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公开(公告)号：CN102865821B
公开(公告)日：2015-10-07
申请号：CN201210347024.5
申请日：2012-09-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 光路平衡型高速高分辨率激光外差干涉测量方法与装置属于激光应用技术领域；本发明采用了空间分离的参考光和测量光，并进行测量光路平衡性设计，同时该方法产生了两个具有相反多普勒频移的干涉测量信号，并根据被测目标的运动方向和速度，选择性使用两测量信号来进行干涉测量；本发明不仅减小了温度变化对测量的影响，而且消除了干涉仪中的频率混叠现象，提高了外差干涉测量的测量精度；同时解决了激光光源频差对测量速度限制的问题。
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公开(公告)号：CN103292916B
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201310190884.7
申请日：2013-05-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于双声光移频的光电接收器时间稳定性测试方法属于激光应用技术，该方法采用单频激光作为光源，经过双声光移频器后输出双频激光，利用无偏分光棱镜进行分光，并测试待测光电接收器与参考光电接收器之间的相位差；本方法在测试中参考光束中频率为v1和频率为v2的线偏振光同轴同光程传输，测量光束中频率为v1和频率为v2的线偏振光同轴同光程传输；两光束相位不受外界环境变化影响，不引入额外相位误差，测试准确度高；同时可以使用双声光移频器改变测试频率，测试在不同拍频干涉频率时光电接收器的时间稳定性。
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公开(公告)号：CN103528508B
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201310475890.7
申请日：2013-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 形貌补偿式双光轴角位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域，本发明将被校准激光干涉仪两条测量光束穿过双轴中空激光干涉镜组的中间通孔，两条被校准激光干涉仪测量光束平行置于两条平行标准测量光束中间位置；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小，标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值非常接近；目标反射镜反射面表面形貌造成的测量位移误差补偿到角位移测量结果中，保证角位移测量值的准确性。
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公开(公告)号：CN103528504B
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201310475503.X
申请日：2013-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 回位补偿式四光轴线位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术，本发明将被校准激光干涉仪测量光束穿过四轴中空激光干涉镜组的中间通孔，被校准激光干涉仪测量光束平行置于以正四棱柱侧棱形式分布的四条平行标准测量光束中心位置处；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小，四条标准测量光束的空气折射率平均值接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值；四个光束位置探测器能够分别测量出四条标准测量光束相对目标反射镜在垂直于标准测量光束平面内任意二维方向衍生位移；微动装置根据四个光束位置探测器测量出衍生位移平均值，对目标反射镜进行实时回位补偿，保证目标反射镜反射面上测量光束入射位置不发生变化。
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公开(公告)号：CN103528503B
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201310475485.5
申请日：2013-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 双光轴补偿及气浴式角位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域，本发明将被校准激光干涉仪两条测量光束穿过双轴中空激光干涉镜组的中间通孔，两条被校准激光干涉仪测量光束平行置于两条平行标准测量光束中间位置；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小，标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值非常接近；气浴装置形成的稳定气浴环境使空气温度、湿度和气压近似均匀分布，使标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值更加接近；目标反射镜反射面表面形貌造成的测量位移误差补偿到角位移测量结果中，保证角位移测量值的准确性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103499289B
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201310475607.0
申请日：2013-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 形貌补偿式四光轴角位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域，本发明将被校准激光干涉仪四条测量光束穿过四轴中空激光干涉镜组的中间通孔，四条被校准激光干涉仪测量光束平行置于四条平行标准测量光束中间位置；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小，标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值非常接近；目标反射镜反射面表面形貌造成的测量位移误差补偿到角位移测量结果中，保证角位移测量值的准确性。
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公开(公告)号：CN103499288B
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201310475586.2
申请日：2013-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于三标准光轴气浴的线位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域，本发明将被校准激光干涉仪测量光束穿过三轴中空激光干涉镜组的中间通孔，被校准激光干涉仪测量光束平行置于以正三棱柱侧棱形式分布的三条平行标准测量光束中心位置处；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小，三条标准测量光束和被校准激光干涉仪测量光束受环境干扰的程度差异很小，三条标准测量光束的空气折射率平均值接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值；气浴装置形成的稳定气浴环境使空气温度、湿度和气压近似均匀分布，使三条标准测量光束的空气折射率平均值更加接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值。
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公开(公告)号：CN103528510B
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201310475922.3
申请日：2013-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 四光轴补偿及气浴式角位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域，本发明将被校准激光干涉仪四条测量光束穿过四轴中空激光干涉镜组的中间通孔，四条被校准激光干涉仪测量光束平行置于四条平行标准测量光束中间位置；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小，标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值非常接近；气浴装置形成的稳定气浴环境使空气温度、湿度和气压近似均匀分布，使标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值更加接近；目标反射镜反射面表面形貌造成的测量位移误差补偿到角位移测量结果中，保证角位移测量值的准确性。
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公开(公告)号：CN103499291B
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201310475918.7
申请日：2013-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于四标准光轴气浴的角位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域，本发明将被校准激光干涉仪四条测量光束穿过四轴中空激光干涉镜组的中间通孔，四条被校准激光干涉仪测量光束平行置于四条平行标准测量光束中间位置；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小，标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值非常接近；气浴装置形成的稳定气浴环境使空气温度、湿度和气压近似均匀分布，使标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值更加接近。
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公开(公告)号：CN103499283B
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201310475536.4
申请日：2013-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于双标准光轴的线位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域，本发明将被校准激光干涉仪测量光束穿过双轴中空激光干涉镜组的中间通孔，被校准激光干涉仪测量光束平行置于两条平行标准测量光束中间位置处；在垂直于两条标准测量光束的平面内，由两条标准测量光束在该平面投影点构成的线段区域中，两条标准测量光束和被校准激光干涉仪测量光束受环境干扰的程度差异很小，两条标准测量光束的空气折射率平均值接近被校准激光干涉仪测量光束的空气折射率值。
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