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公开(公告)号:CN104049250A
公开(公告)日:2014-09-17
申请号:CN201410263639.9
申请日:2014-06-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01S11/12
CPC classification number: G01S11/12
Abstract: 抗多频混叠的高精度同步测尺半导体激光测距装置与方法属于相位激光测距技术,所述测距装置包括测尺生成单元、激光移频单元、抗混叠测量光路和相位测量单元组成;其测距方法包括步骤如下:步骤一、开启频率基准激光器和偏频锁定半导体激光器;步骤二、一束作为参考激光束,另一束作为测量激光;步骤三、以作为精测尺;步骤四、以作为粗测尺;步骤五、移动测量角椎棱镜至目标端,分别得到精测尺与粗测尺的相位差Φ1和Φ2,最后通过公式得到被测距离值;本发明解决了超长波长和超短波长的不能同步产生,激光测尺不可直接溯源和非线性周期误差和频率混叠的问题,具有测量效率高、精度高、稳定性和实时性强的特点。
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公开(公告)号:CN104049249A
公开(公告)日:2014-09-17
申请号:CN201410263638.4
申请日:2014-06-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01S11/12
CPC classification number: G01S11/12
Abstract: 抗多频混叠的高精度同步测尺相位激光测距装置与方法属于相位激光测距技术,所述测距装置包括测尺生成单元、激光移频单元、抗混叠测量光路和相位测量单元组成;其测距方法包括步骤如下:步骤一、开启频率基准激光器和偏频锁定He-Ne激光器;步骤二、一束作为参考激光束,另一束作为测量激光;步骤三、以作为精测尺;步骤四、以作为粗测尺;步骤五、移动测量角椎棱镜至目标端,分别得到精测尺与粗测尺的相位差Φ1和Φ2,最后通过公式得到被测距离值;本发明解决了超长波长和超短波长的不能同步产生,激光测尺不可直接溯源和非线性周期误差和频率混叠的问题,具有测量效率高、精度高、稳定性和实时性强的特点。
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公开(公告)号:CN104037605A
公开(公告)日:2014-09-10
申请号:CN201410308251.6
申请日:2014-07-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于热电制冷和声光移频的横向塞曼激光锁频方法和装置属于激光应用技术领域,本发明采用声光移频技术将多台基于热电制冷的横向塞曼激光器的输出激光频率锁定于同一台参考横向塞曼稳频激光器的输出激光频率上,从而使所有激光器输出激光具有统一的频率值,目的是解决传统稳频激光器相互之间的频率一致性较低的不足,为超精密激光干涉测量提供一种新型的激光光源。
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公开(公告)号:CN103528505A
公开(公告)日:2014-01-22
申请号:CN201310475571.6
申请日:2013-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 四光轴补偿及气浴式线位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域,本发明将被校准激光干涉仪测量光束穿过四轴中空激光干涉镜组的中间通孔,被校准激光干涉仪测量光束平行置于以正四棱柱侧棱形式分布的四条平行标准测量光束中心位置处;标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小,四条标准测量光束的空气折射率平均值接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值;气浴装置形成的稳定气浴环境使空气温度、湿度和气压近似均匀分布,使四条标准测量光束的空气折射率平均值更加接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值;目标反射镜反射面表面形貌造成的测量误差补偿到线位移测量结果中,保证线位移测量值的准确性。
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公开(公告)号:CN103528502A
公开(公告)日:2014-01-22
申请号:CN201310475484.0
申请日:2013-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 回位补偿式双光轴角位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域,本发明将被校准激光干涉仪两条测量光束穿过双轴中空激光干涉镜组的中间通孔,两条被校准激光干涉仪测量光束平行置于两条平行标准测量光束中间位置;标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小,标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值非常接近;微动装置根据两个光束位置探测器测量出衍生位移的平均值,对目标反射镜衍生位移进行实时回位补偿,使目标反射镜反射面上测量光束的入射位置不发生变化。
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公开(公告)号:CN103528499A
公开(公告)日:2014-01-22
申请号:CN201310475430.4
申请日:2013-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 形貌补偿式双光轴线位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域,本发明将被校准激光干涉仪测量光束穿过双轴中空激光干涉镜组的中间通孔,被校准激光干涉仪测量光束平行置于两条平行标准测量光束中间位置处;在垂直于两条标准测量光束的平面内,由两条标准测量光束在该平面投影点构成的线段区域中,两条标准测量光束和被校准激光干涉仪测量光束受环境干扰的程度差异很小,两条标准测量光束的空气折射率平均值接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值;目标反射镜反射面表面形貌造成的测量误差补偿到线位移测量结果中,保证线位移测量值的准确性。
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公开(公告)号:CN103499291A
公开(公告)日:2014-01-08
申请号:CN201310475918.7
申请日:2013-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于四标准光轴气浴的角位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域,本发明将被校准激光干涉仪四条测量光束穿过四轴中空激光干涉镜组的中间通孔,四条被校准激光干涉仪测量光束平行置于四条平行标准测量光束中间位置;标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小,标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值非常接近;气浴装置形成的稳定气浴环境使空气温度、湿度和气压近似均匀分布,使标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值更加接近。
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公开(公告)号:CN103499287A
公开(公告)日:2014-01-08
申请号:CN201310475561.2
申请日:2013-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于双标准光轴气浴的线位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域,本发明将被校准激光干涉仪测量光束穿过双轴中空激光干涉镜组的中间通孔,被校准激光干涉仪测量光束平行置于两条平行标准测量光束中间位置处;标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小,两条标准测量光束和被校准激光干涉仪测量光束受环境干扰的程度差异很小,两条标准测量光束的空气折射率平均值接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值;气浴装置形成的稳定气浴环境使空气温度、湿度和气压近似均匀分布,使两条标准测量光束的空气折射率平均值更加接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值。
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