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公开(公告)号：CN111283512A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN202010194315.X
申请日：2020-03-19
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本申请提供了一种双工位加工检测设备及方法，属于光学元件制造技术领域。检测设备包括加工机器人、第一工作台、第二工作台、检测装置、编程检测系统和加工控制系统。第一工作台和第二工作台分别位于加工机器人的两侧。检测装置用于检测第一工作台上的工件的第一面形误差或第二工作台上的工件的第二面形误差。加工控制系统用于根据第一面形误差控制加工机器人对第一工作台上的工件进行加工，用于根据第二面形误差控制加工机器人对第二工作台上的工件进行加工。加工检测设备将双工位上的两工件的加工与检测功能需求融合在一起，实现双工位加工检测一体化，对一个工件进行加工时，可对另一个工件进行在线检测，显著提高加工精度和效率。
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公开(公告)号：CN108381330B
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201810222611.9
申请日：2018-03-16
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B24B13/00 , B24B13/005
Abstract: 本发明提供了一种抛光装置及抛光设备，属于抛光设备领域。抛光装置包括机架、抛光盘、第一驱动装置、支撑架、活动架、第二驱动装置和夹具，抛光盘可转动的设置于机架。第一驱动装置用于驱动抛光盘相对机架绕第一竖轴线转动。支撑架设于机架上。活动架与支撑架活动连接。第二驱动装置用于驱动活动架相对支撑架竖向移动。夹具可转动的设置于活动架，夹具能够相对活动架绕第二竖轴线转动，夹具位于抛光盘的上方。在抛光过程中，由于夹具与活动架转动连接，抛光盘在转动的同时将带动整个夹具转动，从而带动晶体转动，进而提高了对晶体的抛光效果。
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公开(公告)号：CN106736996A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201710198817.8
申请日：2017-03-29
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供一种抛光工具及非球面元件表面波纹去除方法，抛光工具包括转接部件、工具底座、粘弹性柔性介质、柔性介质厚度调节螺钉、橡胶囊和设置于所述橡胶囊表面的抛光模层。抛光工具通过转接部件连接于数控机床，工具底座为圆环状。柔性介质厚度调节螺钉可活动地内嵌于所述工具底座，橡胶囊盖合于所述工具底座，使工具底座、柔性介质调节螺钉与橡胶囊之间形成密封腔，密封腔内填充满粘弹性柔性介质。非球面元件表面波纹去除方法通过改变抛光工具中的粘弹性柔性介质的种类和厚度，既能够使抛光工具与待加工非球面元件的表面相吻合，又能够对非球面表面波纹进行去除。
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公开(公告)号：CN113686903B
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202111094288.X
申请日：2021-09-17
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N21/958
Abstract: 本发明公开了一种光学元件缺陷检测系统及检测方法，包括床身支撑模块、隔振模块、定位夹持模块、缺陷检测模块、缺陷分析模块、扫描运动模块和电气控制模块，每个模块完成相应的功能，具体工作步骤包括：开启设备及软件、系统初始化设置、设置系统参数、放置被测样品、设置测量参数、样品扫描测试、检测数据采集、缺陷类型分析、缺陷特性评价和结果输出系统关闭。本发明解决了人工检验可能由于某些人员原因导致的缺陷形貌误判和缺陷定位错误，降低了缺陷定位错误发生率，进一步提高了大口径光学元器件的缺陷检测准确率。
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公开(公告)号：CN118386036B
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202410815311.7
申请日：2024-06-24
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供了一种光学元件随机加工路径的规划、模拟去除方法及装置，方法包括：基于划分策略将光学元件的表面划分为多个预设形状的单元格；基于路径树生成策略在多个所述单元格中随机生成路径树；基于所述路径树确定所述光学元件的随机加工路径；基于像素尺寸驻留模拟去除策略及随机加工路径对光学元件表面的材料进行去除仿真；如此，可根据需求为光学元件规划出不同密度、不重复的随机加工路径，在基于随机加工路径对光学元件进行抛光时，可有效抑制由于重复的规律性抛光路径以及由于路径上相邻点之间的间距太大带来的中频误差，进而提高了光学元件的加工精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115922567B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202211268735.3
