公开(公告)号：CN102098022B

公开(公告)日：2014-09-10

申请号：CN201010583309.X

申请日：2010-12-10

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 西泽竜太

IPC: G01C19/5628

CPC classification number: H03H9/19 ,  G01C19/5628 ,  H03H9/215

Abstract: 本发明提供降低了振动损失，在用作角速度传感器时检测灵敏度高的振动片、振子、物理量传感器以及电子设备。振动片(10)具有：基部(20)；从基部延伸的多个振动臂(40、50)，具有彼此相对的第1主面(11)和第2主面(12)、以及连接第1主面和第2主面且彼此相对的侧面(41、51)和侧面(42、52)，至少振动臂(40)的侧面(41)具有从第1主面侧起设置的第1阶梯部(43)和从第2主面侧起设置的第2阶梯部(44)，振动片具有：检测电极(71)，设于振动臂(40)的侧面(42)；检测电极(72)，设于第1阶梯部的与检测电极相对的位置；检测电极(73)，设于第2阶梯部的与检测电极相对的位置。

公开(公告)号：CN102843117A

公开(公告)日：2012-12-26

申请号：CN201210209939.X

申请日：2012-06-20

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 西泽竜太 ,  小仓诚一郎 ,  菊池尊行

IPC: H03H9/21 ,  H03H3/02

CPC classification number: H03H9/215 ,  H03H3/02 ,  H03H2003/026

Abstract: 本发明涉及一种弯曲振动片及其制造方法以及电子设备。在弯曲振动片的振动臂的侧面上高精度地对在厚度方向上分离的电极进行图案形成。弯曲振动片(21)的、从基部(22)起延伸的矩形截面的振动臂(24)具有第一、第二阶梯部(27、28)，该第一、第二阶梯部(27、28)由在下表面(24b)及上表面(24a)和左侧面(24c)及右侧面(24d)之间，分别与左侧面及右侧面相交的阶梯面(27a、28a)、和与上表面及下表面相交的阶梯侧面(27b、28b)构成，左右侧面上的第一、第四检测电极(29a、29d)和阶梯侧面上的第二、第三检测电极(29b、29c)分别通过阶梯面(27a、28a)中未形成电极膜的部分而在振动臂的厚度方向上分离。第一至第四检测电极利用现有的光刻技术，并使用通常的曝光机而从上下表面曝光从而被高精度地进行图案形成。

公开(公告)号：CN102195601A

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN201110059547.5

申请日：2011-03-11

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 西泽竜太

IPC: H03H9/15 ,  G01P15/08 ,  G01L1/16

CPC classification number: G01L1/162 ,  G01L9/0022 ,  G01P15/097

Abstract: 本发明提供振动片、振子、传感器以及电子设备，其课题是减轻与振动片的小型化相伴的形成电极及配线时的负担。振动片(100)包括：基部(10)；振动臂(20)，其从基部(10)起在第1方向(X轴方向)上延伸，在平面视图中在与第1方向垂直的第2方向(Y轴方向)上具有宽度(w)，且在与第1方向及第2方向垂直的第3方向(Z轴方向)上具有厚度(t)；以及第1梳齿电极(第1电极(41a)、第2电极(41b))、第2梳齿电极(第1电极(41c)、第2电极(41d))，它们设置在振动臂(20)的与第3方向垂直的第1面(A)及与第1面(A)相对的第2面(B)上，在第1方向上排列有电极指，通过由两个梳齿电极产生的第1方向的电场(Ex1、Ex2)，使振动臂(20)产生第1方向的伸缩，使振动臂(20)在第3方向上振动。

公开(公告)号：CN104702240B

公开(公告)日：2020-09-01

申请号：CN201410727644.0

申请日：2014-12-03

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 小仓诚一郎 ,  山口啓一 ,  西泽竜太 ,  菊池尊行

IPC: H03H9/15 ,  H03H9/02

Abstract: 本发明涉及一种振动元件、振子、振动装置、电子设备以及移动体。振动元件具备振动部、对振动部进行支承的支承部和连结振动部与支承部的吊臂。另外，吊臂具有从支承部起延伸出的蜿蜒部和连结蜿蜒部与振动部的倾斜部。

公开(公告)号：CN104596494B

公开(公告)日：2019-08-06

申请号：CN201410601641.2

申请日：2014-10-30

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 西泽竜太 ,  菊池尊行

IPC: G01C19/5642 ,  G01C19/5649 ,  G01C19/5656

CPC classification number: G01C19/5607 ,  G01P3/02

Abstract: 本发明提供一种即使受到了绕检测轴的旋转振动的情况下，也能够抑制由该旋转振动而引起的输出的变动的角速度传感器，此外，本发明还提供一种具备所涉及的角速度传感器并具有优异的可靠性的电子设备以及移动体。本发明的角速度传感器在将检测频带的宽度设为f1[Hz]，将随着梁部(223～226)的变形而基部(21)相对于固定部(221、222)而绕检测轴进行旋转振动的第一旋转振动模式的谐振频率设为f2[Hz]，将偏移频率设为f3[Hz]，将与第一旋转振动模式为反相、且随着梁部(223～226)的变形而基部(21)相对于固定部(221、222)而绕检测轴进行旋转振动的第二旋转振动模式的谐振频率设为f4[Hz]时，满足f1＜f2＜f3＜f4的关系，或者，满足f1＜f2＜f4＜f3的关系。

