处理四氯化硅氢化副产物的方法

    公开(公告)号:CN102659115B

    公开(公告)日:2014-01-01

    申请号:CN201210119526.2

    申请日:2012-04-20

    CPC classification number: Y02P20/124

    Abstract: 本发明提供了处理四氯化硅氢化副产物的方法。该方法包括以下步骤:将四氯化硅氢化副产物供给到气固分离装置,以便进行气固分离以得到含有三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅、氢气的第一气体混合物和固体颗粒;以及将所述第一气体混合物与第二气体混合物在热交换装置中进行热交换,其中,所述第二气体混合物为四氯化硅和氢气的混合物。根据本发明实施例的用于处理四氯化硅氢化副产物的方法能耗低,成本低,热量回收率高。并且可以避免固体颗粒堵塞管道,提高固体物料利用率,从而保证管道和设备的正常运行。

    处理含有氯硅烷废液的方法和设备

    公开(公告)号:CN103408023A

    公开(公告)日:2013-11-27

    申请号:CN201310305939.4

    申请日:2013-07-19

    CPC classification number: Y02A20/141

    Abstract: 本发明提供了一种处理含有氯硅烷的废液的方法和设备。所述方法包括以下步骤:将所述含有氯硅烷的废液进行蒸发处理,以便获得氯硅烷蒸汽和蒸发后液;将所述氯硅烷蒸汽进行冷凝处理,以便获得液体氯硅烷;将所述蒸发后液进行干燥处理,以便获得干燥残渣;将所述干燥残渣进行中和处理,以便获得酸性废气和中和废水;利用碱性淋洗液对所述酸性废气进行淋洗,以便获得淋洗后液;以及将所述中和废水进行脱水处理,以便获得中和废渣。由此,不仅可以从废液中有效回收氯硅烷,从而降低了多晶硅生产物耗;同时利用沸点的不同通过蒸发将氯硅烷与细微粉尘和金属化合物杂质进行了分离,从而避免了后续处理的管道堵塞和有毒物质外排的环境污染问题。

    一种四氯化硅氢化反应设备及其固体原料连续供料装置

    公开(公告)号:CN102815708A

    公开(公告)日:2012-12-12

    申请号:CN201210285416.3

    申请日:2012-08-10

    Abstract: 本发明公开了一种四氯化硅氢化反应设备及其固体原料连续供料装置,所述四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置,包括相连通的储料罐和计量罐,所述储料罐内储有四氯化硅氢化反应的固体原料,其中所述计量罐具有向四氯化硅氢化反应器提供所述固体原料的物料出口,且所述计量罐设有气压调节装置以调节所述计量罐中的气压。根据本发明实施例的四氯化硅氢化反应的固体原料连续供料装置,通过在计量罐上设置气压调节装置,有效解决了从气压较低的储料罐向气压较高的四氯化硅氢化反应器中送料困难的问题,该供料装置结构简单,使用方便且安全性高。

    用于处理四氯化硅氢化副产物的设备

    公开(公告)号:CN102653405A

    公开(公告)日:2012-09-05

    申请号:CN201210118927.6

    申请日:2012-04-20

    Abstract: 本发明提供了用于处理四氯化硅氢化副产物的设备。该设备包括:气固分离装置,所述气固分离装置用于对四氯化硅氢化副产物进行气固分离以得到含有三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅、氢气的第一气体混合物和固体颗粒;以及热交换装置,所述热交换装置与气固分离装置相连,从气固分离装置接收所述第一气体混合物,并且将第一气体混合物与第二气体混合物进行热交换,以便使得第二气体混合物的温度被提高,其中,第二气体混合物为四氯化硅和氢气的混合物。根据本发明实施例的用于处理四氯化硅氢化副产物的设备,结构简单,操作方便,能耗低,成本低,热量回收率高。并且可以避免固体颗粒堵塞管道,提高固体物料利用率,从而保证管道和设备的正常运行。

    从还原尾气中回收氯化氢的方法

    公开(公告)号:CN102641646A

    公开(公告)日:2012-08-22

    申请号:CN201210105568.0

    申请日:2012-04-11

    Abstract: 本发明提出了从还原尾气中回收氯化氢的方法,还原尾气含有氢气、氯化氢和氯硅烷,方法包括以下步骤:利用淋洗液将还原尾气进行淋洗处理,使得还原尾气中的氯硅烷被淋洗液吸收,得到含有氯硅烷的淋洗液,以及含有氢气和氯化氢的第一气体混合物;利用吸收剂将第一气体混合物进行吸收处理,以便使得第一气体混合物中的氯化氢被吸收,得到含有氯化氢的吸收产物,以及氢气;将含有氯化氢的吸收产物进行解吸处理,以便使得吸收产物中的氯化氢被析出;以及回收氯化氢。利用该方法,能够有效地从还原尾气中回收氯化氢。

