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公开(公告)号:CN108886659B
公开(公告)日:2021-06-18
申请号:CN201780021839.5
申请日:2017-03-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 松田洋史
IPC: H04R17/00 , A61B8/14 , H01L41/047 , H01L41/09 , H01L41/113 , H04R3/00
Abstract: 超声波换能器具备挠性膜和设于挠性膜的压电元件,压电元件具有压电体和与压电体接触的第一电极、第二电极、第三电极以及第四电极,第一电极与第二电极在第一电极与第二电极之间夹着压电体而分离,并且在从压电体的厚度方向观察的俯视时重叠,第三电极与第四电极在第三电极与第四电极之间夹着压电体而分离,并且在俯视时重叠,第一电极与第三电极在俯视时分离,第二电极与第四电极在俯视时分离。
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公开(公告)号:CN106175827B
公开(公告)日:2021-05-18
申请号:CN201610361700.2
申请日:2016-05-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供压电器件、探测器、电子设备及超声波图像装置,压电器件(47)具备:压电体膜(51),具有与振动膜(48)接触的第一面(51a)和位于该第一面的相反侧的第二面(51b);第一电极(52)和第二电极(53),设置于压电体膜(51)的第二面(52b),配置于彼此分开的位置,且在与压电体膜(51)分开的位置彼此短路;以及第三电极(54),在压电体膜(51)的第二面(51b)设置于在第一电极(52)与第二电极(53)之间,并配置在与第一电极(52)和第二电极(53)分开的位置。第一电极(52)和第二电极(53)的端部(52a)、(53a)的轮廓被限定为至少局部地平行于第三电极(54)的侧部(54b)、(54b)。
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公开(公告)号:CN104068894B
公开(公告)日:2018-10-19
申请号:CN201410124604.7
申请日:2014-03-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: A61B8/00
Abstract: 本发明涉及超声波换能器装置、探测器、电子设备及超声波图像装置等。其中,超声波换能器装置的特征在于,具备:多个振动膜配置成阵列状的基体;形成于所述振动膜上的压电元件;形成于所述基体上,在从所述基体的厚度方向观察的俯视观察中配置于所述振动膜的区域内以及所述振动膜的区域外的导电体;在从所述基体的厚度方向观察的俯视观察中,仅在所述振动膜的区域外形成于所述导电体上的第一绝缘膜;在从所述基体的厚度方向观察的俯视观察中仅在所述振动膜的区域内形成,具有比所述第一绝缘膜的膜厚小的膜厚,且形成于至少所述压电元件的一部分上的第二绝缘膜。
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公开(公告)号:CN106473775A
公开(公告)日:2017-03-08
申请号:CN201610755329.8
申请日:2016-08-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 松田洋史
IPC: A61B8/06
CPC classification number: A61B8/4488 , A61B8/145 , A61B8/4427 , A61B8/4494 , A61B8/5207 , A61B8/54 , B06B1/0622 , G01S7/52038 , G01S7/52046 , G01S7/52079 , G01S15/8915
Abstract: 本发明涉及超声波器件、超声波模块及超声波测定仪。超声波器件(4)具备:多个超声波发送部(42),发送基波的超声波;以及多个超声波接收部(43),能够接收相对于基波而言的二次谐波,多个超声波发送部(42)和多个超声波接收部二次谐波的次数对应的第一间隔(L)配置,由N个超声波发送部(42)构成一个发送通道(T),构成该发送通道(T)的N个超声波发送部(42)彼此接线,发送通道(T)以第二间隔(2L)配置,第二间隔(2L)是第一间隔(L)的2倍。(43)沿X方向配置,多个超声波接收部(43)以与
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公开(公告)号:CN106449964A
公开(公告)日:2017-02-22
申请号:CN201610625908.0
申请日:2016-08-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/047 , H01L41/257 , G01H11/08
CPC classification number: H01L41/257 , B06B1/0662 , H01L41/1138 , H01L41/0471 , G01H11/08
Abstract: 本发明涉及压电元件、探测器、超声波测量装置及极化处理方法。在压电元件上,在压电体的一侧面等间隔并以直线状配置有第一电极、第二电极以及第三电极三个电极。在利用压电效应而接收超声波的情况下,将第一电极与第三电极之间的电位差(电压)作为超声波的检测信号而取出。作为用于利用压电效应的初始化的对压电体的极化处理通过在相邻的电极间按顺序施加规定的同一方向的极化处理用电场而进行。即,首先,在第一电极与第二电极之间施加极化处理用电场V1,接着,在第二电极与第三电极之间施加极化处理用电场V1。此时的极化处理用电场V1成为在第一电极与第三电极之间一次性地施加电场而极化处理的情况下的一半。
