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公开(公告)号：CN111135887A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN202010052216.8
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
Abstract: 本发明提供一种光波导微流体芯片，包括：光波导和微流道，所述光波导用以将光沿水平方向导入所述微流道内：还包括：依次由下而上设置的衬底、下包层、波导层和上包层，所述波导层是氮化硅材料，所述波导层用以形成所述光波导；所述微流道由上而下贯穿所述上包层、所述波导层和所述下包层延伸进所述衬底；所述下包层是厚度为2～3μm的二氧化硅，所述上包层是厚度为15～30μm的高分子聚合材料，所述微流道延伸进所述衬底10～15μm，所述微流道宽度为10-100μm。具有有益效果：生产芯片级光学检测系统，把传统的台式甚至大型的光学系统缩小到芯片尺寸，保证同等甚至更出色的分析性能，实现微纳尺度下的生物样品的高通量芯片级光学检测和分析集成系统，大幅度降低系统成本。
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公开(公告)号：CN111135886A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN202010052046.3
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
Abstract: 本发明提供一种光波导微流体芯片，包括：光波导和微流道，光波导用以将光沿水平方向导入微流道内，还包括：依次由下而上设置的下包层、波导层和上包层，波导层是氮化硅材料，波导层用以形成光波导；微流道由上而下贯穿上包层和波导层延伸进下包层；下包层和上包层均是厚度为15～30μm的高分子聚合材料，微流道不贯穿下包层、宽度为10-100μm。具有有益效果：在柔性基底上沉积光学性能可调的氮化硅薄膜，扩展以氮化硅为光学器件材料应用的范围和形式，生产芯片级光学检测系统，把传统的台式甚至大型的光学系统缩小到芯片尺寸，保证同等甚至更出色的分析性能，实现微纳尺度下的生物样品的高通量芯片级光学检测和分析集成系统，大幅度降低系统成本。
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公开(公告)号：CN110669660A
公开(公告)日：2020-01-10
申请号：CN201910996484.2
申请日：2019-10-19
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
IPC: C12M1/36 , C12M1/40 , C12M1/34 , G01N33/487
Abstract: 本发明提供一种基于运动蛋白的基因转运速度控制装置的制造方法，包括步骤：i)、形成具有多聚阴离子尾的运动蛋白；ii)、提供纳米孔装置，包括壳体、流体腔密封层、柔性基底纳米孔结构、流体腔基座；柔性基底纳米孔结构包括金属层，以缩小纳米孔尺寸至1～100nm；运动蛋白稳定于纳米孔中；运动蛋白通过金属-硫键锚定于纳米孔中，以使待检测基因链通过纳米孔的转运速度至少慢于0.1ms每碱基对。本发明使用点击化学方法将运动蛋白锚定在纳米孔中，以使待检测基因链通过纳米孔的转运速度至少慢于0.1ms/每碱基对，再调整温度与pH可以有效地控制基因链的转运速度，可将待检测基因链通过纳米孔51的转运速度进一步降低至数十甚至数百毫秒量级，从而提高光谱检测的灵敏度。
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公开(公告)号：CN116413859A
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN202111663619.7
申请日：2021-12-31
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
IPC: G02B6/27
Abstract: 本申请提供一种光学相控阵系统及其控制方法，该光学相控阵系统包括：输入波导；分束器；输出波导阵列，其传输该分束器输出的多个光束，该输出波导阵列包括多个输出波导；移相器阵列，其包括多个移相器，各移相器与至少一个输出波导对应设置，用于调整该至少一个输出波导传播的光束的相位；光发射天线阵列，其包括多个光发射天线，各光发射天线与各个输出波导对应设置，用于接收从该输出波导输出的光并进行发射；至少一个第一光耦合器，各第一光耦合器与至少两个光发射天线耦合；至少一个光检测器，其至少检测从各第一光耦合器输出的光；以及控制器，其根据该光检测器的检测结果，对至少一个该移相器的移相处理进行控制。
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公开(公告)号：CN111229339B
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202010053711.0
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
Abstract: 本发明提供一种光栅波导微流体芯片的制造方法，包括提供衬底，在衬底上形成牺牲层，形成下包层；形成波导层；形成光栅波导，包括出射光栅；在波导层上形成保护层，用于覆盖光栅波导并保护出射光栅；在保护层上形成上包层；形成微流道，贯穿上包层以暴露出保护层；出射光栅位于微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入微流道内；去除牺牲层。具有有益效果：在柔性基底上沉积光学性能可调的氮化硅薄膜，扩展SiN光学器件材料的应用范围和形式，将传统光学系统通过集成光学或片上光学器件来实现，把传统的台式大型的光学系统缩小到芯片尺寸，保证出色的分析性能，实现微纳尺度下的生物样品的高通量芯片级光学检测和分析集成系统，大幅度降低系统成本。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111229338B