    用于硅基电子产品生产过程中的尾气处理系统及方法

    公开(公告)号:CN115414771B

    公开(公告)日:2024-11-15

    申请号:CN202210961389.0

    申请日:2022-08-11

    Abstract: 本发明公开了一种用于硅基电子产品生产过程中的尾气处理系统及方法。系统包括依次相连的通过冷却介质对尾气进行换热处理的深冷器、对未冷凝气体进行热分解的热处理装置、以及对热分解产物进行水洗并将水洗后气体排出的水洗装置;深冷器尾气入口与硅基电子产品的生产系统尾气出口相连且管道上设有与尾气出口处压力连锁的调节阀,凝液出口与生产系统入口相连。采用本发明可满足连续或间歇性操作,适用于各种硅基电子产品生产过程排放的尾气,可处理含不溶于水或微溶于水物质的尾气,处理后气体满足外排要求,处理流程简单且稳定可控,保证了硅基电子产品生产过程的稳定性,避免了尾气中物料的浪费。

    处理废水的方法和系统
    38.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110078261B

    公开(公告)日:2024-02-09

    申请号:CN201910418342.8

    申请日:2019-05-20

    Abstract: 本发明公开了一种处理废水的方法和系统,该方法包括:(1)将块料清洗机和/或硅芯清洗机酸洗所得的废酸与碱液进行中和处理,以便得到中和后废水;(2)将所述块料清洗机和/或所述硅芯清洗机水洗所得的含酸废水与所述中和后废水、沉降剂混合沉降,过滤后得到废渣和废液;降渣;(4)将所述上清液与含碱废水、所述废液混合,以便得到配置碱液,并将所述配置碱液返回至步骤(1)作为所述碱液使用。采用该方法可减少酸洗废水处理量达60%,节约用水量达50%,减少新碱使用量达50%,具有优异的经济和环保效益。(3)将废碱进行沉降处理,以便得到上清液和沉

    多晶硅还原炉的底盘、底盘组件以及还原炉

    公开(公告)号:CN112960674B

    公开(公告)日:2022-11-01

    申请号:CN202110286578.8

    申请日:2021-03-17

    Abstract: 本发明公开多晶硅还原炉的底盘、底盘组件以及还原炉,包括盘体,所述盘体具有多个进气口组和多个还原尾气出口组;和多个电极基座组,多个所述电极基座组沿所述盘体的径向间隔开地设在所述盘体上,每个所述电极基座组包括沿所述盘体的周向间隔开的多个电极基座,其中多个所述电极基座组和多个所述进气口组沿所述盘体的径向交替设置,一个所述还原尾气出口组位于多个所述电极基座组的外侧,其余的每个所述还原尾气出口组在所述盘体的径向上位于相邻两个所述电极基座组之间。通过进气口组和还原尾气出口组的设置,使得多晶硅还原炉内的温度场均匀,从而不仅可以有利于硅棒的沉积,从而改善硅棒的表面质量。

    硅基电子产品的减压精馏装置及方法

    公开(公告)号:CN114669071A

    公开(公告)日:2022-06-28

    申请号:CN202210355468.7

    申请日:2022-04-06

    Abstract: 本发明提供一种硅基电子产品的减压精馏装置及方法,包括原料罐、精馏装置、产品罐和再冷却装置;精馏装置包括精馏塔、塔顶冷凝器和再沸器;再沸器的出口与精馏塔的塔底气相管连接;精馏塔的高低沸出料口连接有高低沸罐;塔顶冷凝器的冷凝物料出口分别与精馏塔的物料返回口和产品罐的产品入口连接;再冷却装置包括分别与所述原料罐的气体流通口、塔顶冷凝器的未冷凝气出口、产品罐的罐顶气体管道和高低沸罐的罐顶气体管道连接的冷阱、与冷阱的未冷凝气出口连接的缓冲罐、与缓冲罐连接的真空泵和与真空泵连接的深冷器。利用本发明能够解决现有技术中操作温度较高、生产过程加热介质的消耗量高、传统减压精馏装置流程长、控制不稳定等问题。

Patent Agency Ranking