公开(公告)号：CN103295189A

公开(公告)日：2013-09-11

申请号：CN201310035298.5

申请日：2013-01-30

Applicant: FEI公司

Inventor： A.巴姆 ,  N.W.帕克 ,  M.W.乌特劳特

IPC: G06T5/00 ,  G06F3/0481

CPC classification number: H04N5/23216 ,  G02B21/365 ,  H01J37/265 ,  H01J2237/22 ,  H01J2237/28 ,  H04N1/62

Abstract: 本发明涉及用于数字显微术的图像增强聚光照明模式。一种允许数字显微原始图像的观察者操纵显示器和/或显微镜以获得原始图像内的感兴趣区的增强视图的装置。在一个优选实施例中，聚光照明模式使用于聚光照明感兴趣区的灰度等级与存在于聚光照明区中的像素强度变化匹配。然后可以将被用于聚光照明模式的灰度等级广义化至原始图像。在优选实施例中，聚光照明模式提供了用于允许用户命令来自所显示图像的所选聚光照明区的重新成像的容易机制。此类重新成像可以允许使用更好地拟合聚光照明区的成像参数选择。

公开(公告)号：CN103094053A

公开(公告)日：2013-05-08

申请号：CN201210442536.X

申请日：2012-11-08

Applicant: FEI公司

Inventor： N.W.帕克 ,  W.休斯

IPC: H01J49/46 ,  H01J37/147

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/043 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/1534

Abstract: 多元件静电西肯能量滤波器，其中向双极元件添加静电四极和六极激励。按照本发明的具有能够产生孔口处的线焦点的双极、四极和六极元件的组合的带电粒子能量滤波器降低空间电荷效应和孔口损坏。一个优选实施例允许滤波器充当共轭消隐系统。能量滤波器能够使能量扩展变窄，以便产生较小射束。

公开(公告)号：CN102881546A

公开(公告)日：2013-01-16

申请号：CN201210240654.2

申请日：2012-07-12

Applicant: FEI公司

Inventor： A.格劳佩拉 ,  S.克罗格 ,  M.W.乌特劳特 ,  N.W.帕克

IPC: H01J37/08 ,  H01J37/32

CPC classification number: H01J37/3002 ,  H01J37/08 ,  H01J37/18 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/0827

Abstract: 本发明涉及电感耦合等离子体（ICP）离子源中不同处理气体之间快速切换的方法和结构。可打开的气体通道实现在带电粒子束系统中的电感耦合等离子体源中的处理气体或热烘气体的快速泵出。阀，通常定位在源电极中或形成为气体入口的一部分，在打开以泵空等离子体腔时增加气体流导并且在操作等离子体源期间关闭。

公开(公告)号：CN102568989A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201110454979.6

申请日：2011-12-30

Applicant: FEI公司

Inventor： N.W.帕克

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/26 ,  H01J37/06 ,  H01J37/08 ,  H01J37/1471 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0635 ,  H01J2237/0802 ,  H01J2237/083 ,  H01J2237/1501 ,  H01J2237/1502 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及具有多个可选择粒子发射器的带电粒子源。公开了用于聚集粒子束系统的带电粒子源，所述聚集粒子束系统诸如透射电子显微镜（TEM）、扫描透射电子显微镜（STEM）、扫描电子显微镜（SEM）或聚焦离子束（FIB）系统。该源采用可以以带电粒子系统的轴为中心的小区域内的多个可独立寻址发射器。可以单独控制所有发射器以同时实现从一个或多个尖端的发射。仅激活一个发射器的模式与高亮度相对应，而同时激活多个发射器的模式提供了具有较低亮度的高角强度。可以通过顺序地使用单个发射器来延长源寿命。描述了所有发射器的组合的机械和电气对准规程。