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公开(公告)号：CN111489947B
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202010320989.X
申请日：2020-04-22
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: H01J37/073 , H01J1/304
Abstract: 本发明涉及一种小型荷电控制电子枪。该电子枪包括：阴极、栅极、阳极、阴极输出电极和栅极输出电极；所述阴极固定在所述栅极上方，所述阴极与所述栅极之间相互绝缘；所述栅极固定在所述阳极上方，所述栅极与所述阳极之间相互绝缘；所述阴极上连接所述阴极输出电极，所述栅极上连接所述栅极输出电极，所述阴极输出电极和所述栅极输出电极均与外接电源装置连接，所述阳极接地；通过调节所述外接电源装置的电压对所述电子枪产生的电子束的质量进行调节；所述电子枪的直径不大于20mm，所述电子枪的高度不大于21mm。本发明可以实现电子束的控制调节，且体积小，不占用空间。
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公开(公告)号：CN115206756A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202210842745.7
申请日：2022-07-18
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: H01J37/244
Abstract: 本发明涉及多束电子束束斑测量技术领域，提供了一种多束电子束束斑的测量装置及方法，该装置包括真空腔室以及形成于真空腔室内的多束电子束，至少包括：刀口件，可移动的设置在真空腔室内，且位于多束电子束的照射路径上，刀口件上具有适于电子束通过的刀口，刀口件能够在移动过程中对多束电子束中的至少部分电子束进行遮挡；电子束收集结构，位于真空腔室内，且位于刀口件的下游，适于收集从刀口射出的电子束，并将其转化为电信号；数据处理模块，与电子束收集结构信号连接，适于接收电信号，并根据电信号获取各个电子束的束斑分布与束斑大小。该测量装置，可以获取各个电子束的束斑分布与束斑大小，满足观察和测量的需求。
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公开(公告)号：CN115166810A
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202210786535.0
申请日：2022-07-04
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: G01T1/29
Abstract: 本发明涉及电子束测量技术领域，具体涉及一种电子束参数测量装置及电子束参数测量方法。一种电子束参数测量装置，包括：微器件阵列结构多层板，所述多层板上设有多个阵列分布的法拉第杯组件，每个所述法拉第杯组件包括同轴设置的至少两个法拉第杯，至少两个所述法拉第杯贯通设置，电子束经上层所述法拉第杯射入下层所述法拉第杯中，获取每层所述法拉第杯的电子束束流大小，以得到所述电子束的相应参数。本发明提供了一种可快速测量的电子束参数测量装置及电子束参数测量方法。
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公开(公告)号：CN114063139A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202111393838.8
申请日：2021-11-23
Applicant: 中国科学院电工研究所
Abstract: 本发明公开了一种数字多道脉冲幅度分析装置，分别包括：信号调理模块、数模转换芯片、FPGA数字处理模块、存储器、多核DSP芯片、电源模块、时钟模块和显示模块。将现有技术中前置放大器和数模转换芯片采样之间的模拟电路的脉冲处理功能使用FPGA数字处理模块和多核DSP芯片实现，通过第一预设算法、第二预设算法处理。该第一预设算法以及第二预设算法的具体过程是前置放大器输出的信号经过简单的主放大电路之后直接被数模转换芯片采样，然后在多核DSP芯片中实现阈值定位、脉冲计数或堆积判别、峰值提取、脉冲计数，进而可以使得本发明实施例中的数字多道脉冲幅度分析装置体积较小，结构简单，方便调试修改参数。
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公开(公告)号：CN111308542B
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：CN202010127806.2
申请日：2020-02-28
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: G01T1/29
Abstract: 本发明公开了一种电子枪束斑性能的测量装置及测量方法，测量装置包括荷电控制电子枪、精密位移台、法拉第杯、皮安表、计算机。基于法拉第杯小孔扫描进行测量，获得束斑直径大小、束斑分布特性图、电子束发散角等电子束束斑性能的重要参数，以实现对电子束束斑全面、准确、深入地分析，进而能够准确判断电子枪产生的电子束是否满足使用要求，并对电子枪的结构设计优化和安装调试起到指导作用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109085197B
