用于自复制制造平台的方法和系统

    公开(公告)号:CN1636169A

    公开(公告)日:2005-07-06

    申请号:CN01810882.2

    申请日:2001-05-10

    Applicant: 塞威公司

    Abstract: 本发明公开了一种能实现非生物自复制制造系统(SRMS)的系统和方法。一优选实施例提供了一种SRMS,其能实现装配平台的复制。在一优选实施例中,通过设置一个或多个装配平台,而采用定位装配来构建相同的装配平台。此外,在一最佳实施例中,装配平台是小尺度的装置,它们可对用于构建相同装配平台的小尺度部件进行处理,其中的小尺度部件例如为微米尺度、纳米尺度、甚至是分子尺度上的部件。SRMS的一优选实施例执行面对面的装配。例如,在一第一表面A(例如为晶片)上的装配平台在另一表面B(例如为晶片)上构建出一个相同的装配平台。SRMS最好被设计成这样:使得装配平台的构建能高效地进行。例如,该构建过程可以按照往复模式在两表面之间执行,或者可以在两表面之间并行地执行。最为优选的是:装配平台按照指数规律进行复制。一优选实施例中的SRMS被设计成能实现装配平台的多代生长,在该实施例中,第一代装配平台能装配出第二代装配平台(即后代装配平台)。之后,该后代装配平台能装配出更后一代的装配平台,如此类推。可以理解:各代装配平台可以是完全相同的,或者有某一代装配平台与其它代装配平台是不同的。

    用于纳米元件的定向组装和转移的镶嵌模板

    公开(公告)号:CN104040694B

    公开(公告)日:2018-04-06

    申请号:CN201280066438.9

    申请日:2012-11-08

    Applicant: 东北大学

    Abstract: 镶嵌模板具有设置在跨越衬底延伸的下层导电层上的二维图案化升高金属特征。所述模板总体具有平坦形貌,所述图案化导电特征建立了用于将纳米元件组装到纳米级电路和传感器内的微米级和纳米级图案。采用微制造技术连同化学机械抛光制造所述模板。这些模板与包括电泳在内的各种定向组装技术兼容,并且能够在连续操作周期内提供纳米元件的基本上100%有效的组装和转移。可以在损坏最低或者没有损坏的情况下将所述模板成千上万次地重复用于图案化纳米元件的转移,所述转移过程不设计周期之间的中间处理。在室温和压力下执行所采用的组装和转移过程,因而所述过程经得起低成本、高速率器件制造的检验。

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