公开(公告)号：CN104596495B

公开(公告)日：2019-04-09

申请号：CN201410601637.6

申请日：2014-10-30

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 西泽竜太 ,  中川啓史 ,  清水教史

IPC: G01C19/5719

Abstract: 本发明提供一种即使在受到了绕检测轴的旋转振动的情况下也能够抑制由该旋转振动而引起的输出的变动的角速度传感器，此外，本发明还提供一种具备所涉及的角速度传感器并具有优异的可靠性的电子设备以及移动。本发明的角速度传感器具备：固定部(221、222)；基部(21)；将基部(21)相对于固定部(221、222)进行支承的梁部(223、224、225、226)；连接于基部(21)的驱动用振动臂(25～26)；连接于基部(21)的检测用振动臂(23、24)，在将检测频带的宽度设为f1[Hz]，将随着梁部(223、224、225、226)的变形而基部(21)相对于固定部(221、222)而绕检测轴进行旋转振动的旋转振动模式的谐振频率设为f2[Hz]，将偏移频率设为f3[Hz]时，满足f1＜f2＜f3的关系。

公开(公告)号：CN103363974B

公开(公告)日：2018-08-17

申请号：CN201310094984.X

申请日：2013-03-22

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 西泽竜太 ,  中川启史 ,  菊池尊行

IPC: G01C19/5607

CPC classification number: G01C19/5607 ,  G01C19/5621 ,  H01L41/08 ,  H01L41/0825 ,  H01L41/094 ,  H01L41/1132 ,  H01L41/1136

Abstract: 本发明提供振动片、陀螺仪传感器、电子设备和移动体。作为课题，如果仅通过1对悬臂来支撑基部，则无法最大限度地引起第2振动臂的运动。驱动系统的布线和检测系统的布线混合安装在1对悬臂上，振动片的噪声特性和温度特性劣化。作为解决手段，第1振动臂（26a、26b）从基部（25）起沿着第1方向（D1）延伸。第2振动臂（27a、27b）从基部（25）起沿着第2方向（D2）延伸。第1悬臂（32a、32b）从固定部（19）起延伸，并与基部（25）的第1连接部（34）连接。第2悬臂（33a、33b）从固定部（19）起延伸，并与基部（25）的第2连接部（37）连接。

公开(公告)号：CN103575261B

公开(公告)日：2018-03-23

申请号：CN201310308770.8

申请日：2013-07-22

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 山口啓一 ,  小仓诚一郎 ,  菊池尊行 ,  西泽竜太 ,  大泽征司

IPC: G01C19/5621 ,  G01C19/5628

CPC classification number: G01C19/5607 ,  G01C19/5621 ,  G01C19/5628 ,  G01P9/04 ,  Y10T29/49 ,  Y10T74/12

Abstract: 本发明提供一种振动片及其制法、振子、电子装置、电子设备及移动体，其能够防止由相互向相反方向延伸的驱动振动臂的锤层的大小或质量的不同而引起的温度漂移。振动片具备：一对第一以及第二驱动振动臂（441、442），其从基部（41）起相互向相反方向延伸；第一锤部（12a、12b），其以从第一以及第二驱动振动臂中的至少一方的顶端向基部侧隔开间隔的方式，而被设置在至少一个驱动振动臂的第一区域内；第二锤部（11a、11b），其被设置在第一锤部的顶端与至少一个驱动振动臂的顶端之间的区域即第二区域内，在将第一区域的面积设为A1，将第一锤部的质量设为B1，并将第二区域的面积设为A2，将第二锤部的质量设为B2时，B1/A1＞B2/A2。

公开(公告)号：CN104949666A

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201510130881.3

申请日：2015-03-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 西泽竜太 ,  中川啓史 ,  山口啓一 ,  松尾敦司 ,  市川史生

IPC: G01C19/5642 ,  G01C19/5649

CPC classification number: G01L1/162 ,  G01C19/5607 ,  G01C19/5614 ,  G01C19/5621 ,  G01L1/106 ,  H01L41/094 ,  G01C19/5642 ,  G01C19/5649

Abstract: 本发明提供物理量检测装置、电子设备及移动体。物理量检测装置包括振动元件和电荷放大器。振动元件包括第一检测电极、第二检测电极、第三检测电极以及第四检测电极。第一检测电极与第四检测电极的电极性相同，第二检测电极与第三检测电极的电极性相同，第一检测电极与第二检测电极的电极性相反。第一检测电极和第四检测电极被连接于电荷放大器，第二检测电极和第三检测电极被连接于电荷放大器。

公开(公告)号：CN104579225A

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201410584193.X

申请日：2014-10-27

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 中川啓史 ,  西泽竜太

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/19

CPC classification number: H03H9/21 ,  H03B5/32 ,  H03H3/0076 ,  H03H9/0542 ,  H03L1/028

Abstract: 本发明提供一种振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体，振动元件、振子能够对由温度变化引起的频率特性等特性的劣化进行抑制，振荡器、电子设备以及移动体具有较高的可靠性。本发明的振动元件的特征在于，具有驱动模式和在与该驱动模式下的振动方向正交的方向上进行振动的第一检测模式以及第二检测模式，在将横轴设为气氛温度并将纵轴设为频率的变化时的、各个模式下的表示由温度的变化引起的频率的变化的频率温度特性曲线中，将驱动模式下的频率温度特性曲线的顶点温度设为Ta[℃]，将第一检测模式下的频率温度特性曲线的顶点温度设为Tb[℃]，并将第二检测模式下的频率温度特性曲线的顶点温度设为Tc[℃]时，Ta低于Tb及Tc，或者，Ta高于Tb及Tc。