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202010053316.2
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
Abstract: 本发明提供一种基于CMOS图像传感的光波导微流体芯片的制造方法，包括。具有有益效果：在CMOS图像传感层和高分子聚合材料上低温沉积光学性能可调的氮化硅光波导，不破坏CMOS图像传感层，减少了实验中对收集光路调整等准备工作，提高了实验效率；提高了检测系统的便携性，大大增加了系统的应用场景。
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公开(公告)号：CN111229342A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN202010054306.0
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
Abstract: 本发明提供一种CMOS图像传感的光栅波导多微流道芯片的制造方法，包括提供CMOS图像传感层；在25-150℃沉积温度下形成氮化硅材料的波导层；形成光栅波导组，包括光栅波导及出射光栅；形成第一数量的微流道，光栅波导组与微流道对应组成第一数量的微流体，形成微流体组；出射光栅位于微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入所述微流道内。具有有益效果：形成光栅波导与多微流道一体化矩阵的结构，通过多微流体通道和大规模矩阵化的光栅波导来实现比传统光学系统更高通量的分析性能，快速构建高通量生物样品的芯片级的片上光学检测分析系统，实现微纳尺度下的生物检测的高通量芯片；减少实验中对收集光路调整等准备工作，提高检测系统的便携性。
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公开(公告)号：CN111229335A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN202010052131.X
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
IPC: B01L3/00
Abstract: 本发明提供一种光波导微流体芯片的制造方法，包括提供衬底，在衬底上形成牺牲层，在牺牲层上形成下包层；在下包层上形成波导层，波导层是氮化硅材料；以波导层形成光波导；在波导层上形成上包层；形成微流道，微流道由上而下贯穿上包层和波导层延伸进下包层；去除牺牲层，以将上包层、波导层和下包层与衬底剥离。具有有益效果：在柔性基底上沉积光学性能可调的氮化硅薄膜，扩展以氮化硅为光学器件材料应用的范围和形式，生产芯片级光学检测系统，把传统的台式甚至大型的光学系统缩小到芯片尺寸，保证同等甚至更出色的分析性能，实现微纳尺度下的生物样品的高通量芯片级光学检测和分析集成系统，大幅度降低系统成本。
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公开(公告)号：CN111157734A
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN202010055437.0
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
IPC: G01N33/574 , G01N21/64 , G01N21/27 , B01L3/00
Abstract: 本发明提供一种基于CMOS图像传感的光栅波导微流体检测系统，包括：微流体芯片、CMOS图像传感层和分析装置；微流体芯片包括：光栅波导和微流道，光栅波导包括出射光栅，出射光栅位于微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入微流道内；还包括：依次由下而上设置的下包层、波导层、保护层、上包层和流道盖板，波导层是在25-150℃沉积温度下形成的氮化硅材料，波导层用以形成光栅波导；微流道贯穿上包层以暴露出保护层。具有有益效果：在CMOS图像传感层和高分子聚合材料上低温沉积光学性能可调的氮化硅光波导，不破坏CMOS图像传感层，减少了实验中对收集光路调整等准备工作，提高了实验效率；提高了检测系统的便携性，大大增加了系统的应用场景。
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公开(公告)号：CN111157726A
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN202010052172.9
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
IPC: G01N33/574 , G01N21/64 , G01N21/25 , B01L3/00
Abstract: 本发明提供一种光波导微流体检测系统，包括光波导，微流道，光谱收集装置和分析装置；光波导用以将光沿水平方向导入微流道内；微流体芯片还包括：依次由下而上设置的下包层、波导层、上包层和流道盖板，波导层是氮化硅材料，波导层用以形成光波导；微流道由上而下贯穿上包层和波导层延伸进下包层；微流道不贯穿下包层、宽度为10-100μm。具有有益效果：在柔性基底上沉积光学性能可调的氮化硅薄膜，扩展以氮化硅为光学器件材料应用的范围和形式，生产芯片级光学检测系统，把传统的台式甚至大型的光学系统缩小到芯片尺寸，保证同等甚至更出色的分析性能，实现微纳尺度下的生物样品的高通量芯片级光学检测和分析集成系统，大幅度降低系统成本。
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