用于自复制制造平台的方法和系统

    公开(公告)号:CN1636169A

    公开(公告)日:2005-07-06

    申请号:CN01810882.2

    申请日:2001-05-10

    Applicant: 塞威公司

    Abstract: 本发明公开了一种能实现非生物自复制制造系统(SRMS)的系统和方法。一优选实施例提供了一种SRMS,其能实现装配平台的复制。在一优选实施例中,通过设置一个或多个装配平台,而采用定位装配来构建相同的装配平台。此外,在一最佳实施例中,装配平台是小尺度的装置,它们可对用于构建相同装配平台的小尺度部件进行处理,其中的小尺度部件例如为微米尺度、纳米尺度、甚至是分子尺度上的部件。SRMS的一优选实施例执行面对面的装配。例如,在一第一表面A(例如为晶片)上的装配平台在另一表面B(例如为晶片)上构建出一个相同的装配平台。SRMS最好被设计成这样:使得装配平台的构建能高效地进行。例如,该构建过程可以按照往复模式在两表面之间执行,或者可以在两表面之间并行地执行。最为优选的是:装配平台按照指数规律进行复制。一优选实施例中的SRMS被设计成能实现装配平台的多代生长,在该实施例中,第一代装配平台能装配出第二代装配平台(即后代装配平台)。之后,该后代装配平台能装配出更后一代的装配平台,如此类推。可以理解:各代装配平台可以是完全相同的,或者有某一代装配平台与其它代装配平台是不同的。

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