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公开(公告)号：CN107063477B
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201710155971.7
申请日：2017-03-16
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01J9/02
Abstract: 一种光栅横向剪切干涉大数值孔径波前重建方法，该方法利用的光栅横向剪切干涉仪包括剪切光栅，二维光电探测器；该方法采用光学追迹法获得光栅横向剪切干涉仪在二维光电探测器探测面各个像素的剪切量；将每个像素的剪切量带入表示差分波前的差分多项式，采用最小二乘矩阵系数拟合方法求解待测波前的基函数系数，最后拟合待测波前。本发明解决了光栅横向剪切干涉仪大数值孔径波前检测时剪切量变化引入的重建误差问题，实现简单，精度高。
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公开(公告)号：CN109612690A
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201811299560.6
申请日：2018-11-02
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种感光芯片不同入射角响应度的测量装置及测量方法，测量装置包括准直激光器、光衰减器、带感光芯片相机、旋转位移台。采用上述测量装置测量待测感光芯片不同入射角的响应度。本发明具有结构简单，易实现的特点，能快速有效的测量感光芯片在接收来自不同方向不同入射角的光束的响应度。
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公开(公告)号：CN107036529A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201710312393.3
申请日：2017-05-05
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01B9/02011
Abstract: 一种偏振同步相移干涉仪，包括偏振干涉仪和同步相移模块；同步相移模块包括非偏振分束器，第一检偏器阵列，第二检偏器阵列或检偏器，第一光电探测器阵列和第二光电探测器阵列。本发明采用2个光电探测器阵列实现3个以上相移量干涉图的同步探测，具有光电探测器阵列坐标关系标定难度低，光路简单，检偏器阵列复杂性降低，检测空间分辨率高的优点。
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公开(公告)号：CN118758170A
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202410786005.5
申请日：2024-06-18
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B9/02001 , G01B9/02015 , G01B9/02055 , G01B11/24
Abstract: 一种点衍射干涉面形检测装置及检测方法，装置包括光源、分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、理想波前产生单元、分束镜、被测镜、掩模板、精密调节台、探测器、数据处理单元组成。本发明具有干涉对比度可调节、不需要标准镜、可测量任意反射率透镜、相移单元在成像光路之外、可标定系统误差实现高精度测量的优点。
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公开(公告)号：CN112013972B
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN201910450984.6
申请日：2019-05-28
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01J9/02
Abstract: 本发明涉及一种横向剪切干涉波前传感器的剪切量标定装置及方法。该标定装置包括准直光源、带有已知底角度数的多边形相位台阶标定板，以及待标定的横向剪切干涉波前传感器。该标定方法利用差分波前的提取算法，从待标定传感器所采集到的干涉图提取沿剪切方向的差分波前信息，并结合差分波前的几何特征分布，计算出剪切量的大小，从而实现对波前传感器剪切量的标定。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113340212A
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202110529251.9
申请日：2021-05-14
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海精测半导体技术有限公司
Abstract: 基于双侧干涉仪的形貌与厚度检测装置，通过在一侧干涉仪光路中加入相干性抑制单元，使得对侧干涉仪的输出光与本侧干涉仪的测量光、参考光不相干，不能发生干涉；或对侧干涉仪输出光与本侧干涉仪测量光、参考光等效不发生干涉，仅产生背景直流量，不影响干涉相位的提取。本发明不改变双侧干涉仪系统的光路结构，有效利用了光学系统的数值孔径，简化了系统工作流程，具有测量精度与效率高，分光方式灵活等优点。
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公开(公告)号：CN112965099A
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN202110184543.3
申请日：2021-02-10
Applicant: 上海市农业科学院 , 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海束能辐照技术有限公司
IPC: G01T1/36
Abstract: 一种电子加速器能量测量方法，将所述的辐射变色计放置在电子加速器束流输出口，且所述的辐射变色计的长度方向沿束流方向；设置所述的电子加速器输出能量值，开启束流,在束流输出时间t后关闭束流；利用所述的变色长度测量单元测量所述的辐射变色计经加速器束流辐照后发生变色的变色区域长度L；计算束流能量E元。本发明可以在极短的时间内对辐射变色计能量进行测量，无需繁杂的计算过程，提高了电子加速器能量的测量精度，节省了测量时间，能够适用于需要方便携带且实现现场实时测量的工况。
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公开(公告)号：CN110132125A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201910300212.4
申请日：2019-04-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B9/02 , G01N21/95 , G01N21/958
Abstract: 一种光栅剪切干涉光学元件缺陷检测装置与检测方法，检测装置包括光纤、分束镜、第一准直透镜、被测样品组、光阑、第二准直透镜、光栅剪切干涉波前传感器和平移调节台。本发明具有能够测量光学元件反射或透射相位缺陷或者缺陷的相位信息，与干涉仪相比不需要参考光、系统结构简单的优点。
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公开(公告)号：CN109031686A
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201810895303.2
申请日：2018-08-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
CPC classification number: G02B27/48 , G02B26/0875
Abstract: 一种降低激光相干性的装置，包括激光器、运动执行机构、第一电机驱动器、第二电机驱动器、运动控制器、上位机、第一透镜、透镜固定座、散射体材料、电机、第二透镜、分光镜、双缝板、相机；上位机分别与所述的运动控制器、相机通信连接；所述的运动控制器的第一输出端与第一电机驱动器的输入端相连。本发明通过运动执行机构沿着激光器输出的准直光束传播方向进行直线运动，调节经过第一透镜形成的光斑宽度，控制光斑被旋转的散射体材料散射的程度大小，不仅降低了激光的相干性，并对部分相干光的相干度进行实时可调，使得部分相干光的相干度满足干涉测量、全息及投影等系统中对部分相干光的需求。
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公开(公告)号：CN108844454A
公开(公告)日：2018-11-20
申请号：CN201810663273.2
申请日：2018-06-25
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B9/02
Abstract: 一种干涉仪相移装置，包括气体密闭容器、第一光纤耦合器和第二光纤耦合器、连接在光纤耦合器上的第一光纤传输线和第二光纤传输线、气压控制模块或者温度控制模块，第一光纤耦合器和第二光纤耦合器相互准直。本发明利用改变容器内气体的气压或者温度从而改变气体折射率的方法在测量成像系统光路以外产生连续相移，消除了传统相移产生的系统误差，具有成本低、结构简单以及易组装操作的优点。
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