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公开(公告)号:CN101849275B
公开(公告)日:2012-06-13
申请号:CN200880115028.2
申请日:2008-11-06
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/077 , H01J3/00 , H01J37/02 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/026 , H01J37/3171 , H01J2237/0041 , H01J2237/06366
Abstract: 一种等离子体电子流系统,包括构造为包含气体的壳体,并包括位于其中的细长引出缝、阴极和多个阳极,并且其中所述细长引出缝与离子注入机直接连通,所述阴极丝发射电子,所述电子通过所述阴极和多个阳极之间的电势差被吸引至所述多个阳极,其中所述电子通过所述细长引出缝被释放,作为电子带用于中和在离子注入机内行进的带状离子束。
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公开(公告)号:CN101438367B
公开(公告)日:2012-04-25
申请号:CN200780016644.8
申请日:2007-03-07
Applicant: 西门子公司
Inventor: D·陈
IPC: H01J3/00
CPC classification number: H02J3/00 , H02J2003/007
Abstract: 本发明涉及根据第一和第二控制性能标准来控制电力系统控制区域的方法,其中控制区域操作确定区域控制参数值。该方法包括:(a)确定第一性能标准的第一遵守目标和第二性能标准的第二遵守目标(100/200);(b)从第一遵守周期的开始到确定第一平均值时的时间t响应于控制区域参数值来确定第一性能标准统计度量(108);(c)从第二遵守周期的开始到确定第二平均值时的时间t响应于控制区域参数值来确定第二性能标准统计度量;(d)响应于第一性能标准统计度量确定第一区域控制参数目标(116);(e)响应于第二性能标准统计度量确定第二区域控制参数目标(204);(f)响应于第一区域控制参数目标和区域控制参数值确定第一区域控制参数校正值(150);(g)响应于第二区域控制参数目标和区域控制参数值确定第二区域控制参数校正值(228);以及(h)根据第一和第二区域控制参数校正值中的一个或两个来控制电力系统(154/232)。
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公开(公告)号:CN101438367A
公开(公告)日:2009-05-20
申请号:CN200780016644.8
申请日:2007-03-07
Applicant: 西门子电力输送及配电有限公司
Inventor: D·陈
IPC: H01J3/00
CPC classification number: H02J3/00 , H02J2003/007
Abstract: 本发明涉及根据第一和第二控制性能标准来控制电力系统控制区域的方法,其中控制区域操作确定区域控制参数值。该方法包括:(a)确定第一性能标准的第一遵守目标和第二性能标准的第二遵守目标(100/200);(b)从第一遵守周期的开始到确定第一平均值时的时间t响应于控制区域参数值来确定第一性能标准统计度量(108);(c)从第二遵守周期的开始到确定第二平均值时的时间t响应于控制区域参数值来确定第二性能标准统计度量;(d)响应于第一性能标准统计度量确定第一区域控制参数目标(116);(e)响应于第二性能标准统计度量确定第二区域控制参数目标(204);(f)响应于第一区域控制参数目标和区域控制参数值确定第一区域控制参数校正值(150);(g)响应于第二区域控制参数目标和区域控制参数值确定第二区域控制参数校正值(228);以及(h)根据第一和第二区域控制参数校正值中的一个或两个来控制电力系统(154/232)。
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公开(公告)号:CN117850169B
公开(公告)日:2025-01-21
申请号:CN202311608393.X
申请日:2023-11-28
Applicant: 上海集成电路材料研究院有限公司
IPC: G03F7/20 , H01L21/027 , H01J3/00
Abstract: 本发明提供一种电子束发射电路以及电子束直写装置,包括:M个电子束源发射模块以及电子束源控制模块;M为大于等于1的整数;电子束源控制模块用于产生N种选通信号,N为大于等于2的整数;各电子束源发射模块分别连接电子束源控制电路;其中,各电子束源发射模块中任一电子束源发射模块在同时接收到N种选通信号时导通,进而发射对应的电子束。本发明能解决现有的电子直写技术存在的电子束流强度低、图形精度不足、直写效率不够以及不易控制等问题。
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公开(公告)号:CN117850169A
公开(公告)日:2024-04-09
申请号:CN202311608393.X
申请日:2023-11-28
Applicant: 上海集成电路材料研究院有限公司
IPC: G03F7/20 , H01L21/027 , H01J3/00
