用于测量光盘厚度的系统、仪器、设备以及机器可读媒介

    公开(公告)号:CN101131316A

    公开(公告)日:2008-02-27

    申请号:CN200710154704.4

    申请日:2003-06-24

    IPC分类号: G01B11/06 G11B7/0037 G11B7/26

    摘要: 本发明公开了一种利用光盘层的干涉效应来测量包括隔离层和覆盖层的光盘的一个或多个层的厚度的系统,所述系统包括:分光计,用于将从光盘的表面反射的光分离为其多个组成频率;光强测量单元,用于分别测量所述组成频率的强度作为第一光谱数据;以及处理器,用于至少进行以下步骤:将所述的第一光谱数据转换成作为折射率和波长的函数而显示变化的第二光谱值,利用快速傅立叶变换来变换所述第二光谱,以及基于所述的变换后的光谱来分别检测一个或多个隔离层和覆盖层的厚度。本发明所公开的方法在高精度测量光盘厚度方面具有优点。