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公开(公告)号:CN105310719A
公开(公告)日:2016-02-10
申请号:CN201510454923.9
申请日:2015-07-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: A61B8/00
CPC classification number: H01L41/0533 , A61B8/4427 , A61B8/4494 , B06B1/0629 , B06B1/067 , G01N29/2437 , G01N29/262 , G10K11/02 , H01L27/18 , H01L41/0973
Abstract: 本发明提供了超声波设备、探测器、电子设备及超声波图像装置,在基体(21)中,声音整合层(73)形成于各个超声波换能器器件(23)上。在相邻的超声波换能器器件(23)之间,配置有与超声波换能器器件(23)的电极(43)连接的导电体(45)。保护膜(47)覆盖导电体(45)。保护膜(47)具有比声音整合层(73)小的透湿性。配置有壁部(51),其配置于保护膜(47)上,在有关自基体(21)的高度方向在至少一部分的高度范围内,将相邻的超声波换能器器件(23)上的声音整合层(73)相互分隔,且具有区别于声音整合层(73)的的声阻抗。
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公开(公告)号:CN102988079B
公开(公告)日:2016-01-20
申请号:CN201210337944.9
申请日:2012-09-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 松田洋史
CPC classification number: A61B8/4494 , A61B8/4444
Abstract: 本发明提供一种超声波探头以及超声波图像诊断装置。上述超声波探头具有压电元件,压电元件具备:基板,具有开口部;支撑膜,设置在基板上并设置为堵塞开口部的状态;下部电极层,在支撑膜上以连续开口部内与开口部外的状态设置;第一压电体层,设置在开口部内的下部电极层上;上部电极层,设置在第一压电体层上;以及第二压电体层,在下部电极层上配置在开口部外,并且与第一压电体层分开地配置。
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公开(公告)号:CN104510500A
公开(公告)日:2015-04-15
申请号:CN201410514380.0
申请日:2014-09-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: A61B8/00
CPC classification number: G01S7/52017 , A61B8/4494 , B06B1/0629 , G01S15/8925 , H01L41/0825
Abstract: 本发明提供了超声波器件、探测器、电子设备以及超声波图像装置。该超声波器件具备:基体,对应每个以阵列状排列的开口形成有振动膜的基部层;导电的配线层,形成于所述基部层上;绝缘膜,形成于所述配线层上,相对于所述基部层形成层叠结构;多个压电元件,具有在所述绝缘膜上夹着压电体的第一电极以及第二电极,所述压电元件通过所述绝缘膜与所述配线层被隔开;以及贯通导电体,贯通所述绝缘膜,将至少所述第一电极以及第二电极中的一个电极连接于所述配线层的导电体。
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公开(公告)号:CN104510497A
公开(公告)日:2015-04-15
申请号:CN201410499407.3
申请日:2014-09-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: A61B8/00
CPC classification number: A61B8/4488 , A61B8/4427 , B06B1/0629 , H01L27/20 , H01L41/081 , H01L41/332 , A61B8/14
Abstract: 本发明提供超声波装置、探测器、电子设备以及超声波图像装置。一种超声波装置,其特征在于,具备:基体,其具有被阵列状地配置的多个开口;多个超声波换能器元件,其分别对应每个所述开口而配置,且分别具有振动膜;以及增强体,从所述基体的厚度方向俯视观察,在相邻的所述振动膜之间的区域中被固定于所述基体,具有比所述基体大的杨氏模量。
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公开(公告)号:CN104510496A
公开(公告)日:2015-04-15
申请号:CN201410498687.6
申请日:2014-09-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: A61B8/00
CPC classification number: A61B8/4427 , A61B8/4483 , A61B8/461 , B06B1/0629 , G10K11/30
Abstract: 本发明提供超声波装置、探测器、电子设备以及超声波图像装置。一种超声波装置,其特征在于,具备:基体;超声波换能器元件,其阵列状地被配置于所述基体,且分别具有振动膜;声匹配层,其被形成于各个超声波换能器元件上;以及壁部,从所述基体的厚度方向俯视观察,被配置于相邻的所述超声波换能器元件之间,使所述相邻的所述超声波换能器元件上的所述声匹配层在从所述基体的高度方向上至少一部分的高度范围内相互地隔开,且具有比所述声匹配层的声阻抗大的声阻抗。
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