Abstract: 本发明提供一种电子束发射电路以及电子束直写装置,包括:M个电子束源发射模块以及电子束源控制模块;M为大于等于1的整数;电子束源控制模块用于产生N种选通信号,N为大于等于2的整数;各电子束源发射模块分别连接电子束源控制电路;其中,各电子束源发射模块中任一电子束源发射模块在同时接收到N种选通信号时导通,进而发射对应的电子束。本发明能解决现有的电子直写技术存在的电子束流强度低、图形精度不足、直写效率不够以及不易控制等问题。
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公开(公告)号:CN110889255B
公开(公告)日:2022-09-13
申请号:CN201911052611.X
申请日:2019-10-31
Applicant: 国网湖北省电力有限公司
IPC: G06F30/27 , H01J3/00 , G06F113/04
Abstract: 本发明提出了一种基于级联深度森林的电力系统暂态稳定评估方法。本发明通过构建仿真模型,并利用电力系统分析软件进行时域仿真得到样本集;随机选择样本集中的50%作为训练集,其余50%构成测试集;根据训练集训练级联深度森林模型,实现暂态稳定评估。本发明具有准确率高、参数鲁棒性好、训练速度快和小样本学习能力强的优点。
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公开(公告)号:CN114599426A
公开(公告)日:2022-06-07
申请号:CN202080061006.3
申请日:2020-08-28
Applicant: TAE技术公司
Abstract: 系统、设备和方法的实施例涉及用于检测光束线中的光束未对准的快速光束位置监测。在示例中,快速光束位置监测器包括延伸到光束线的组件的内部的多个电极。快速光束位置监测器被配置为基于束晕电流检测穿过光束线的组件的光束的位置。系统、设备和方法的实施例还涉及非侵入性地监测沿着光束线前进的光束的监测参数。在示例中,气体沿着光束线被喷吹入泵送室。根据由前进通过光束线的光束的高能光束粒子的碰撞引起的荧光来测量一个或多个光束参数。
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公开(公告)号:CN111383870A
公开(公告)日:2020-07-07
申请号:CN201811627330.8
申请日:2018-12-28
Applicant: 华为技术有限公司
IPC: H01J3/00
Abstract: 一种离子阱系统,包括激光调控模块用于将光束分为P个第一光束和Q个第二光束,P个第一光束中的N个第一光束分别传输至N个离子,Q个第二光束中的M个第二光束分别传输至M个监测单元;M个监测单元用于分别监测M个第二光束,并分别获取M个第二光束的空间强度分布信息,反馈控制模块用于接收M个第二光束的空间强度分布信息,根据M个第二光束的空间强度分布信息确定N个第一控制信号,并将N个第一控制信号传输至激光调控模块,其中,N个第一控制信号与N个第一光束一一对应,第一控制信号用于控制激光调控模块将对应的第一光束与离子对准。如此,有助于提高第一光束与对应离子的对准度,从而提高对离子进行量子态操控的保真度。
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公开(公告)号:CN105830197B
公开(公告)日:2018-06-26
申请号:CN201480070184.7
申请日:2014-11-18
Applicant: DH科技发展私人贸易有限公司
Inventor: 马场崇
CPC classification number: H01J49/0095 , H01J49/0072 , H01J49/062 , H01J49/4225 , H01J49/4295
Abstract: 本发明提供一种离子反应装置,其具有用于接收多个离子的离子注入入口及离子可通过其离开所述装置的离子射出出口。所述反应装置包含:多个非线性杆,其是相对于彼此而安置以便提供经配置以经由所述离子注入入口接收多个阴离子及阳离子的轴向区域以及与所述轴向区域连通的多个俘获区域,所述阴离子及阳离子可被局限在所述俘获区域中。DC电压源经调适以横跨所述杆中的至少两者施加DC电压以便在所述轴向区域的至少一部分内产生电场以用于在空间上分离所述经接收阴离子与阳离子并将所述阴离子导向到所述俘获区域中的一者中且将所述阳离子导向到所述俘获区域中的另一者中。
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公开(公告)号:CN102074431A
公开(公告)日:2011-05-25
申请号:CN201010568796.2
申请日:2010-11-30
Applicant: 南京大学
Abstract: 一种电子直线加速器用的电子枪控制电路,包括交流供电电路、电子枪可调控制电路和压控调压调相模块;所述电子枪可调控制电路输出控制电压,该控制电压输出给压控调压调相模块的控制电压输入端;压控调压调相模块输出端连接所述交流供电电路,控制其工作。本发明可以通过控制电子枪的灯丝电压实现加速器输出电子束流的稳定。灯丝电压预设值的设置可以方便的在出束前,出束后,高能档,低能档对应的四个电位器上调节电子枪的灯丝电压。交流供电电路中隔离变压器的使用可以有效的隔离来自调制器加在电子枪灯丝的脉冲高压,也增加了电子枪控制电路工作的稳定性和安全性。反馈电路的使用可以自行调节电子枪灯丝的发射,使其发射趋于稳定。
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