申请日：2022-10-17
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种金属基金刚石砂轮多能场复合修整装置，包括：底座（1），工作台（2），修整器（3），立柱（4），主轴（5），金刚石砂轮（6）；所述工作台（2）设置在所述底座（1）上，所述修整器（3）通过多个调平机构（9）设置在所述底座（1）上，所述底座（1）上还设置有所述立柱（4），所述主轴（5）设置在所述立柱（4）的一侧，所述金刚石砂轮（6）设置在所述主轴（5）上，且与所述工作台（2）垂直，所述主轴（5）为所述金刚石砂轮（6）提供转动力。
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公开(公告)号：CN110227294B
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN201910522250.4
申请日：2019-06-17
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B01D35/143 , B01D35/12 , B01D29/11
Abstract: 本发明涉及抛光液循环过滤系统，其搭载于抛光机床上，包括：储液装置，储液装置为倒置布置的锥形桶，锥形桶上部为出液侧，其下部为回液侧；第一供液装置和第二供液装置，第一供液装置和第二供液装置的进液端并列连接于储液装置出液侧；第一供液装置和第二供液装置的出液端连接至抛光机床；回液装置，回液装置回液进液端连接至抛光机床的储液槽，其回液出液端连通于储液装置的进液侧，回流的抛光液从锥形桶底部冲入锥形桶内，使锥形桶内的抛光液形成自扰动；控制终端，第一供液装置、第二供液装置和回液装置均与控制终端电性连接；控制终端按照预设程序控制第一供液装置和/或第二供液装置供液提高系统供液可靠性。
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公开(公告)号：CN116197738A
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202310143325.4
申请日：2023-02-21
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B24B1/00
Abstract: 本发明适用于光学复杂曲面元件的超精密抛光领域，提供了一种复杂曲面光学元件磁流变抛光的仿真及加工方法，包括以下步骤：H1：根据干涉仪的检测图像和加工后预期面形，计算初始面形误差；H2：根据元件类型和初始面形误差选取合适的抛光轨迹；H3：对面形误差进行非球面区域划分，获得各个划分区域的位置、大小、球面半径和球心坐标，得到各个划分区域的去除函数；H4：进行磁流变抛光采斑实验，获取当前加工条件下实际抛光斑的三维形貌，并计算得到各个划分区域的抛光斑去除函数；H5：分配驻留点，并计算驻留时间矩阵。本方法可以达到高精度的磁流变抛光效果，为磁流变抛光工艺提供理论支持。
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公开(公告)号：CN115922567A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202211268735.3
申请日：2022-10-17
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种金属基金刚石砂轮多能场复合修整装置及其修整方法，包括：底座(1)，工作台(2)，修整器(3)，立柱(4)，主轴(5)，金刚石砂轮(6)；所述工作台(2)设置在所述底座(1)上，所述修整器(3)通过多个调平机构(9)设置在所述底座(1)上，所述底座(1)上还设置有所述立柱(4)，所述主轴(5)设置在所述立柱(4)的一侧，所述金刚石砂轮(6)设置在所述主轴(5)上，且与所述工作台(2)垂直，所述主轴(5)为所述金刚石砂轮(6)提供转动力。
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公开(公告)号：CN112892391B
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202110122102.0
申请日：2021-01-27
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B01F35/82 , B01F35/83 , B01F35/213 , B01F35/00 , B01F33/80
Abstract: 本发明提供了一种抛光液水分在线调节精密控制装置及方法，包括：抛光液水分控制装置、抛光液储存桶和抛光液传输泵，抛光液传输泵将抛光液储存桶内的抛光液传输至抛光液水分控制装置中；抛光液水分控制装置包括第一水分仪、第二水分仪、第一电磁阀、第二电磁阀、第三电磁阀、补水装置、干燥装置以及中央控制器，中央控制器分别与第一水分仪和第二水分仪建立信号连接，同时与第一电磁阀、第二电磁阀和第三电磁阀建立控制连接；本发明能够对抛光液的含水量进行精密控制从而达到加工光学元件的工艺要求，具有较高的实用性，机械仪器代替人工作业，避免了人为操作误差的产生，具有高效的调节效果，使处于不同水分含量的抛光液可以快速达到指定的工艺目标参数。
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