公开(公告)日：2021-07-13
申请号：CN201810714764.5
申请日：2018-06-29
Applicant: 中国科学院电工研究所
Abstract: 本发明公开了一种热反射测量系统，通过光路调整测量装置产生的第一激光束即探测光和第二激光束即加热光均通过近场探测装置，通过近场探测装置可以突破远场衍射极限，大大提高分辨率，由于分辨率会受近场探测装置与待测样品之间的距离影响，因此，采用距离控制装置检测并调整所述近场探测装置与所述待测样品的之间距离可以较好的保证近场探测装置进行近场探测。因此，第一激光束即探测光和第二激光束即加热光均通过近场探测装置，并通过距离控制装置控制近场探测装置与待测样品之间的距离，可以较大幅度的提高热反射测量的空间分辨率。
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公开(公告)号：CN109211101A
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201811181722.6
申请日：2018-10-11
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: G01B7/312
Abstract: 本发明公开了一种电子束对中检测管以及电子束对中检测装置。电子束对中检测管，包括：绝缘件、输出电极以及检测感应片；绝缘件与输出电极采用钎焊方式焊接在一起；多个检测感应片围成一个中空结构；绝缘件包裹于所述中空结构的上部；中空结构置于电子束管内；输出电极与检测感应片一一对应；输出电极沿着绝缘件的内壁穿出，与外部的电信号检测装置相连接；电子束管内的电子束与感应片相接触时产生电信号，电信号通过输出电极传输至电信号检测装置，若电信号检测装置接收到电信号时，则电子束未处于合轴状态，对电子束进行对中校正调试。采用本发明所提供的电子束对中检测管以及电子束对中检测装置能够降低电子束对中校正调试难度，缩短调试时间。
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公开(公告)号：CN109085197A
公开(公告)日：2018-12-25
申请号：CN201810714764.5
申请日：2018-06-29
Applicant: 中国科学院电工研究所
Abstract: 本发明公开了一种热反射测量系统，通过光路调整测量装置产生的第一激光束即探测光和第二激光束即加热光均通过近场探测装置，通过近场探测装置可以突破远场衍射极限，大大提高分辨率，由于分辨率会受近场探测装置与待测样品之间的距离影响，因此，采用距离控制装置检测并调整所述近场探测装置与所述待测样品的之间距离可以较好的保证近场探测装置进行近场探测。因此，第一激光束即探测光和第二激光束即加热光均通过近场探测装置，并通过距离控制装置控制近场探测装置与待测样品之间的距离，可以较大幅度的提高热反射测量的空间分辨率。
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公开(公告)号：CN102297839B
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201110131656.3
申请日：2011-05-20
Applicant: 中国科学院电工研究所
Abstract: 一种用于吸收光谱测定的气体吸收池。该气体吸收池包括池体(1)、两个平面反射镜和气室。所述的气室位于两个平面反射镜之间，以多次反射光传输路径为主轴。池体(1)上覆盖平面盖板(4)。所述的气体吸收池的气室的内壁开有多个光学窗口，所述的光学窗口由两个平面反射镜暴露于气体样品的光反射表面所形成。所述的气体吸收池的气室包括一个样品流入口和一个样品流出口。光束在两个所述的平面反射镜之间的区域实现一次以上次数的反射传输，气体样品沿多次反射光传输路径流动。
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公开(公告)号：CN102162811A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN201010112345.8
申请日：2010-02-23
Applicant: 中国科学院电工研究所 , 无锡市凯龙汽车设备制造有限公司
IPC: G01N33/00
Abstract: 本发明提供一种柴油机氮氧化合物排放检测传感器的标定装置及标定方法。所述标定装置包括混合室、真空泵、中和瓶、标准气体供气源。混合室通过输气管路分别与真空泵及中和瓶相连。在连接混合室与真空泵的输气管路上设有第一阀门，在连接混合室与中和瓶的输气管路上设有第二阀门。混合室的进气口通过输气管路与氮氧化合物含量或浓度已知的标准气体供气源的出气口连接。连接混合室的进气口与标准气体供气源的出气口的输气管路上设有第三阀门。混合室还具有用于连接柴油机氮氧化合物排放检测传感器以进行标定的检测口。本发明的标定装置及标定方法能够方便地对柴油机氮氧化合物排放检测传感器进行标定。
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