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公开(公告)号：CN111207844A
公开(公告)日：2020-05-29
申请号：CN202010054305.6
申请日：2020-01-17
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种双侧多重平面倾斜波面干涉仪，系统包括光源模块、第一干涉仪主机、第二干涉仪主机、双面标准平板、双面标准平板调整架、被测非透明平板元件、单点厚度测量传感器、控制处理单元；所述的第一干涉仪主机和第二干涉仪主机均为多重平面倾斜波面干涉仪，通过点源阵列发生器出射多个方向的平行测量光进行被测非透明平板元件的双侧形貌及厚度测量，本发明具有测量动态范围大、测量精度与效率高、相移方式灵活，系统误差可原位标定的特点。
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公开(公告)号：CN107990838B
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201711099311.8
申请日：2017-11-09
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种锥镜及柱面镜面形测量装置和测量方法，测量装置包括波面测量干涉仪、干涉仪支架、精密旋转台，和待测光学元件；所述的波面测量干涉仪输出准直光束，待测光学元件是锥镜或柱面镜，待测光学元件安装在精密旋转台上，其旋转对称轴与精密旋转台的旋转轴对齐；波面测量干涉仪出射光与待测光学元件的一条母线垂直，从而测得该母线的面形信息，通过精密旋转台扫描完成待测光学元件全表面测量。具有高精度、低成本、高通用性的特点。
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公开(公告)号：CN106680713B
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201710007848.0
申请日：2017-01-05
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01R31/34
摘要： 一种电机及其驱动器的选型比较测试及运动参数确定方法，使用的运动控制装置包括运动控制器、上位机、数据采集卡、加速度传感器、负载、运动执行机构。本发明通过选取在带有负载情况下，运动控制装置运行最平稳，台面振动小，运行声音小，无噪音的运动参数作为运动控制器及电机驱动器的运动参数，并通过比较振动加速度有效值之和，选取振动加速度有效值之和为最小的值作为电机与电机驱动器组合作为最佳组合。本发明的优点是在选定的运动控制器与电机驱动器的运动参数条件下，采用振动加速度有效值作为判断电机运动性能的参数标准，寻找到最佳的电机与电机驱动器组合。
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公开(公告)号：CN109029245A
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201810804999.3
申请日：2018-07-20
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01B9/02
摘要： 一种透射波前检测干涉仪，包括：光源单元、传输光纤、准直单元、第一转折镜、被测介质、第二转折镜、汇聚镜、波前检测单元和控制单元；该干涉仪采用光纤进行光路布局，具有结构简单，易于装调、抗干扰性强、信号强度可调等优点，并且，系统进行双波长测量扩展时，采用准直单元双色分光镜、干涉仪单元双色分光镜，能够方便、低成本的建立双波长透射波前检测系统。
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公开(公告)号：CN107238894A
公开(公告)日：2017-10-10
申请号：CN201710581881.4
申请日：2017-07-17
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G02B6/26
CPC分类号： G02B6/266
摘要： 一种光功率可调衰减装置，其特征在于构成包括上位机、运动控制器、电机驱动器、电机、电机卡座、挡光片、限位开关挡块、限位开关、限位开关固定座、入射光纤、光纤准直接头、光纤准直/耦合固定基座、光纤耦合接头、输出光纤。本发明优点是在改变光功率的衰减值时不用再进行光路的调整，结构设计简单，使用方便，不需要人工调整，调整精度高，制造成本低，使用了限位开关，使得该衰减装置在掉电启动后能够自行标定衰减器衰减值，保证了光功率可调衰减装置能够在真空环境及其他一些热敏感应用场合进行长时间的正常使用。
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公开(公告)号：CN107036529A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201710312393.3
申请日：2017-05-05
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02011
摘要： 一种偏振同步相移干涉仪，包括偏振干涉仪和同步相移模块；同步相移模块包括非偏振分束器，第一检偏器阵列，第二检偏器阵列或检偏器，第一光电探测器阵列和第二光电探测器阵列。本发明采用2个光电探测器阵列实现3个以上相移量干涉图的同步探测，具有光电探测器阵列坐标关系标定难度低，光路简单，检偏器阵列复杂性降低，检测空间分辨率高的优点。
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公开(公告)号：CN112964455B
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202110180217.5
申请日：2021-02-09
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01M11/02
摘要： 一种大数值孔径的物镜波像差测量装置及测量方法，测量装置包含波面测量模块、标准球面反射镜、可提供旋转和倾斜调整的旋转机构。待测物镜置于波面测量模块和标准球面反射镜中间，其光轴与波面测量模块光轴重合。将待测物镜全数值孔径范围内的波前划分为一系列子孔径波前，由旋转机构控制标准球面反射镜实现各子孔径的定位，由波面测量模块对子孔径数据进行测量，通过对子孔径数据进行拼接计算，最终得到待测物镜在全数值孔径范围内的波像差信息。同时，通过标定波面测量模块的系统误差，提高了拼接测量精度。本发明具有测量通用性好、测量装置简单、可测的待测物镜数值孔径可扩展的特点，尤其适用于数值孔径N.A为0.9及以上的物镜波像差测量。
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公开(公告)号：CN114812428A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202110085155.X
申请日：2021-01-21
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01B11/24
摘要： 一种平面面形子孔径拼接干涉测量装置与测量方法，测量装置包括：平面干涉仪，平面干涉仪支架，安装平台，XY二维运动拼接位移台，俯仰偏摆角二维调节台，偏摆角测量系统，俯仰角测量系统，被测平面光学元件；本发明在平面面形子孔径拼接干涉测量装置中加入了偏摆角测量系统和俯仰角测量系统，能够从原理上消除拼接累积误差，即拼接测量误差与拼接口径无关，不会随着拼接口径的增大而增大。
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公开(公告)号：CN105466668B
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201510982725.X
申请日：2015-12-24
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01M11/02
CPC分类号： G01J9/02 , G01J1/0437 , G01J2009/0223 , G01J2009/0226 , G01J2009/0261
摘要： 一种点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法之二,该测量仪由光源、分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、理想波前与点光源发生单元、物方精密调节台、被测光学系统、像方波前检测单元、像方精密调节台和数据处理单元组成。本发明测量仪在被测光学系统物面仅需要产生一路标准球面波输出，降低了系统复杂性，提高了光能利用率；该测量仪也降低了系统精密度要求及操作复杂性。
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公开(公告)号：CN107036710A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201710142748.9
申请日：2017-03-10
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01J1/42
CPC分类号： G01J1/4228
摘要： 一种采用多探测器的光场光强分布测量方法，该方法利用的系统包括光电传感单元、精密扫描台、信号处理与控制单元；采用的光电传感单元1包含2个以上的点探测器；精密扫描台带动光电传感单元扫描实现待测光场时，至少有一个参考探测器位于已检测位置，并通其光强检测值对传感探测器的光强检测值进行修正，消除光源光强波动对光强分布检测结果的影响。具有实现容易，结构简单，成本低的优点。
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