压电陶瓷的制造方法的特征在于，包括以1000℃或更高温度对含原材料的成型体进行烧结以获得烧结体；对烧结体进行研磨；以及以800℃或更高且低于1000℃的温度对研磨烧结体进行退火。

公开(公告)号：CN107755365B

公开(公告)日：2021-06-22

申请号：CN201710967760.3

申请日：2013-03-07

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 松田坚义 ,  古田达雄 ,  清水康志 ,  小山信也 ,  上林彰 ,  斋藤宏 ,  久保田纯 ,  明石健一 ,  林润平

IPC: B08B7/02 ,  B41J2/14 ,  C04B35/468 ,  C04B35/49 ,  C04B35/626 ,  H01L41/083 ,  H01L41/09 ,  H01L41/187 ,  H02N2/10 ,  H02N2/16

Abstract: 本发明提供压电材料、压电元件和电子装置。本发明提供了一种在宽的操作温度范围中具有高压电常数和高机械品质因数的无铅压电材料。该压电材料包括由通式(1)表达的钙钛矿型金属氧化物作为主要成分：(Ba1‑xCax)a(Ti1‑yZry)O3(1.00≤a≤1.01、0.125≤x